真空阀制造技术

实施方式的真空阀具有：电极，在一方具有开口面，是在内部形成有空洞部的杯状，该电极在外周侧面设置有倾斜地横穿轴方向的螺旋状的多个电极狭缝；通电轴，安装在与所述开口面相反一侧的所述电极的另一面；接触点，具有开口在所述通电轴侧的第1凹部，该接触点安装在所述电极的所述开口面侧；以及连接板，配置于所述第1凹部，具有低于所述接触点的电阻率，该连接板以将外周端部作为起点延伸到内侧的方式设置有连接板狭缝，从所述接触点侧观察，所述连接板狭缝的中心轴相对于线朝所述螺旋的旋转方向倾斜，所述线连结所述连接板的中心和所述连接板狭缝的所述起点处的半径方向的中心。

Vacuum valve

The implementation of the vacuum valve has electrodes on one side surface is formed with an opening, a cavity of a cup inside, a plurality of electrodes of the electrode is provided with a spiral slit obliquely across the axial direction in the peripheral side; power shaft installed on the other side of the electrode and the opening. Anti side; contact point, having an opening through the first concave part on the side of the axis, the contact point is arranged on the electrode of the opening side; and a connecting plate, is arranged on the concave part of the first, is lower than that of the contact point of the resistivity, the connecting plate to the outer the end of the week as the starting point to extend into the inner side of the connecting plate slit is arranged, from the point of contact side observation, a center shaft of the connecting plate of the slit is inclined relative to the direction of rotation of the spiral line towards, the line connected with the connecting plate and the center of the company The center of the direction of the radius at the starting point of the slit.

