一种真空阀及抽真空设备制造技术

本实用新型专利技术提供一种真空阀及抽真空设备，包括：腔体，所述腔体包括第一接口和第二接口；与所述腔体相对设置的气缸；阀座，连接所述腔体和气缸，并与所述第一接口相对设置，所述阀座包括通孔；轴体，包括连杆，以及分别位于所述连杆两端的密封盘和活塞，所述连杆穿过所述通孔，所述密封盘、活塞分别位于所述腔体、气缸内；弹簧，所述弹簧两端分别与所述密封盘和阀座连接，所述连杆穿过所述弹簧；第一密封圈，设置于所述通孔中，所述连杆穿过所述第一密封圈。本实用新型专利技术提供的真空阀，具有较长的使用寿命，并降低成本支出。

【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本技术提供一种真空阀及抽真空设备，包括：腔体，所述腔体包括第一接口和第二接口；与所述腔体相对设置的气缸；阀座，连接所述腔体和气缸，并与所述第一接口相对设置，所述阀座包括通孔；轴体，包括连杆，以及分别位于所述连杆两端的密封盘和活塞，所述连杆穿过所述通孔，所述密封盘、活塞分别位于所述腔体、气缸内；弹簧，所述弹簧两端分别与所述密封盘和阀座连接，所述连杆穿过所述弹簧；第一密封圈，设置于所述通孔中，所述连杆穿过所述第一密封圈。本技术提供的真空阀，具有较长的使用寿命，并降低成本支出。【专利说明】
本技术涉及一种阀门，更具体的说，尤其涉及一种真空阀及包括该真空阀的 抽真空设备。 一种真空阀及抽真空设备
技术介绍
真空阀是指工作压力低于标准大气压的阀门。都是由普通阀门改进演变而来，不 同点在于其工作时压力小于大气压，比普通阀门的气密性要好，适用于介质为水和蒸汽的 真空管道上，在火电厂汽机冷凝和真空负压系统中使用最为广泛，主要的作用为启闭装置， 起到真空隔离密封的作用，具有开启速度快，适用范围广的优点。 目前，市场上的真空阀大多采用波纹管贯穿腔体的形式来达到密封效果，如图1 所示，图1为现有技术中真空阀的剖视结构示意图。如图所示，真空阀由腔体11和气缸12 组成，通常所述腔体11表面设置有第一接口 1101和第二接口 1102,所述汽缸12中还包含 通气孔1201和出气孔1202。在腔体11内部通过波纹管19控制气体的隔绝和流通，在波纹 管19内部还设置有一弹簧15。当真空阀在工作时，空气由所述通气孔1201向气缸12充 气，轴体14带动弹簧15和波纹管19 一起向气缸12方向运动，此时密封盘1402和第一接 口 1101分离，腔室（未示出）内的空气从第二接口 1102被吸入腔体11进而通过第一接口 1101被抽出，随后所述弹簧15带动所述轴体14和所述波纹管19 一起向第一接口 1101的 方向移动，一次抽真空动作完成。真空阀由此通过所述轴体14的往复运动来实现腔室（未 示出）的抽真空，但轴体14的往复运动容易造成气缸12内的气体逸出，进入腔体11和腔 室（未示出），因此在弹簧15的外围设置可以与轴体14和弹簧15共同运动的波纹管19， 与弹簧15和轴体14共同形成一个密闭空间，用来防止气缸12中的气体逸出进入腔体11 进而进入腔室（未示出），影响真空阀的抽真空效果。但是长期使用后的真空阀在波纹管 19的周期性伸缩后，会出现老化漏气现象，气体从波纹管19逸出进入腔体11，降低抽真空 设备的抽真空能力。在目前抽真空设备使用中的统计情况，该类型真空阀平均每年会因老 化漏气更换一次，由此带来了成本增加的问题。
技术实现思路
有鉴于此，本技术提供一种真空阀，包括： 腔体，所述腔体包括第一接口和第二接口； 与所述腔体相对设置的气缸； 阀座，连接所述腔体和气缸，并与所述第一接口相对设置，所述阀座包括通孔； 轴体，包括连杆，以及分别位于所述连杆两端的密封盘和活塞，所述连杆穿过所述 通孔，所述密封盘、活塞分别位于所述腔体、气缸内； 弹簧，所述弹簧两端分别与所述密封盘和阀座连接，所述连杆穿过所述弹簧； 第一密封圈，设置于所述通孔中，所述连杆穿过所述第一密封圈。 优选地，所述密封盘与所述第一接口匹配设置。 优选地，所述阀座在通孔位置有圆环形突出。 优选地，所述气缸包括通气孔和出气孔。 优选地，所述阀座与所述腔体之间设置有第二密封圈。 优选地，所述真空阀包含慢抽真空阀，所述慢性真空阀包括腔体、气缸、阀座、轴 体、弹簧、密封圈、通气孔、出气孔。 