一种卡点拆装方便的石墨舟片制造技术

本实用新型专利技术公开了一种卡点拆装方便的石墨舟片，包括：石墨舟片本体、位于石墨舟片本体中部的硅片定位腔体、设于硅片定位腔体周边的工艺卡槽、及插装在工艺卡槽内的卡点，所述工艺卡槽为长条形腰孔，且腰孔的两端为半径不相等的弧形，所述卡点对应插固在工艺卡槽较小的一端。将石墨舟片的工艺卡槽设计为腰孔结构，拆装卡点非常方便，操作难度低，且不易磨损或碰伤工艺卡槽和卡点的连接部位，从而达到方便拆分清洗石墨舟的目的，能够提高清洗石墨舟的工作效率，清洗的也更加干净，并节省生产成本。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种石墨舟片，尤其涉及一种卡点拆装方便的石墨舟片。
技术介绍
PECVD镀膜是太阳能电池片生产过程中的一道工序，其作用是在硅片的表面镀上一层减反射膜，从而提高电池的转换效率。在镀膜反应过程中，石墨舟作为硅片的载体，是管式PECVD镀膜中不可或缺的工具。石墨舟的洁净程度直接影响硅片膜质、颜色的好坏，从而影响生产的良品率。目前行业内一般要求PECVD镀膜后不良率要小于1%，但是由于石墨舟清洗不到位，不良率往往在5%左右。石墨舟主要由多个石墨舟片间隔排列构成，在每个石墨舟片上设有硅片定位腔体，硅片定位腔体的周边设有固定硅片的卡点。其中，石墨舟片上的卡点清洗不干净是导致不良率过高的最主要因素。由于石墨舟片上的卡点拆装不方便及拆装过程中对卡点的连接部位易造成严重磨损，所以目前行业内主要是将石墨舟进行整体清洗，这样就导致卡点的连接部位不易清洗干净，那么就不得不消耗更多的时间、酸、纯水等成本进行整体清洗，即便如此也很难将石墨舟片上的卡点清洗干净。所以，如果能够将石墨舟片和卡点拆分清洗，就会解决清洗周期长、耗酸和纯水量大等问题，最重要的是能将卡点清洗的更干净。因此，为了便于清洗石墨舟，如何设计出一种卡点拆装方便的石墨舟片，是业界亟待解决的问题。
技术实现思路
本技术针对以上的不足和缺陷，所要解决的是石墨舟片在拆装卡点时操作难度大、相连接部位容易磨损的问题，提出一种卡点拆装方便的石墨舟片。本技术解决上述技术问题采用的技术方案是:一种卡点拆装方便的石墨舟片，包括:石墨舟片本体、位于石墨舟片本体中部的硅片定位腔体、设于硅片定位腔体周边的工艺卡槽、及插装在工艺卡槽内的卡点，所述工艺卡槽为长条形腰孔，且腰孔的两端为半径不相等的弧形，所述卡点对应插固在工艺卡槽较小的一端。所述工艺卡槽设置有三个，并沿其长度方向分别平行设于硅片定位腔体周边的三个边缘上。其中两个所述工艺卡槽靠向硅片定位腔体的同一个边角，另一个工艺卡槽靠向所述边角的对角。所述硅片定位腔体为矩形形状，且所述矩形的长边与石墨舟片本体的长度方向形成5~10度的夹角。所述卡点包括用于安装在工艺卡槽内的柱形安装部和对称设于安装部两端面上的卡块，所述卡块与安装部之间形成有用于卡固硅片的卡位。与现有技术相比，本技术的有益效果:将石墨舟片的工艺卡槽设计为腰孔结构，拆装卡点非常方便。根据对本技术的石墨舟片进行检测，可得出:石墨舟片拆装卡点非常容易，操作难度低，不易磨损或碰伤工艺卡槽和卡点的连接部位，从而达到方便分开清洗石墨舟的目的，能够提高清洗石墨舟的工作效率，清洗的也更加干净，并节省生产成本，为批量生产提供了条件，具有很高的实用价值。【附图说明】图1为本技术较佳实施例的整体结构示意图；图2为本技术较佳实施例的局部结构示意图；图3为本技术较佳实施例的工作原理示意图。【具体实施方式】下面将结合附图以及【具体实施方式】，对本技术做进一步描述。请参见图1至3，本技术涉及一种卡点拆装方便的石墨舟片，包括:石墨舟片本体1、位于石墨舟片本体I中部的硅片定位腔体2、设于每个硅片定位腔体2周边的工艺卡槽3、及插装在工艺卡槽3内的卡点4。石墨舟片本体I为长条板状结构，沿其长度方向的两端延伸设有电极连接端片5，电极连接端片5用于与上或下电极块导电连接固定，在石墨舟片本体I上开设有多个圆形石墨安装孔6，石墨安装孔6用于安装连接石墨棒和石墨螺母。在石墨舟片本体I的板面上均匀设置有六个硅片定位腔体2，根据实际生产需要，硅片定位腔体2亦可设置有其他不同个数，硅片定位腔体2向内凹入并贯穿石墨舟片本体I的板面，整个硅片定位腔体2为矩形形状，且该矩形的长边与石墨舟片本体I的长度方向形成5-10度的夹角，以此便于硅片更好的安装和抽取。