高效C向蓝宝石抛光液及其制备方法技术

本发明专利技术公开了一种高效C向蓝宝石抛光液及其制备方法，该抛光液包含如下重量百分含量的组分：第一粒径硅溶胶0.6~80%，第二粒径硅溶胶0.6~80%，表面活性剂0.002~0.9%，络合剂0.05~5%，水为余量。其制备方法：将表面活性剂溶于水中，彻底溶解，搅拌均匀；将第一粒径硅溶胶和第二粒径硅溶胶加入，搅拌均匀，制成悬浮液；在悬浮液中添加络合剂，搅拌均匀；调节pH值至7~13。本发明专利技术采用两种不同粒径硅溶胶颗粒组合的方式配成的抛光液，可以在C向蓝宝石抛光过程中，保证一个较高的切削率前提下，大大的提高平化效率，使得研磨过后的蓝宝石晶片快速达到一个平整光滑的镜面效果，从而缩短抛光时间，提高效率。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及抛光液领域，特别是涉及一种高效C向蓝宝石抛光液及其制备方法。
技术介绍
当前市场上蓝宝石加工主要分为切割、研磨、抛光三大块，其中抛光这一道工艺对 于蓝宝石晶片最终的表面质量起着决定性的作用。C向蓝宝石由于其特殊的晶体结构，化 学活泼性比A向蓝宝石更强，因而在抛光的过程中极易出现凹坑、橘皮、麻点等表面质量问 题，针对这种现象，传统方法是加入一定量的表面活性剂，来提高抛光的凹凸选择性，从而 提高平化效率，改善抛光表面平整度。凹凸选择性即表面凸起部分活性剂分子少，化学反 应优先进行，进而磨料进行机械磨削去除被抛光材料；凹部活性剂分子多，阻碍化学反应进 行，延缓抛光进行，凹凸差距逐渐缩小，迅速平整化。但该方法有个局限性，表面活性剂因为 有一定的润滑作用，只能添加极少量，因而在抛光液循环使用过程中，极易损耗，从而影响 表面质量。
技术实现思路
本专利技术主要解决的技术问题是提供一种高效C向蓝宝石抛光液及其制备方法，该 抛光液切削率快，平化效率高，且表面质量好，循环使用寿命长，最主要的是可以进一步提 高凹凸选择性，与传统C向蓝宝石抛光液抛光相同时间下，获得一个更低的本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种高效C向蓝宝石抛光液，其特征在于，该抛光液包含第一粒径硅溶胶、第二粒径硅溶胶、表面活性剂、络合剂和水，pH值为7~13，其各组分的重量百分含量为：第一粒径硅溶胶0.6~80%，第二粒径硅溶胶0.6~80%，表面活性剂0.002~0.9%，络合剂0.05~2%，水为余量；所述的抛光液的固含量为0.6~40%。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：沈建新，周涛，
申请(专利权)人：江苏中晶科技有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏;32