磨削轮以及磨削室的清洗方法技术

本发明专利技术提供磨削轮以及磨削室的清洗方法。磨削轮能够清洗磨削装置的磨削室并防止磨削屑附着于被加工物的被磨削面。磨削轮(5)具有环状基座(50)，该环状基座(50)在下表面(54)上呈环状配设磨削磨石(60)，且具有多个磨削水排出用的贯通孔(58、59)，该磨削水排出用的贯通孔(58、59)在径向上贯通内侧面(56)和外侧面(57)并配设于圆周方向上，贯通孔构成为以规定的间隔配设于圆周方向上，且形成为使磨削水向不同方向飞散。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及在对半导体晶片等的被加工物进行磨削加工的磨削装置上设置的。
技术介绍
以往，在磨削装置中，在被供给磨削水的状态下实施磨削加工。磨削水是沿着安装有磨削磨石的磨削轮的内周面而供给的(例如，参照专利文献I)。在专利文献I所述的磨削装置中，多个磨削磨石在周方向上隔开间隔安装于在磨削轮的外周侧上设置的环状基座的下表面上。磨削水沿着磨削轮的内侧面朝磨削磨石流动，进入到磨削磨石的磨削面与被加工物的被磨削面之间以实施磨削加工。磨削水在含有由磨削加工产生的磨削肩的状态下，凭借离心力等而从磨削磨石的间隙流向外周。专利文献I日本特开2013-141738号公报另外，在磨削加工中的磨削室内，含有磨削肩的磨削水向周围飞散，其结果导致含有磨削肩的磨削水附着于磨削室的内壁上。此外，在被加工物的表面上溅回的磨削水等成为喷雾而飘荡于磨削室内。含有磨削肩的这些磨削水在附着于磨削室的内壁上之后，不久变成较大的水滴并落在被加工物之上。在磨削肩为粗磨削时的较大的磨削肩的情况下，若在较大的磨削肩落在被加工物之上的状态下进行精加工磨削，则存在损伤精加工用的磨削磨石的问题。此外，若在磨削室的内壁上附着有磨削肩的状态下长期间放置，则附着于内壁上的水滴中所包含的磨削肩彼此会牢固地粘结起来而生成较大的磨削肩。其结果，不堪自重的磨削肩会从磨削室的内壁落在被加工物之上，这被认为是损伤被加工物和磨削磨石的原因。
技术实现思路
本专利技术就是鉴于上述情况而完成的，其目的在于提供一种能够防止磨削肩附着于被加工物的被磨削面上的。本专利技术的磨削轮，其安装于与以铅直方向为旋转轴的主轴连结的轮安装器上，磨削被加工物，其特征在于，具有:环状基座，其具有安装于轮安装器的安装面上的被安装面、内侧面、外侧面和以被安装面作为上表面且呈环状配设磨削磨石的下表面；以及多个磨削水排出用的贯通孔，它们在径向上贯通内侧面和外侧面且配设于圆周方向上，贯通孔以规定的间隔配设于圆周方向上，且以使磨削水向不同方向飞散的方式形成。根据该结构，朝磨削磨石供给的磨削水的一部分凭借离心力而在基座的内侧面上传递并通过贯通孔，从基座的外侧面排出到外部。由此，磨削水分散于磨削室内，能够冲洗掉附着于磨削室的顶板和侧板上的磨削肩。因而，能够防止附着于顶板和侧板上的磨削肩附着于被加工物的表面上。此外，能够使磨削水从多个贯通孔起向不同方向飞散，因此能够清洗磨削室的较大范围，提高磨削室的清洗效率。此外，本专利技术的磨削室的清洗方法中，该磨削室覆盖如下单元:保持单元，其保持被加工物；以及磨削单元，其以能够旋转的方式支撑环状的磨削轮，该环状的磨削轮固定有用于磨削保持于该保持单元上的被加工物的多个磨削磨石，该方法包括:磨削水供给工序，使该磨削轮进行旋转，并通过磨削水供给单元将磨削水提供给该磨削轮的内侧面；以及磨削室清洗工序，在该内侧面内传递通过该磨削水供给工序提供的规定的流量的磨削水而提供给该多个磨削磨石，并且经由形成于该磨削轮上的多个贯通孔而利用离心力将该规定的流量的磨削水从该内侧面引导至该磨削轮的外侧面，使磨削水从该外侧面飞散而清洗该磨削室。根据本专利技术，使磨削水从磨削轮的贯通孔中飞散并清洗磨削室内，从而能够防止磨削肩附着于被加工物的被磨削面上。【附图说明】图1A和图1B是表示第I实施方式的磨削装置的一例的图。图2A和图2B是表示第I实施方式的磨削装置的动作和磨削室的清洗方法的一例的示意图。图3A和图3B是表示比较例的磨削装置的动作的示意图。图4A?图4C是表示变形例的磨削单元的示意图。图5是表示第2实施方式的磨削单元的示意图。