工艺卡槽3开设在每个硅片定位腔体2的周边，工艺卡槽3优选设置有三个。本技术的设计亮点在于，将工艺卡槽3设计成腰孔结构，该腰孔为长条形，且长条形腰孔的两端为半径不相等的弧形，工艺卡槽3的长度方向平行于与其靠近的硅片定位腔体2的周边边缘。三个工艺卡槽3分别设于硅片定位腔体2周边的三个边缘上，其中两个工艺卡槽靠近硅片定位腔体2的同一个边角，另一个工艺卡槽则靠近上述硅片定位腔体边角的对角。卡点4对应插装在工艺卡槽3较小的一端，卡点4主要由卡块和用于安装在工艺卡槽3内的柱形安装部组成，卡块为两个，对称分布在安装部的两端面上，在卡块与安装部之间形成有用于卡固硅片的卡位。三个卡点4包括两个安装部截面直径较大的大卡点41和一个安装部直径较小的小卡点42，其中，一个大卡点41和小卡点42靠近硅片定位腔体2的同一个边角。工艺卡槽3的尺寸大小与卡点4的尺寸相对应。在安装卡点4时，首相将卡点4的安装部装入到工艺卡槽3较大的一端，然后在滑入到工艺卡槽3较小的一端，同时卡点4的卡块对应卡紧硅片；在拆卸卡点4时，按上述过程反向操作即可。操作非常简单，省时省力，且不容易损或碰伤石墨舟片本体和卡点。以上所述仅为本技术的较佳实施例而已，并不用以限制本技术，凡在本技术的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本技术的保护范围之内。【主权项】1.一种卡点拆装方便的石墨舟片，包括:石墨舟片本体(I)、位于石墨舟片本体中部的硅片定位腔体(2)、设于硅片定位腔体周边的工艺卡槽(3)、及插装在工艺卡槽内的卡点(4)，其特征在于，所述工艺卡槽为长条形腰孔，且腰孔的两端为半径不相等的弧形，所述卡点对应插固在工艺卡槽较小的一端。2.根据权利要求1所述的卡点拆装方便的石墨舟片，其特征在于，所述工艺卡槽(3)设置有三个，并沿其长度方向分别平行设于硅片定位腔体(2)周边的三个边缘上。3.根据权利要求2所述的卡点拆装方便的石墨舟片，其特征在于，其中两个所述工艺卡槽(3)靠向硅片定位腔体(2)的同一个边角，另一个工艺卡槽靠向所述边角的对角。4.根据权利要求1至3任意一项所述的卡点拆装方便的石墨舟片，其特征在于，所述硅片定位腔体(2)为矩形形状，且所述矩形的长边与石墨舟片本体(I)的长度方向形成5~10度的夹角。5.根据权利要求1至3任意一项所述的卡点拆装方便的石墨舟片，其特征在于，所述卡点(4)包括用于安装在工艺卡槽(3)内的柱形安装部和对称设于安装部两端面上的卡块，所述卡块与安装部之间形成有用于卡固娃片的卡位。【专利摘要】本技术公开了一种卡点拆装方便的石墨舟片，包括：石墨舟片本体、位于石墨舟片本体中部的硅片定位腔体、设于硅片定位腔体周边的工艺卡槽、及插装在工艺卡槽内的卡点，所述工艺卡槽为长条形腰孔，且腰孔的两端为半径不相等的弧形，所述卡点对应插固在工艺卡槽较小的一端。将石墨舟片的工艺卡槽设计为腰孔结构，拆装卡点非常方便，操作难度低，且不易磨损或碰伤工艺卡槽和卡点的连接部位，从而达到方便拆分清洗石墨舟的目的，能够提高清洗石墨舟的工作效率，清洗的也更加干净，并节省生产成本。【IPC分类】H01L21/673, C23C16/458【公开号】CN204702804【申请号】CN201520273906【专利技术人】王晨光, 周超 【申请人】深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司【公开日】2015年10月14日【申请日】2015年4月30日本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种卡点拆装方便的石墨舟片，包括：石墨舟片本体（1）、位于石墨舟片本体中部的硅片定位腔体（2）、设于硅片定位腔体周边的工艺卡槽（3）、及插装在工艺卡槽内的卡点（4），其特征在于，所述工艺卡槽为长条形腰孔，且腰孔的两端为半径不相等的弧形，所述卡点对应插固在工艺卡槽较小的一端。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：王晨光，周超，
申请(专利权)人：深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司，
类型：新型
国别省市：广东;44