真空阀体制造技术

一种真空阀体，包括上、下侧板，左、右封板和与左、右封板平行的筋板，筋板间隔设置在左、右封板之间，左、右封板和各筋板的上、下端分别和上、下侧板固连，左、右封板及各筋板的前、后端分别和上、下侧板的前、后端齐平；上、下侧板在相邻的两个筋板之间、最左侧的筋板和左封板之间及最右侧的封板和右封板之间设有矩形通孔，上、下侧板和左、右封板围成的空间通过所述矩形通孔分别和第一真空室、第二真空室连通，各筋板上设有若干上下走向的矩形槽孔，筋板的上、下端通过穿过矩形槽孔的上、下槽面的螺钉和上、下侧板螺钉连接。有益效果是：真空阀体的加工制造难度低、材料消耗少，因此加工制造成本低。同时，本实用新型专利技术还具有使用方便的优点。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种阀体，尤其是涉及一种真空阀体。
技术介绍
在半导体、新能源装备【如太阳能】等领域中需大量采用真空阀体，这些真空阀体包括上侧板、下侧板、左封板、右封板和若干与左右封板平行的筋板，筋板间隔设置在左、右封板之间，左、右封板和各筋板的上、下端分别和上、下侧板焊连，左、右封板和各筋板的前、后端分别和上、下侧板的前、后端齐平；上、下侧板在相邻的两个筋板之间、最左侧的筋板和左封板之间及最右侧的筋板和右封板之间设有矩形通孔，上、下侧板和左、右封板围成的空间通过所述矩形通孔和第一真空室、第二真空室连通。其中第一真空室、第二真空室设有可以密封或打开上、下侧板上的矩形通孔的通孔阀板组件，通孔阀板组件包括通孔阀板本体和固定在通孔阀板本体上的密封圈；真空阀体的前端、后端或前后端同时设有可以密封或打开上、下侧板和左、右封板围成的空间而使该空间和大气相隔离或连通的阀体阀板组件，所述阀体阀板组件包括阀体阀板本体和固定在阀体阀板本体上的密封圈:I】当前、后阀体阀板组件闭合，而第一、第二真空室内的通孔阀板组件开启时，第一真空室和第二真空室相通，第一真空室、第二真空室与上、下侧板和左、右封板围成的空间三者保持相同状态。依此可以在第一真空室和第二真空室之间实现物料输送等功能；2】当全部阀板组件闭合时，第一真空室和第二真空室处于相互独立的工作状态。这些真空阀体的体积大、精度要求高，并大多采用不锈钢材料制成。由于不锈钢材料昂贵、焊接及机械加工难度和加工费用高；对不锈钢作为阀体材料的真空阀体来说，减少材料的加工预留量也具有重要的经济价值。由于目前广泛采用的真空阀体的上、下侧板与左、右封板及各筋板都是采用焊接结构相连，而焊接容易产生大量的形变，因此必须留有相当大的加工预留量以利焊接后的进一步精加工来保证高精度要求。因此这些真空阀体存在加工制造难度大、材料消耗大，从而加工制造成本高的问题。
技术实现思路
本技术的主要专利技术目的是提供一种加工制造难度低、材料消耗少，从而加工制造成本低的真空阀体。本技术所用的技术方案是:一种真空阀体，包括上侧板、下侧板、左封板、右封板和若干与左、右封板平行的筋板，筋板间隔设置在左、右封板之间，左、右封板和各筋板的上、下端分别和上、下侧板固连，左、右封板及各筋板的前、后端分别和上、下侧板的前、后端齐平；上、下侧板在相邻的两个筋板之间、最左侧的筋板和左封板之间及最右侧的封板和右封板之间设有矩形通孔，上、下侧板和左、右封板围成的空间通过所述矩形通孔分别和第一真空室、第二真空室连通，各筋板上设有若干上下走向的矩形槽孔，筋板的上、下端通过穿过矩形槽孔的上、下槽面的螺钉和上、下侧板螺钉连接。本技术，所述筋板和上下侧板之间采用螺钉连接，可以大大减少真空阀体的加工制造难度和加工预留量，从而减少制造真空阀体的难度和材料消耗，进而降低真空阀体的加工制造成本。作为优选，筋板的上、下端的前、后端的矩形槽孔通过一颗螺钉和上、下侧板螺钉连接，筋板的上、下端的前、后端之间的其它槽孔通过两颗螺钉和上、下侧板螺钉连接。在改变上下侧板和左右封板围成的空间状态时，筋板的中部受力比较大，同时由于侧板的厚度问题，又不能采用过大直径的螺钉。本优选方案，可以增加筋板和上下侧板连接的可靠性，同时减少加工量。作为优选，上、下侧板的左端伸在左封板的左侧面之外或上、下侧板的右端伸在右封板的右侧面之外；相应地左封板的左侧面或右封板的右侧面设有两根、三根或四根用于吊装所述真空阀体的螺杆。本优选方案，其中螺杆与左、右封板采用焊接结构相连，要吊装真空阀体时，只要把真空阀体侧立起来，把吊具上的螺母旋入螺杆上就可以，其中采用三根或四根螺杆的结构，可以提高吊装结构的可靠性，防止采用两根螺杆结构时因一根螺杆和封板的焊接出现松脱而无法进行吊装的问题。