图案形成方法和磁记录介质的制造方法技术

本发明专利技术的实施方式提供能够形成面内均匀性良好的周期性图案的图案形成方法和磁记录介质的制造方法。根据实施方式，能够提供一种图案形成方法，该方法包括：在基板上，向具有表面极性与该基板相近的第1保护基、且至少在表面具有选自Al、Ti、V、Cr、Mn、Fe、Co、Ni、Zn、Y、Zr、Sn、Mo、Ta、W、Au、Ag、Pd、Cu、Pt、及其氧化物中的材料的微粒添加第2保护基和第2溶剂，调制第2分散液，并用该第2保护基修饰具有第1保护基的微粒的工序；向包含具有第1保护基和第2保护基的微粒的分散液添加粘度调整剂，调制微粒涂布液的工序；以及，涂布微粒涂布液，在基板上形成微粒层的工序。

【技术实现步骤摘要】
【专利说明】 相关申请 本申请要求以日本专利申请2014-92072号（申请日：2014年4月25日）为基础 申请的优先权。本申请通过参照该基础申请而包含基础申请的所有内容。
本专利技术的实施方式涉及。
技术介绍
以数nm~数百nm的周期规则排列的微细结构，能够应用于催化剂、防反射膜、电 路、磁记录介质等各种技术。要制作那样的结构的话，可以举出利用电子束和/或紫外光的 绘图装置在抗蚀剂上绘制图案的方法、利用二嵌段共聚物和/或微粒的自组织化现象的方 法等。 特别是如果将微粒用于图案形成，则有与使用二嵌段共聚物和/或抗蚀剂不同的 优点。由无机物形成的微粒，具有与有机物不同的蚀刻耐性，因此通过适当选择形成微粒的 材料，能够使在接下来的过程中的蚀刻选择比、生长选择比成为优选的值。 但是，在现有技术中，难以使由所希望的材料形成的微粒具有一定间隔地单层排 列于基板上。为了微粒的规则排列，需要在微粒中混合高粘度的粘度调整剂。但是，例如Fe 微粒的情况下，在混合了粘度调整剂的时刻粒子凝聚，涂布本身变得困难。另外，能够在Au 粒子的周围以聚苯乙烯类为保护基进行取代，但在这样的方法中存在难以通过旋涂而使其 最密排列的问题。
技术实现思路
本专利技术的实施方式，提供一种能够形成面内均匀性良好的周期性图案的图案形成 方法和磁记录介质的制造方法。 根据实施方式，能够提供一种图案形成方法，该方法包括： 在基板上，向具有表面极性与该基板相近的第1保护基、且至少在表面具有选自 铝、钛、钒、铬、锰、铁、钴、镍、锌、钇、锆、锡、钥、钽、钨、金、银、钯、铜、钼、及其氧化物中的材 料的微粒添加第2保护基和第2溶剂，调制第2分散液的工序； 在该第2分散液中用该第2保护基修饰具有该第1保护基的微粒，形成具有该第 1保护基和第2保护基的微粒的工序； 向包含具有该第1保护基和第2保护基的微粒的分散液添加粘度调整剂，调制该 微粒涂布液的工序； 涂布该微粒涂布液，在上述基板上形成微粒层的工序。【附图说明】 图1是表示采用实施方式涉及的方法能够制成的周期性图案的例子的图。 图2是表示采用实施方式涉及的方法能够做成的周期性图案的例子的图。 图3是将能够应用实施方式涉及的磁记录介质的磁记录再生装置的一例部分拆 解的立体图。 图4是表示第1实施方式中所使用的周期性图案的形成方法的一例的流程图。 图5(a)~（d)是表示形成第1实施方式涉及的磁记录介质的工序的概略性的截 面图。 图6是表示第1实施方式中所使用的周期性图案的形成方法的另一例的流程图。 图7(a)~（d)是表示第1实施方式涉及的磁记录介质的制造工序的变形例的概 略性的截面图。 图8(a)~（e)是表示形成第2实施方式涉及的磁记录介质的工序的概略性的截 面图。 图9(a)~（e)是表示形成第2实施方式涉及的磁记录介质的工序的另一例的概 略性的截面图。【具体实施方式】 以下对实施方式进行说明。 根据第1实施方式，能够提供一种磁记录介质的制造方法，该制造方法的特征在 于，具备： 在基板上，向具有表面极性与基板相近的第1保护基、且至少在表面具有选自铝、 钛、银、铬、猛、铁、钴、镍、锌、赵、错、锡、钥、钽、和鹤、金、银、把、铜、钼、及其氧化物中的材料 的微粒添加第2保护基和第2溶剂，调制第2分散液的工序； 在该第2分散液中用该第2保护基修饰具有该第1保护基的微粒，形成具有该第 1保护基和第2保护基的微粒的工序； 向包含具有该第1保护基和第2保护基的微粒的分散液添加粘度调整剂，调制微 粒涂布液的工序； 涂布微粒涂布液，在基板上形成单层的微粒层，形成由微粒构成的周期性图案的 工序；以及 在周期性图案上形成磁记录层的工序。 