【技术实现步骤摘要】
本技术涉及半导体行业用设备领域，具体涉及一种用于开门式直拉单晶炉的取晶装置。
技术介绍
开门式直拉单晶炉是半导体行业拉制单晶硅棒的主要设备，单晶炉的炉体主要包括副炉室、主炉室和下炉室。在拉晶过程中，多晶硅在主炉室中的石英坩祸中被高温熔化，通过引晶、转肩、等径、收尾、停炉等过程拉制出单晶硅棒。停炉一定时间后打开单晶炉副炉室的炉门，此时单晶硅棒的温度在300~500°C，温度比较高，人工难以取出，通常采用取晶装置把单晶硅棒从单晶炉的副炉室中取出。现有的取晶装置仅能实现把温度较低的单晶硅棒从单晶炉副室中取出，也有取晶装置能把取出的晶棒从竖直位置旋转到水平位置。但是，为了降低单晶炉运行成本、增加单晶炉经济效益时，当炉子的投料量增大时，如CG6000炉投料60kg拉制5英寸单晶硅棒时，此时单晶棒的尾巴在副炉室炉脖子以下，现有的取晶装置不能把单晶娃棒从副炉室中取出。
技术实现思路
为解决上述技术问题，本技术提供一种用于开门式直拉单晶炉的取晶装置，该装置能够实现单晶硅棒在单晶炉副室中向前倾斜0-15°，解决单晶硅棒的尾巴在副炉室炉脖子之下时把单晶硅棒从单晶炉副炉室中取出的...
【技术保护点】
一种用于开门式直拉单晶炉的取晶装置，包括电动液压车（1）、升降门架（2）以及连接有机械夹手（3）的传动轴（4），升降门架（2）固定设置在电动液压车（1）上，传动轴（4）具有可使其转动的旋转机构（5），旋转机构（5）包括一个旋转手柄（6），其特征在于：所述升降门架（2）的两侧分别设有升降台（7）和旋转台（8），升降台（7）固定连接在升降门架（2）上，旋转台（8）的底部通过转轴铰接在升降门架（2）上，且旋转台（8）通过传动杆与电动液压车（1）控制连接；所述传动轴（4）穿过升降门架（2）设置，传动轴（4）的一端与升降台（7）连接，其另一端连接机械夹手（3），旋转台（8）的顶部通过...
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：刘要普，王文卫，高林玉，张明亮，韩子萌，
申请(专利权)人：麦斯克电子材料有限公司，
类型：新型
国别省市：河南;41
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