一种新型真空阀结构制造技术

技术编号:11867776 阅读:65 留言:0更新日期:2015-08-12 16:39
本实用新型专利技术公开了一种新型真空阀结构,所述缓真空阀结构包括阀体,所述阀体中设置有阀板,所述阀板的一侧为进气腔室,另一侧为出气腔室,所述进气腔室与进气口连通,所述出气腔室与出气口连通,所述阀板上设置有若干通气孔,所述出气腔室中设置有电磁铁,所述出气腔室中且位于所述电磁铁和阀板之间活动设置有铁质挡板,所述铁质挡板可以把所述通气孔盖住,所述电磁铁和铁质挡板之间设置有弹簧,所述弹簧的一端固定在电磁铁上、另一端固定在铁质挡板上,所述电磁铁的电源线接入真空泵的供电电源线中。本实用新型专利技术具有结构简单,节省成本的特点,另外,它还具有较长使用寿命的特点。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及抽真空阀门
,更具体地说涉及一种新型真空阀结构
技术介绍
在晶体反应的过程中,需要对单晶反应炉进行抽真空处理,在抽真空处理的过程中,需要在抽真空泵和单晶反应炉之间设置有真空阀,真空阀主要由阀体构成,并且阀体具有进气腔室和出气腔室,进气腔室与进气口连通,气腔室与出气口连通,其主要作用在于在真空泵断电和不工作的情况下将真空系统和外界大气进行切断,而在抽真空的时候则保持连通,现有技术中的真空阀不仅仅结构复杂,而且其使用过程中容易发生损坏,使用寿命不长。
技术实现思路
本技术的目的就在于提供一种新型真空阀结构,它具有结构简单,节省成本的特点,另外,它还具有较长使用寿命的特点。为实现上述目的,本技术的一种新型真空阀结构,所述真空阀结构包括阀体,所述阀体中设置有阀板,所述阀板的一侧为进气腔室,另一侧为出气腔室,所述进气腔室与进气口连通,所述出气腔室与出气口连通,所述阀板上设置有若干通气孔,所述出气腔室中设置有电磁铁,所述出气腔室中且位于所述电磁铁和阀板之间活动设置有铁质挡板,所述铁质挡板可以把所述通气孔盖住,所述电磁铁和铁质挡板之间设置有弹簧,所述弹簧的一端固定在电磁铁上、另一端固定在铁质挡板上,所述电磁铁的电源线接入真空泵的供电电源线中。作为上述技术方案的优选,所述进气腔室中安装有空气过滤器)。作为上述技术方案的优选,所述阀体位于所述出气腔室的一端设置有端盖,所述阀板活动设置在所述阀体中,所述阀板与所述阀体内壁密封配合,所述阀板固定在所述阀杆,所述阀杆活动设置在所述端盖上,所述阀杆上设置有缓冲机构。作为上述技术方案的优选,所述缓冲机构包括复位弹簧,所述复位弹簧的一端设置在所述端盖上、另一端设置在动态缓冲部件上,所述动态缓冲部件活动设置在所述出气腔室中,所述动态缓冲部件与所述出气腔室内壁之间设置有密封圈,所述动态缓冲部件安装在所述阀杆上,所述阀杆位于出气腔室外部的一端固定有定位部件。作为上述技术方案的优选,所述动态缓冲部件上设置有弹簧座,所述复位弹簧与所述动态缓冲部件相连接的一端固定在弹簧座上,所述阀杆与所述动态缓冲部件之间设置有密封部件。作为上述技术方案的优选,所述端盖位于所述出气腔室的一侧设置有内盖,所述端盖和内盖之间设置有密封圈。作为上述技术方案的优选,所述阀体位于进气腔室的一端设置有穿孔,所述穿孔中设置有钢珠。作为上述技术方案的优选,所述阀板外壁和阀体内壁之间设置有O型密封圈。本技术的有益效果在于:本技术的工作原理简单,因而其结构简单,节省成本的特点,另外,本技术设置有缓冲机构,在通断的过程中,其震动较小,可对整体结构起到较好地保护作用,因此它还具有较长使用寿命。【附图说明】下面结合附图对本技术做进一步的说明:图1为本技术实施例的结构示意图图2为本技术实施例中阀板的安装示意图图3为本技术实施例中阀板的主视图图4为本技术实施例中阀板的剖视图图中:1、阀体;2、阀杆;3、端盖;4、弹簧座;5、动态缓冲部件;6、电磁铁;7、阀板;8、铁质挡板;9、密封部件;10、密封圈;11、复位弹簧;12、弹簧;13、内盖;14、定位部件;15、钢珠;16、空气过滤器;17、出气口 ;18、进气口 ;19、出气腔室;20、进气腔室;73、通气孔。【具体实施方式】以下所述仅为体现本技术原理的较佳实施例,并不因此而限定本技术的保护范围实施例:如图1至4所示为本技术一种新型真空阀结构的实施例,所述真空阀结构包括阀体1,所述阀体I中设置有阀板7,所述阀板7的一侧为进气腔室20,另一侧为出气腔室19,所述进气腔室20与进气口 18连通,所述出气腔室19与出气口 17连通,其特征在于,所述阀板7上设置有若干通气孔73,所述出气腔室19中设置有电磁铁6,所述出气腔室19中且位于所述电磁铁6和阀板7之间活动设置有铁质挡板8,所述铁质挡板8可以把所述通气孔73盖住,所述电磁铁6和铁质挡板8之间设置有弹簧12,所述弹簧12的一端固定在电磁铁6上、另一端固定在铁质挡板8上,所述电磁铁6的电源线接入真空泵的供电电源线中。 