根据第1实施方式，能够得到在单层的微粒层中各微粒不凝聚地排列的周期性图 案，所述单层的微粒层，是在微粒的周围设置与基板相容性良好的第1保护基，而且向具有 第1保护基的微粒追加第2保护基，并使其分散于混合有所希望的粘度的粘度调整剂的溶 剂中，进行涂布而能够使微粒排列的层。由此，能够得到粒子的尺寸分布低的图案化介质。 而且，后来添加的第2保护基，能够以除了微粒表面以外还分散于分散液中的状态存在，因 此所添加的第2保护基被填充到基板表面、微粒间，微粒间的分子间作用力均匀地发挥作 用，能够提高排列性。 在此，基板是微粒涂布液所应用的层，根据需要，能够为单层或多层。 根据第1实施方式，能够提供一种图案形成方法，该方法包括： 在基板上，向具有表面极性与基板相近的第1保护基、且至少在表面具有选自铝、 钛、银、铬、猛、铁、钴、镍、锌、赵、错、锡、钥、钽、鹤、金、银、把、铜、钼、及其氧化物中的材料的 微粒添加第2保护基和第2溶剂而调制分散液，并在该分散液中用该第2保护基修饰具有 该第1保护基的微粒，形成具有该第1保护基和第2保护基的微粒的工序； 向包含具有该第1保护基和第2保护基的微粒的分散液添加粘度调整剂，调制微 粒涂布液的工序；以及 涂布微粒涂布液，在基板上形成微粒层的工序。 第2实施方式涉及的磁记录介质的制造方法，其特征在于，具备： 向具有表面极性与包含磁记录层的基板相近的第1保护基、且至少在表面具有选 自铝、钛、钒、铬、锰、铁、钴、镍、锌、钇、锆、锡、钥、钽、钨、金、银、钯、铜、钼、及其氧化物中的 材料的微粒添加第2保护基和第2溶剂，调制第2分散液的工序； 在第2分散液中用第2保护基修饰具有第1保护基的微粒，形成具有第1保护基 和第2保护基的微粒的工序； 向包含具有第1保护基和第2保护基的微粒的分散液添加粘度调整剂，调制微粒 涂布液的工序； 在上述基板上涂布微粒涂布液，形成单层的微粒层的工序； 将由微粒层构成的周期性图案向上述磁记录层转印的工序。 根据第2实施方式，能够得到在单层的微粒层中各微粒不凝聚地排列的周期性图 案。由此，能够得到磁性体粒子的尺寸分布低的图案化介质。 在此，所谓周期性图案，指具有一定的规则性的图案排列。图案可以是凹凸的，可 以是化学组成不同的材料，也可以是其两者。例如Fe微粒以埋入到聚甲基丙烯酸甲酯的基 质中的状态排列的情况下，虽没有凹凸但成为化学组成不同的材料的排列。另外，通过RIE 工艺除去了聚甲基丙烯酸甲酯的基质的情况下，仅残存Fe微粒并成为凹凸图案。所谓一定 的规则性，意味着利用凹凸和/或化学组成不同的材料，且其一方进行排列。排列可以是六 方最密排列，也可以是正方排列。排列表示包含至少大于或等于100个的图案。将规则排 列的区域称为域（domain)，实施方式中的微粒排列体，能够具有多个域。在域和域的边界排 列被打乱。 另外，所谓磁性体粒子，表示在磁记录层中，磁性体作为单一粒子引起磁化反转的 区域。可以举出例如具有规则结构的磁性体粒子。所谓规则结构，可以是单晶，可以是如L1。 结构那样的交替叠层膜，也可以是保持了相同的面取向的人造晶格那样的结构。另外，颗粒 介质之类的磁性体颗粒埋入到非磁性基质那样的结构的情况下，基质内的磁性体部分是在 本申请中所说的磁性体粒子。磁性体粒子的粒子尺寸分布，与记录再生时的抖动噪声直接 关联。粒子尺寸分布少的介质是理想的。在本申请中，由于利用微粒的周期性图案将磁记 录层分隔，因此微粒的粒子尺寸分布与磁性体颗粒的粒子尺寸分布大致等同。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种磁记录介质的制造方法，其特征在于，具备：在基板上，向具有表面极性与该基板相近的第1保护基、且至少在表面具有选自铝、钛、钒、铬、锰、铁、钴、镍、锌、钇、锆、锡、钼、钽、钨、金、银、钯、铜、铂、及其氧化物中的材料的微粒添加第2保护基和第2溶剂，调制第2分散液的工序；在该第2分散液中用该第2保护基修饰具有该第1保护基的微粒，形成具有该第1保护基和第2保护基的微粒的工序；向包含具有该第1保护基和第2保护基的微粒的分散液添加粘度调整剂，调制微粒涂布液的工序；涂布该微粒涂布液，在所述基板上形成单层的微粒层的工序；以及在由所述微粒构成的周期性图案上形成磁记录层的工序。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：木村香里，藤本明，渡部彰，
申请(专利权)人：株式会社东芝，
类型：发明
国别省市：日本;JP