优选地，所述真空阀还包括法兰盘，所述法兰盘用于连接所述气缸和所述腔体。 优选地，一种抽真空设备，包括所述的真空阀。 优选地，所述抽真空设备还包括真空泵和腔室，所述真空泵与所述第一接口连接， 所述腔室与所述第二接口连接。 本技术提供的真空阀，通过使用密封圈的结构可以使阀座与轴体形成一个单 独的密封空间并减少密封空间的范围，而且无需使用波纹管进行密封，因此可以有效避免 因波纹管漏气而导致的真空阀抽真空能力下降。从而延长真空阀的使用寿命，降低成本支 出。 【专利附图】【附图说明】 图1为现有技术中真空阀的剖视结构示意图； 图2为本技术实施例一提供的真空阀的剖视结构示意图； 图3为本技术实施例一中气缸与腔体连接的示意图； 图4为本技术实施例一中气缸与腔体的法兰盘的示意图； 图5为本技术实施例二提供的真空阀的剖视结构示意图； 图6为本技术实施例二提供的慢抽真空阀局部放大图。 【具体实施方式】 本技术提供一种真空阀，包括：腔体，所述腔体包括第一接口和第二接口； 与所述腔体相对设置的气缸；阀座，连接所述腔体和气缸，并与所述第一接口相对设置，所 述阀座包括通孔；轴体，包括连杆，以及分别位于所述连杆两端的密封盘和活塞，所述连杆 穿过所述通孔，所述密封盘、活塞分别位于所述腔体、气缸内；弹簧，所述弹簧两端分别与所 述密封盘和阀座连接，所述连杆穿过所述弹簧；第一密封圈，设置于所述通孔中，所述连杆 穿过所述第一密封圈。 本技术提供的真空阀，通过密封圈的结构可以使气缸形成一个单独的密闭空 间，从而无需使用波纹管进行密封，因此可以有效避免由于波纹管漏气而导致的干泵抽真 空能力下降的现象。从而减少真空阀的损耗，延长真空阀的使用寿命，降低生产成本。 为了使本技术的目的、技术方案和优点更加清楚，下面结合附图来进一步做 详细说明。 实施例一 请参考图2,图2为本技术实施例一提供的真空阀的剖视结构示意图。如图2 所示，所述真空阀包括：腔体21、气缸22、阀座23、轴体24、弹簧25和第一密封圈2601，以 下详细介绍各部件的作用和相互之间的连接关系。 腔体21，所述腔体21包括第一接口 2101和第二接口 2102,所述第一接口 2101用 于和一真空泵（未示出）连接，所述第二接口 2102用于和一需要被抽真空的腔室（未示 出）连接。 气缸22,所述气缸22与所述腔体21相对设置。 阀座23,连接所述腔体21和气缸22,并与所述第一接口 2101相对设置，所述阀座 23包括一通孔2301，所述通孔2301沿腔体21至气缸22的方向设置并贯通所述阀座23。 轴体24,所述轴体24包括连杆2401，以及分别位于所述连杆2401两端的密封盘 2402和活塞2403,所述连杆2401穿过所述通孔2301，所述密封盘2402位于所述腔体21 内，而且与所述第一接口 2101匹配设置，也就是说所述密封盘2402可以将第一接口 2101 堵塞住，使其和腔体21可以相互之间不通气。所述活塞2403位于所述气缸22内，并将所 述气缸22分成两部分空间，在阀座23和所述活塞2403之间的空间中，气缸22的壁上还设 置有一通气孔2201，并且所述活塞2403在气缸22的通气孔2201至汽缸22的底部之间的 范围内可以前后活动，所述两部分空间的大小也会随之改变。通气孔2201用于向气缸22 输入气体以推动活塞2403运动本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种真空阀，其特征在于，包括： 腔体，所述腔体包括第一接口和第二接口； 与所述腔体相对设置的气缸； 阀座，连接所述腔体和气缸，并与所述第一接口相对设置，所述阀座包括通孔； 轴体，包括连杆，以及分别位于所述连杆两端的密封盘和活塞，所述连杆穿过所述通孔，所述密封盘、活塞分别位于所述腔体、气缸内； 弹簧，所述弹簧两端分别与所述密封盘和阀座连接，所述连杆穿过所述弹簧； 第一密封圈，设置于所述通孔中，所述连杆穿过所述第一密封圈。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：孟凡清，陈争明，季宏兵，
申请(专利权)人：上海天马微电子有限公司，天马微电子股份有限公司，
类型：新型
国别省市：上海;31