进气腔室20中安装有空气过滤器16,该过滤器16为过滤膜或是过滤板,其主要作用在于可以净化空气,防止在抽真空过程中大的颗粒物质进入抽真空泵,对抽真空泵造成损伤,其对抽真空泵可起到一定地保护作用,在一定程度上可延长抽真空泵的使用寿命。所述阀体I位于所述出气腔室19的一端设置有端盖3,所述阀板7活动设置在所述阀体I中,所述阀板7与所述阀体I内壁密封配合,所述阀板7固定在所述阀杆2,所述阀杆2活动设置在所述端盖3上,所述阀杆2上设置有缓冲机构。缓冲机构包括复位弹簧11,所述复位弹簧11的一端设置在所述端盖3上、另一端设置在动态缓冲部件5上,所述动态缓冲部件5活动设置在所述出气腔室19中,所述动态缓冲部件5与所述出气腔室19内壁之间设置有密封圈10,所述动态缓冲部件5安装在所述阀杆2上,所述阀杆2位于出气腔室19外部的一端固定有定位部件14。动态缓冲部件5上设置有弹簧座4,所述复位弹簧11与所述动态缓冲部件5相连接的一端固定在弹簧座4上,所述阀杆2与所述动态缓冲部件5之间设置有密封部件9。端盖3位于所述出气腔室19的一侧设置有内盖13,所述端盖3和内盖13之间设置有密封圈10。阀体I位于进气腔室20的一端设置有穿孔,所述穿孔中设置有钢珠15。阀板7外壁和阀体I内壁之间设置有O型密封圈。本技术实施例在工作状态下,首先在通电状态,抽真空泵工作的情况下,电磁铁6工作,电磁铁6吸附铁质挡板8,此时通气孔73打开,抽真空泵可正常的进行抽真空操作,而当由于故障或是抽真空泵停止工作的时候,电磁铁6不再工作,此时铁质挡板8在弹簧12的作用下将气孔73挡住,此时可保证抽真空系统和外表的大气环境之间进行隔绝,另夕卜,在抽真空泵刚开启工作的时候会出现一个瞬时的力量作用力于阀板7上,此时阀杆2受力,动态缓冲部件5随着阀杆2 —起后退,在复位弹簧11的作用下可起到一个缓冲作用,将瞬时力卸掉,可很好地对其内部的各零部件起到保护作用。本文中所描述的具体实施例仅仅是对本技术精神作举例说明。本技术所属
的技术人员可以对所描述的具体实施例做各种各样的修改或补充或采用类似的方式替代,但并不会偏离本技术的精神或者超越所附权利要求书所定义的范围。【主权项】1.一种新型真空阀结构,所述真空阀结构包括阀体(1),所述阀体(I)中设置有阀板(7),所述阀板(7)的一侧为进气腔室(20),另一侧为出气腔室(19),所述进气腔室(20)与进气口(18)连通,所述出气腔室(19)与出气口(17)连通,其特征在于,所述阀板(7)上设置有若干通气孔(73),所述出气腔室(19)中设置有电磁铁(6),所述出气腔室(19)中且位于所述电磁铁(6)和阀板(7)之间活动设置有铁质挡板(8),所述铁质挡板(8)可以把所述通气孔(73)盖住,所述电磁铁(6)和铁质挡板(8)之间设置有弹簧(12),所述弹簧(12)的一端固定在电磁铁(6)上、另一端固定在铁质挡板(8)上,所述电磁铁(6)的电源线接入真空泵的供电电源线中。2.根据权利要求1所述的一种新型真空阀结构,其特征在于,所述进气腔室本文档来自技高网
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【技术保护点】
一种新型真空阀结构,所述真空阀结构包括阀体(1),所述阀体(1)中设置有阀板(7),所述阀板(7)的一侧为进气腔室(20),另一侧为出气腔室(19),所述进气腔室(20)与进气口(18)连通,所述出气腔室(19)与出气口(17)连通,其特征在于,所述阀板(7)上设置有若干通气孔(73),所述出气腔室(19)中设置有电磁铁(6),所述出气腔室(19)中且位于所述电磁铁(6)和阀板(7)之间活动设置有铁质挡板(8),所述铁质挡板(8)可以把所述通气孔(73)盖住,所述电磁铁(6)和铁质挡板(8)之间设置有弹簧(12),所述弹簧(12)的一端固定在电磁铁(6)上、另一端固定在铁质挡板(8)上,所述电磁铁(6)的电源线接入真空泵的供电电源线中。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:胡治军
申请(专利权)人:安徽中晶光技术股份有限公司
类型:新型
国别省市:安徽;34

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