标号说明W:被加工物；1:磨削装置；2:磨削室；3:保持台(保持单元)；4、204:磨削单元；41,241:主轴；42:电动机;43、243:轮安装器;45、245:安装面;5，205:磨削轮;50、250:基座；53:上表面(被安装面);54、254:下表面;56、256:内侧面;57、257:外侧面;58、59、258,259:贯通孔;60、260:磨削磨石;63、263:磨削水供给单元。【具体实施方式】以下，参照图1，说明第I实施方式的磨削装置。图1A表示第I实施方式的磨削装置的整体示意图，图1B表示第I实施方式的磨削单元的示意图。另外，第I实施方式的磨削装置不限于以下各图所示的结构。磨削装置只要是能够通过磨削磨石磨削被加工物的结构即可采用任意结构。第I实施方式的磨削装置I是将保持被加工物W的保持台3 (保持单元)和具有磨削被加工物W的多个磨削磨石60的磨削单元4上下相对配置而构成的。磨削装置I构成为使磨削磨石60的磨削面61接触保持于保持台3上的被加工物W的表面10 (被磨削面)，以磨削被加工物W。此外，磨削装置I能够使供给给磨削磨石60的磨削水向磨削轮5的外侧飞散，清洗磨削室2内。在磨削单元4的下方相对配置有保持台3的加工位置处，通过罩部件形成了磨削室2。罩部件是通过覆盖磨削单元4的上方的上部罩21和覆盖保持台3的周围的下部罩22构成的。上部罩21具有在水平方向上延伸的顶板23、从顶板23的一端向下方延伸的侧板24，磨削单元4的一部分(主轴41)从顶板23的一部分起向上方突出。下部罩22通过固定于保持台3的外周上的外周罩25和在外周罩25的下方沿水平方向延伸的防水罩26构成。磨削室2构成为使得含有由磨削加工产生的加工肩的磨削水不会飞溅到磨削装置I的外部，且能够从规定的部位排出磨削水。在第I实施方式中，作为成为加工对象的被加工物W，除了由硅和GaAs等的半导体材料构成的半导体晶片之外，还可以使用由陶瓷、玻璃、蓝宝石等的无机材料构成的无机材料晶片等。此外，还可以使用要求精密级至超精密级的平坦度(TTV:Total ThicknessVariat1n:总厚度变化)的各种加工材料。保持台3形成为圆盘状，并且能够旋转的方式设置于基座(未图示)上。在保持台3的上表面通过有孔陶瓷材料形成有保持面31。保持面31在图1A中被描述为平坦，而实际形成为以保持台3的旋转中心为顶点的平缓倾斜的圆锥状。如果被加工物W吸引保持于保持面31上，则薄板状的被加工物W也沿着保持面31而成为平缓倾斜的圆锥状。磨削单元4是通过在连接于以铅直方向为旋转轴的主轴41的下端的轮安装器43上安装磨削轮5而构成的。主轴41被电动机42进行旋转驱动，在主轴41的下端固定有轮安装器43，磨削轮5以能够拆装的方式安装于轮安装器43上。磨削单元4凭借升降单元(未图示)而相对于保持台3在上下方向离开或接近。轮安装器43形成为圆盘状，在下表面的外侧部分形成嵌入有环状基座50的阶梯部44。由该阶梯部44形成的平坦面45成为用于安装基座50的安装面，由阶梯部44形成的圆筒状的侧面46成为进行基座50在径向的定位的定位面。磨削轮5是通过在环状基座50的下表面54呈环状配置多个磨削磨石60而构成的。环状基座50被形成为，内侧部分52的厚度比外侧部分51薄，上表面53成为安装于轮安装器43上的被安装面。此外，基座50的内侧部分52的下表面55形成于比外侧部分51的下表面54高的位置处，外侧部分51的下表面54与内侧部分52的下表面55通过朝外侧倾斜的内侧面56连接。该内侧面56成为后述的将磨削水引导至磨削磨石60的倾斜面。磨削磨石60是例本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种磨削轮，其安装于轮安装器上而磨削被加工物，其中，该轮安装器与以铅直方向为旋转轴的主轴连结，该磨削轮的特征在于，具有：环状基座，其具有被安装面、内侧面、外侧面和以该被安装面作为上表面且呈环状配设磨削磨石的下表面，其中，该被安装面安装于该轮安装器的安装面；以及多个磨削水排出用的贯通孔，它们在径向上贯通该内侧面和该外侧面且配设于圆周方向上，该贯通孔以规定的间隔配设于圆周方向上，且以使磨削水向不同方向飞散的方式形成。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：津野贵彦，
申请(专利权)人：株式会社迪思科，
类型：发明
国别省市：日本;JP