真空阀制造技术

一个真空阀包括封闭体（3）和阀壳（1），该阀壳具有阀孔（4）和内室（2），在内室里面设置封闭体（3），该封闭体在真空阀的封闭状态顶靠在包围阀孔（4）的阀座（6）上。所述阀壳（1）具有限制内室（2）的由薄板构成的外壳壁（19），该外壳壁为了构成阀孔（4）配有窗口空隙（20）。所述阀孔（4）由法兰环（21）包围，该法兰环可以通过螺栓连接与具有内室的真空单元（27）的连接法兰（28）连接，在真空单元上可以连接真空阀。所述法兰环（21）具有阀座（6），所述封闭体（3）在真空阀的关闭状态中顶靠在该阀座上。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一个真空阀，包括封闭体和阀壳，该阀壳具有阀孔和内室，在内室里面设置封闭体，该封闭体在真空阀的封闭状态顶靠在包围阀孔的阀座上，其中所述阀壳具有限制内室的由薄板构成的外壳壁，该外壳壁为了构成阀孔配有窗口空隙，并且其中所述阀孔由法兰环包围，该法兰环可以通过螺栓连接与具有内室的真空单元的连接法兰连接，在真空单元上可以连接真空阀。
技术介绍
已知，在真空阀中由薄板构成外壳壁，由此节省材料。由WO 2011/088482 Al和US7，011，294 BI给出上述形式的真空阀。真空阀具有由薄板制成的外壳半体，它们形成对置的第一和第二外壳壁，外壳壁分别配有窗口空隙，用于构成阀孔。阀壳的各侧壁由两个外壳半体的弯曲段形成，其中两个外壳半体在侧壁部位相互焊接。在对置的外壳壁外侧面上焊接包围窗口空隙的接管，在其上又焊接实心的法兰环。通过这个实心的配有通孔的法兰环可以使真空阀与另一真空单元、例如真空室或管的连接法兰螺栓连接。为了赋予阀壳必需的稳定性，需要其它措施，尤其必需设有在两个法兰环之间延伸的且使两个法兰环相互支承的支承部件，它们焊接在两个法兰环上。由此使真空阀的加工变得昂贵。由DE 29 27 369 Al给出另一、总体上由薄板制成的阀门。此外，已知具有实心阀壳的真空阀，在阀壳中在阀壳内部设有可更换的环形嵌入件。通过密封相对于阀壳密封的嵌入件具有阀座，封闭体在真空阀的封闭状态顶靠在阀座上。例如由JP 2012-72888 A给出这种真空阀。在这里封闭体在其打开位置与其关闭位置之间直线地移动，在真空阀的关闭状态封闭体占据关闭位置，其中设置在封闭体上的密封和设置在阀座上的密封面具有三维的轮廓。通过预先使用已知具有可更换阀座的其它这样的真空阀。在此阀座从阀壳的内室与具有阀孔的外壳壁旋紧，通过使连接螺栓穿过阀座的通孔旋入到外壳壁里面的盲孔式螺纹孔里面。由此挤压在阀座与外壳壁之间的密封。通过阀座取出性，即使真空阀的阀壳与其它真空单元保持连接，也可以在阀座例如由于侵蚀的工艺气体磨损时更换阀座。也可以使用具有不同表面的阀座，它们例如抵制不同的工艺气体，它们在不同的真空过程中使用。由US 8，272，825B2给出另一具有可更换阀座的真空阀(参见图4A，右侧)。具有阀座的嵌入件在这里穿过实心外壳壁中的窗口空隙一直延伸到阀壳的外侧面，并且在那里具有密封，用于屏蔽工艺气体与阀壳的法兰密封，法兰密封设置在实心外壳壁的槽里面。
技术实现思路
本专利技术的目的是，提供上述形式的、有利且成本有利构成的真空阀。按照本专利技术这一点通过具有权利要求1特征的真空阀实现。在按照本专利技术的真空阀中所述法兰环具有阀座，所述封闭体在真空阀的关闭状态中顶靠在阀座上。因此所述法兰环适合于双重功能。一方面，通过法兰环实现真空阀与真空单元连接法兰的螺栓连接，在真空单元上连接真空阀，另一方面，所述法兰环也构成真空阀的阀座。这能够实现有利地传递在封闭体的关闭状态中施加在阀座上的力或者至少其一部分力到真空单元上，在真空单元上连接真空阀。由此极大地减小对真空阀阀壳提出的刚性要求，这能够降低结构费用并由此节省成本。这个力传递有利地通过外壳壁实现，外壳壁夹紧在连接在窗口空隙上的、尤其环形的、在法兰环与连接法兰之间的部位。为了构成在法兰环与真空单元的连接法兰之间的螺栓连接在本专利技术的可能的实施例中规定，所述法兰环配有螺纹孔。这些螺纹孔有利地以盲孔的形式构成，它们加入到法兰环的离开阀座的表面里面，即，背离阀壳的内表面。在构成具有螺纹孔的法兰环时，所述连接法兰可以有利地通过通孔构成，穿过通孔插进连接螺栓并且旋入到法兰环的螺纹孔里面，其中螺栓头支承在连接法兰上。在另一可能的实施例中为了构成在法兰环与真空单元的连接法兰之间的螺栓连接规定，所述法兰环具有用于插进连接螺栓的通孔。