作为优选，上、下侧板的左端伸在左封板的左侧面之外，同时上、下侧板的右端伸在右封板的右侧面之外；相应地左封板的左侧面和右封板的右侧面设有两根、三根或四根用于吊装所述真空阀体的螺杆。本优选方案，在把左右封板和上下侧板焊接起来时，上下侧板的左右端伸出的部分可以用支撑架支撑开来，焊接好后再把支撑架拆掉，这样可以防止或减小焊接变形，同时焊接后还可以不用把伸出部分切割掉，有利于减少加工量。而左右封板同时设置有用于吊装真空阀体的螺杆的结构，在需要吊装真空阀体时可以依据需要把真空阀体侧立起来吊装，也可以不用侧立起来进行吊装，真空阀体的吊装容易进行。作为优选，上、下侧板的左端伸在左封板的左侧面之外，且在上、下侧板的伸出部分各设有两个用于吊装所述真空阀体的吊孔；或上、下侧板的右端伸在右封板的右侧面之夕卜，且在上、下侧板的伸出部分各设有两个用于吊装所述真空阀体的吊孔。本优选方案，要吊装真空阀体时，只要把真空阀体侧立起来，然后利用吊孔和吊具相连即可。作为优选，上、下侧板的左端伸在左封板的左侧面之外，同时上、下侧板的右端伸在右封板的右侧面之外；相应地上、下侧板的左、右端的伸出部分上各设有两个用于吊装所述真空阀体的吊孔。本优选方案，在把左右封板和上下侧板焊接起来时，上下侧板的左右端伸出的部分可以用支撑架支撑开来，焊接好后再把支撑架拆掉，这样可以防止或减小焊接变形，同时焊接后还可以不用把伸出部分切割掉，有利于减少加工量。而上下侧板的伸出端同时设置用于吊装真空阀体的吊孔的结构，在需要吊装真空阀体时可以依据需要把真空阀体侧立起来吊装，也可以不用侧立起来进行吊装，真空阀体的吊装容易进行。作为优选，所述矩形通孔均为沉孔。本优选方案，第一真空室、第二真空室内的通孔阀板组件沉入矩形通孔的沉孔内，可以减少上、下侧板外侧面的精加工工作量，提高通孔阀板组件对矩形通孔的密封效果。综上所述，本技术带来的有益效果是:真空阀体的加工制造难度低、材料消耗少，因此加工制造成本低。同时，本技术还具有使用方便的优点。【附图说明】图1是本技术的一种结构示意图【系图2的A-A剖视图，未画出阀体阀板组件】；图2是图1的俯视图【未画出真空室、通孔阀板组件】；图3是图2的B-B剖视图【未画出阀体阀板组件】。【具体实施方式】下面通过实施例，并结合附图，对本技术的技术方案作进一步具体的说明。实施例一:如图1、图2和图3所示，本技术包括上侧板1、下侧板2、左封板3、右封板4和若干与左、右封板3、4平行的筋板5【筋板的个数依据真空阀体的大小确定，本实施例，筋板的个数为四个】，这些筋板5等距、间隔地设置在左、右封板3、4之间，左、右封板3、4和各筋板5的上、下端分别和上、下侧板1、2固连，左、右封板3、4及各筋板5的前、后端分别和上、下侧板1、2的前、后端齐平；上、下侧板1、2在相邻的两个筋板3之间、最左侧的筋板5和左封板3之间及最右侧的封板5和右封板4之间设有矩形通孔1.1、2.1，上、下侧板1、2和左、右封板3、4围成的空间通过所述矩形通孔1.1,2.1分别和第一真空室10、第二真当前第1页1 2 本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种真空阀体，包括上侧板（1）、下侧板（2）、左封板（3）、右封板（4）和若干与左、右封板（3、4）平行的筋板（5），筋板（5）间隔设置在左、右封板（3、4）之间，左、右封板（3、4）和各筋板（5）的上、下端分别和上、下侧板固连，左、右封板（3、4）及各筋板（5)的前、后端分别和上、下侧板（1、2）的前、后端齐平；上、下侧板（1、2）在相邻的两个筋板（3）之间、最左侧的筋板（5）和左封板（3）之间及最右侧的封板（5）和右封板（4）之间设有矩形通孔（1.1、2.1），上、下侧板（1、2）和左、右封板（3、4）围成的空间通过所述矩形通孔（1.1、2.1）分别和第一真空室（10）、第二真空室（11）连通，其特征是：各筋板（5）上设有若干上下走向的矩形槽孔（5.1），筋板（5）的上、下端通过穿过矩形槽孔（5.1）的上、下槽面的螺钉和上、下侧板（1、2）螺钉连接。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：李天普，阮根才，王发斌，雷林光，
申请(专利权)人：杭州大和热磁电子有限公司，
类型：新型
国别省市：浙江;33