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术的实施方式涉及真空阀。
技术介绍
图15是示出以往的真空阀的结构的一个例子的剖视图。如图15所示在以往的真空阀中，在陶瓷等绝缘容器601的两端开口部密封有固定侧密封金属零件602和可动侧密封金属零件603。在固定侧密封金属零件602中贯穿固定有固定侧通电轴604，在固定侧通电轴604的端部粘着有固定侧电极605。可动侧电极606与固定侧电极605相对置地被粘着于可动侧通电轴607的端部，该可动侧通电轴607可自由移动地贯穿可动侧密封金属零件603。通过固定侧电极605以及可动侧电极606，施加轴方向的磁场(纵磁场)。在可动侧通电轴606的中间部密封有可自由伸缩的波纹管608的一端。在可动侧密封金属零件603的开口部密封有波纹管608的另一端。在绝缘容器601的里面固定被设置成包围电极605、电极606的筒状的遮蔽体609。以这种方式构成的真空阀使用树脂等绝缘材料制模，形成绝缘部610。在绝缘部610的外周表面通过涂覆例如银涂料等导电性涂料等而形成导电部611。在上述的真空阀中，通过未图示的操作机构驱动，连接于操作机构的可动侧通电轴607在轴方向上移动，固定侧电极605与可动侧电极606电气地接触或者脱离。通过电极605、电极606断开，产生电弧，通过纵磁场的效应，电弧被扩散到电极605、电极606的接触点整个范围。现有技术文献专利文献1：日本特开2008-262772号公报
技术实现思路
但是，当电极605、电极606之间的距离变大时，有时纵磁场降低，难以使电弧扩散到电极605、电极606的接触点整个范围。另外，在为了电场缓和而将电极605、电极606的接触点端部的曲率半径变大的情况下，接触点的厚度变厚，所以电极605、电极606与电弧的距离变大，也由此纵磁场降低。其结果，为了切断大电流，需要使电极605、电极606变大。于是，本专利技术的实施方式为了解决这些课题提供一种真空阀，能够使在电极之间产生的纵磁场提高。实施方式的真空阀具有：电极，在一方具有开口面，是在内部形成有空洞部的杯状，该电极在外周侧面设置有倾斜地横穿轴方向的螺旋状的多个电极狭缝；通电轴，安装在与所述开口面相反一侧的所述电极的另一面；接触点，具有开口在所述通电轴侧的第1凹部，该接触点安装在所述电极的所述开口面侧；以及连接板，配置于所述第1凹部，具有低于所述接触点的电阻率，该连接板以将外周端部作为起点延伸到内侧的方式设置连接板狭缝，从所述接触点侧观察，所述连接板狭缝的中心轴相对于线朝所述螺旋的旋转方向倾斜，所述线连结所述连接板的中心和所述连接板狭缝的所述起点处的半径方向的中心。附图说明图1是示出第1实施方式的真空阀的电极部的结构的侧视图。图2是从接触点侧观察到第1实施方式的真空阀的电极部的透视俯视图。图3是示出第2实施方式的真空阀的电极部的结构的侧视图。图4是示出第3实施方式的真空阀的电极部的结构的侧视图。图5是从接触点侧观察到第3实施方式的真空阀的电极部的透视俯视图。图6是示出第4实施方式的真空阀的电极部的结构的侧视图。图7是示出第5实施方式的真空阀的电极部的结构的侧视图。图8是从接触点侧观察到第5实施方式的真空阀的电极部的透视俯视图。图9是示出第6实施方式的真空阀的电极部的结构的侧视图。图10是示出第7实施方式的真空阀的电极部的结构的侧视图。图11是示出第8实施方式的真空阀的电极部的结构的侧视图。图12是示出第9实施方式的真空阀的电极部的结构的侧视图。图13是图12的A-A向视图。图14是从接触点侧观察到第9实施方式的真空阀的连接板的俯视图。图15是示出以往的真空阀的结构的一个例子的剖视图。附图标记说明100、900：电极部；101、903：电极；101a：电极狭缝；101b：空洞部；102、902：接触点；102a、902a：第1凹部；103、901：通电轴；104：增强构件；105、904：连接板；105a、904a：连接板狭缝；201：间隙；301：接触部；401：磁性体；501：凹陷；601：绝缘容器；602：固定侧密封金属零件；603：可动侧密封金属零件；604：固定侧通电轴；605：固定侧电极；606：可动侧电极；607：可动侧通电轴；608：波纹管；609：遮蔽体；610：绝缘部；611：导电部；701：第2凹部；905：臂部；906：圆弧部；907：连接销。具体实施方式以下，根据附图说明实施方式。(第1实施方式)图1是示出第1实施方式的真空阀的电极部的结构的侧视图，图2是从接触点侧观察到第1实施方式的真空阀的电极部的透视俯视图。关于真空阀整体的结构，其与在
技术介绍
项目中说明的图15相同，所以省略。固定侧电极与可动侧电极是相同的结构，所以在图1以及图2中，仅对一方的电极部100进行记载并说明。第1实施方式的真空阀的电极部100具有电极101、接触点102、通电轴103、增强构件104和连接板105。电极101在一方具有开口面，是在内部形成有空洞部101b的杯状，具有例如铜等导电率高的材料。在电极101的外周侧面，设置有多条倾斜地横穿轴方向的螺旋状的电极狭缝101a。在电极101的开口面粘着有接触点102的一个面，所述接触点102具有切断性能优良的例如铜-铬合金。接触点102的另一个面与相对置的未图示的接触点接触或者脱离。在位于与开口面相反一侧的电极101的另一个面粘着有在轴方向上电流流动的通电轴103。在空洞部101b内设置有增强构件104，所述增强构件104包含绝缘物或不锈钢，所述增强构件104将空洞部101b的底部和接触点102的一个面机械地支撑固定。接触点102具有在通电轴103侧开口的第1凹部102a，在第1凹部102a内配置有连接板105。此外，由比接触点102低的电阻率的材料构成连接板105，所述材料可以举出例如铜。如图2所示，在连接板105，以外周端部为起点延伸到内侧地设置有多条连接板狭缝105a。此处，连接板狭缝105a的中心轴10相对于线13朝电极狭缝101a的螺旋的旋转方向倾斜，所述线13连结连接板105的中心11和连接板狭缝105a的起点处的半径方向的中心12。在图1中，电极狭缝101a朝右上升，螺旋的旋转方向为“右”。即，从接触点102侧观察，连接板狭缝105a的中心轴10相对于线13朝右侧倾斜，所述线13连结连接板105的中心11和连接板狭缝105a的起点处的半径方向的中心12。在电极狭缝101a为朝左上升的螺旋状的情况下，螺旋的旋转方向表示“左”，从接触点102侧观察，连接板狭缝105a的中心轴10相对于线13朝左侧倾斜而构成，所述线13连结连接板105的中心11和连接板狭缝105a的起点处的半径方向的中心12。接下来，对本实施方式的真空阀的作用利用图1以及图2进行说明。电极101的开口面与接触点102和连接板105相接，连接板105由比接触点102低的电阻率的材料构成，所以电阻小。因此，在电流切断时在电极部流动的电流的大部分按照通电轴103、电极101、连接板105、接触点102的路径来流动，经由在接触点105与相对置的未图示的接触点之间产生的电弧，向相对置的未图示的接触点流动。从通电轴103在电极101中流动的电流14的朝向被电极狭缝101a限制，如图1所示，电流14通过电极本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种真空阀，具有：电极，在一方具有开口面，是在内部形成有空洞部的杯状，该电极在外周侧面设置有倾斜地横穿轴方向的螺旋状的多个电极狭缝；通电轴，安装在与所述开口面相反一侧的所述电极的另一面；接触点，具有开口在所述通电轴侧的第1凹部，该接触点安装在所述电极的所述开口面侧；以及连接板，配置于所述第1凹部，具有低于所述接触点的电阻率，该连接板以将外周端部作为起点延伸到内侧的方式设置连接板狭缝，从所述接触点侧观察，所述连接板狭缝的中心轴相对于线朝所述螺旋的旋转方向倾斜，所述线连结所述连接板的中心和所述连接板狭缝的所述起点处的半径方向的中心。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2014.04.17 JP 2014-0853711.一种真空阀，具有：电极，在一方具有开口面，是在内部形成有空洞部的杯状，该电极在外周侧面设置有倾斜地横穿轴方向的螺旋状的多个电极狭缝；通电轴，安装在与所述开口面相反一侧的所述电极的另一面；接触点，具有开口在所述通电轴侧的第1凹部，该接触点安装在所述电极的所述开口面侧；以及连接板，配置于所述第1凹部，具有低于所述接触点的电阻率，该连接板以将外周端部作为起点延伸到内侧的方式设置连接板狭缝，从所述接触点侧观察，所述连接板狭缝的中心轴相对于线朝所述螺旋的旋转方向倾斜，所述线连结所述连接板的中心和所述连接板狭缝的所述起点处的半径方向的中心。2.根据权利要求1所述的真空阀，其特征在于：从所述接触点侧观察，所述电极狭缝和所述连接板狭缝的至少一部分重叠。3.根据权利要求1或者2所述的真空阀，其特征在于：在所述电极与所述接触点之间具有间隙，所述电极与所述连接板相接。4.根据权利要求1或者2所述的真空阀，其特征在于，进一步具有：连接部，设置在所述电极与所述接触点之间。5.根据权利要求1至4中的任意一项所述的真空阀，其特征在于：沿着所述电极狭缝的所述螺旋方向倾斜地形成所述连接板狭缝。6.根...

【专利技术属性】
技术研发人员：丹羽芳充，坂口互，关森裕希，
申请(专利权)人：株式会社东芝，
类型：发明
国别省市：日本;JP