在这种情况下，连接螺栓有利地从阀壳内室穿过通孔插进法兰环，并且旋入到连接法兰中的螺纹孔里面。这些螺纹孔例如以盲孔的形式构成，它们从面对阀壳的连接法兰表面开始。所述法兰环在装配状态在其与阀座对置的一侧上、即通过其离开阀座的表面支承在连接在外壳壁的窗口空隙上的、包围窗口空隙的外壳壁支承部位中的外壳壁上。在与真空单元的连接法兰连接的状态所述外壳壁、至少通过一部分支承部位、最好至少通过整个支承部位、尤其也通过超出支承部位的部位支承在连接法兰上。因此，至少通过一部分支承部位、最好通过整个支承部位所述外壳壁夹紧在法兰环与连接法兰之间，必要时通过设置在外壳壁与法兰环之间的密封环和/或通过设置在外壳壁与真空单元的连接法兰之间的密封环。通过这个夹紧也导致总体上加固阀壳。如果所述真空阀不与真空单元连接，为了使法兰环不可遗失地固定在外壳壁上，所述法兰环最好通过固定螺栓与外壳壁连接。在此可以这样设计与真空单元通过连接螺栓的连接，使固定螺栓在真空密封地连接在真空单元上的真空阀状态没有功能。在此在真空阀连接在真空单元上的状态在法兰环与外壳壁之间的螺栓连接中产生间隙。有利地这样实现在法兰环与外壳壁之间利用固定螺栓的螺栓连接，使固定螺栓穿过外壳壁中的通孔旋入到法兰环中的螺纹孔里面。在此连接螺栓头位于阀壳外部，即，在背离阀座的外壳壁一侧上。在本专利技术的可能的实施例中规定，在法兰环与外壳壁之间设置密封环。取而代之或者附加地可以在外壳壁与连接法兰之间设置密封环。为了构成在真空阀的法兰环与真空单元的连接法兰之间的密封可以在法兰环上设置环形密封，它例如设置在法兰环的槽里面或者硫化在法兰环上。这个密封为了共同作用配有位于连接法兰上的环形密封面。也可以选择，所述法兰环具有环形密封面，该密封面为了共同作用配有设置在连接法兰上的环形密封。上述密封措施也可以组合。在本专利技术的有利实施例中，所述阀壳附加地对于目前所述的由薄板制成的第一外壳壁包括由薄板制成的第二外壳壁，该外壳壁为了构成阀壳的第二阀孔配有窗口空隙。在此附加地对于目前所述的第一法兰环设有第二法兰环，该法兰环包围第二阀孔并且该法兰环通过螺栓连接可以与另一真空单元的连接法兰连接，在该真空单元上连接真空阀。在此在这个实施例的可能的第一变体中，第二法兰环完全与第一法兰环类似地构成并且以相同的方式与其他部件(外壳壁、真空单元)连接或可以连接，此外第二法兰环没有用于封闭体的阀座地构成。在第二可能的变体中，第二法兰环也形成第二阀座，所述封闭体位于该阀座上，或者另一封闭体顶靠在该阀座上。在按照本专利技术的真空阀中，所述封闭体和相应的阀座的几何形状可以以非常不同的方式构成。这同样适用于阀驱动装置。例如，在按照本专利技术的真空阀中，所述封闭体在其在真空阀的打开状态中的打开位置与其在真空阀的关闭状态中的关闭位置之间的运动基本是L形的。例如由US6, 431, 518 BLffO 2010/065976 Al 或 WO 2010/034046 Al 已知这种具有 L 运动的阀门，并且按照本专利技术的真空阀的阀驱动装置和封闭体形状例如可以如同在这些文献中所述地那样地构成。在此，所述L运动的各个运动部分可以由相同或不同的致动器唤起。按照本专利技术的真空阀例如也可以这样构成，整个关闭运动在封闭体的打开位置与关闭位置之间总体上直线地实现。在这些真空阀中也没有扩涨封闭体，例如由US4，809，950 A, US 6，685，163 B2，US本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种真空阀，包括封闭体（3）和阀壳（1），该阀壳具有阀孔（4）和内室（2），在内室里面设置封闭体（3），该封闭体在真空阀的封闭状态顶靠在包围阀孔（4）的阀座（6）上，其中所述阀壳（1）具有限制内室（2）的由薄板构成的外壳壁（19），该外壳壁为了构成阀孔（4）配有窗口空隙（20），并且其中所述阀孔（4）由法兰环（21）包围，该法兰环可以通过螺栓连接与具有内室的真空单元（27）的连接法兰（28）连接，在真空单元上可以连接真空阀，其特征在于，所述法兰环（21）具有阀座（6），所述封闭体（3）在真空阀的关闭状态中顶靠在阀座上。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：B杜伊里，T布勒查，A纽梅尔，C安格斯特，
申请(专利权)人：VAT控股公司，
类型：发明
国别省市：瑞士;CH