钽容器的渗碳处理方法技术

本发明专利技术提供一种钽容器的渗碳处理方法，其能够容易控制钽容器各部位的渗碳处理的厚度，能够以均匀的厚度进行渗碳处理。该方法为使碳渗透于由钽或者钽合金构成的钽容器（1）的渗碳处理方法，其特征在于，包括：将钽容器（1）由设置在腔室（3）内的支撑部件（5、6）支撑并配置在腔室（3）内的工序；和对腔室（3）内进行减压和加热的工序，且在不易进行渗碳处理的部位附近设置碳源。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：渡边将成，阿部纯久，
申请(专利权)人：东洋炭素株式会社，
类型：
国别省市：