本实用新型专利技术属于一种浮动电位阳极辉光发射装置，其特征在于阳极（2）与悬浮外筒（3）之间设有间隙（6），阳极（2）为圆筒形，阳极（2）的左侧中心处设有接头（12），接头（12）中心设有氩气充气孔（10），并装有垫圈（8），用螺母（9）与接头（12）螺纹连接；接头（12）上装有绝缘套（11）；悬浮外筒（3）的左侧装有悬浮盖板（1）；悬浮外筒（3）的外面装有绝缘筒（5）；阳极（2）内设有放电的辉光腔（7）。该实用新型专利技术通过阳极内的辉光放电，电离氩气形成阳极辉光。阳极形成电子通道，使电子束流清洗工件，同时电离的气体离子奔向工件（阴极）对工件进行离子清洗，传递动能辅助成膜，提高膜层质量。（*该技术在2023年保护过期，可自由使用*）
【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本技术属于一种浮动电位阳极辉光发射装置，其特征在于阳极（2）与悬浮外筒（3）之间设有间隙（6），阳极（2）为圆筒形，阳极（2）的左侧中心处设有接头（12），接头（12）中心设有氩气充气孔（10），并装有垫圈（8），用螺母（9）与接头（12）螺纹连接；接头（12）上装有绝缘套（11）；悬浮外筒（3）的左侧装有悬浮盖板（1）；悬浮外筒（3）的外面装有绝缘筒（5）；阳极（2）内设有放电的辉光腔（7）。该技术通过阳极内的辉光放电，电离氩气形成阳极辉光。阳极形成电子通道，使电子束流清洗工件，同时电离的气体离子奔向工件（阴极）对工件进行离子清洗，传递动能辅助成膜，提高膜层质量。【专利说明】浮动电位阳极辉光发射装置
本技术属于真空离子镀膜设备，特别涉及一种浮动电位阳极辉光发射装置。
技术介绍
目前在真空离子镀膜中，薄膜沉积中的离子清洗效果不好，在薄膜成膜中仅依靠偏压电源改变成膜，其动力特性不足，镀膜质量不理想。
技术实现思路
本专利技术的目的在于克服上述技术不足，提供一种简易等离子体源使氩气体在电子轰击下产生阳极辉光，利用其清洗工件，并通入反应气体，离化后参与反应镀膜；阳极电位避免自身溅射的污染，增加电子通道，使镀膜制程中阴极源工作更稳定的浮动电位阳极辉光发射装置。本技术解决技术问题所采用的技术方案是:一种浮动电位阳极辉光发射装置，其特征在于阳极与悬浮外筒之间设有间隙，阳极为圆筒形，阳极的左侧中心处设有接头，接头中心设有氩气充气孔，并装有垫圈，用螺母与接头螺纹连接；接头上装有绝缘套；悬浮外筒的左侧装有悬浮盖板；悬浮外筒的外面装有绝缘筒；阳极内设有放电的辉光腔。本技术的有益效果是:该技术通过阳极内的辉光放电，电离氩气形成阳极辉光。阳极形成电子通道，使电子束流清洗工件，同时电离的气体离子奔向工件(阴极)对工件进行离子清洗，传递动能辅助成膜，提高膜层质量。【专利附图】【附图说明】以下结合附图以实施例具体说明。图1是浮动电位阳极辉光发射装置。图中:1_悬浮盖板；2-阳极；3_悬浮外筒；4_真空镀膜设备壳体；5_绝缘筒；6-间隙；7_辉光腔；8-垫圈；9-螺母；10_氩气充气孔；11_绝缘套；12_接头。【具体实施方式】实施例，参照附图，一种浮动电位阳极辉光发射装置，其特征在于阳极2与悬浮外筒3之间设有间隙6，阳极2为圆筒形，阳极2的左侧中心处设有接头12，接头12中心设有氩气充气孔10，并装有垫圈8，用螺母9与接头12螺纹连接；接头12上装有绝缘套11 ;悬浮外筒3的左侧装有悬浮盖板I ;悬浮外筒3的外面装有绝缘筒5 ;阳极2内设有放电的辉光腔7。绝缘筒5装在真空镀膜设备壳体4上，其工作原理，阳极2收集电子；离子奔向工件，沉积成膜。大面积的阳极2构成均匀的电子通道，使真空室内电子密度呈不均匀分布。阳极2制成如附图1所示圆筒状或制成条状，其上施以比真空室壳体更高的电位，由于电位差必使电子呈条束状优先奔向该装置。此束状电子密度比周边高，形成电子束流，有很好的清洗工件效果。通过氩气充气孔10向阳极2通入氩气，气体会被电子电离并发出辉光，充实在辉光腔7中。辉光中电子电离氩气产生更多的二次电子，维持或增强放电过程。电离产生的离子奔向负电位的工件实现离子清洗，并传递动能辅助成膜，改善膜层质量。【权利要求】1.一种浮动电位阳极辉光发射装置，其特征在于阳极(2)与悬浮外筒(3)之间设有间隙(6 )，阳极(2 )为圆筒形，阳极(2 )的左侧中心处设有接头(12 )，接头(12 )中心设有氩气充气孔(10)，并装有垫圈(8)，用螺母(9)与接头(12)螺纹连接；接头(12)上装有绝缘套(11);悬浮外筒(3)的左侧装有悬浮盖板(I);悬浮外筒(3)的外面装有绝缘筒(5);阳极(2)内设有放电的辉光腔(7)。【文档编号】C23C16/513GK203613262SQ201320807894【公开日】2014年5月28日 申请日期:2013年12月11日 优先权日:2013年12月11日 【专利技术者】陈大民 申请人:陈大民本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种浮动电位阳极辉光发射装置，其特征在于阳极（2）与悬浮外筒（3）之间设有间隙（6），阳极（2）为圆筒形，阳极（2）的左侧中心处设有接头（12），接头（12）中心设有氩气充气孔（10），并装有垫圈（8），用螺母（9）与接头（12）螺纹连接；接头（12）上装有绝缘套（11）；悬浮外筒（3）的左侧装有悬浮盖板（1）；悬浮外筒（3）的外面装有绝缘筒（5）；阳极（2）内设有放电的辉光腔（7）。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：陈大民，
申请(专利权)人：陈大民，
类型：实用新型
国别省市：
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