【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及石英产品治具,尤其是涉及一种用于石英小舟部品尺寸定位的焊接装置。
技术介绍
1、石英小舟是一种耐高温的石英玻璃制品,具有优良的化学稳定性、高温耐腐蚀性能和热稳定性,广泛应用于半导体行业。在芯片制造过程中,石英小舟被用于高温热处理工艺,如燃烧化学蒸发、气相输运、淀积、扩散、蚀刻、退火等工序。
2、在半导体制造过程中,石英舟被用作承载和保护芯片的载体。在高温热处理工艺中,石英舟能够承受高温环境下的热膨胀和机械应力,同时不会释放杂质和气体,保证芯片的纯度和质量。此外,石英舟还具有优良的化学稳定性,能够抵抗各种化学物质的侵蚀,保护芯片不受化学污染。
3、随着半导体行业及太阳能行业的发展,石英小舟的应用越来越广泛。随着应用场景的复杂多样化,对石英小舟的精度要求也越来越高。现有的石英小舟各个部品的定位方式比较粗放,简单使用石墨方块搭建出所需要的尺寸就进行了焊接,遇到尺寸要求严格的产品,则需要反复修理且不能保证各部品间的关联尺寸全部合格,且焊接效率低、返修率高、报废率高,不能满足大批量生产的要求。
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...【技术保护点】
1.一种用于石英小舟部品尺寸定位的焊接装置,其特征在于,包括有定位基体;
2.根据权利要求1所述的一种用于石英小舟部品尺寸定位的焊接装置,其特征在于,所述弧度支撑部包括可拆卸连接于定位基体的中部支撑板,所述中部支撑板顶部设置有弧形面。
3.根据权利要求1所述的一种用于石英小舟部品尺寸定位的焊接装置,其特征在于,所述阶梯式定位部由上至下包括若干层宽度递增的定位块组,所述定位块组包括沿定位基体中轴线对称设置的左定位块和右定位块,所述左定位块与右定位块之间的距离可调。
4.根据权利要求3所述的一种用于石英小舟部品尺寸定位的焊接装置,其特征
...【技术特征摘要】
1.一种用于石英小舟部品尺寸定位的焊接装置,其特征在于,包括有定位基体;
2.根据权利要求1所述的一种用于石英小舟部品尺寸定位的焊接装置,其特征在于,所述弧度支撑部包括可拆卸连接于定位基体的中部支撑板,所述中部支撑板顶部设置有弧形面。
3.根据权利要求1所述的一种用于石英小舟部品尺寸定位的焊接装置,其特征在于,所述阶梯式定位部由上至下包括若干层宽度递增的定位块组,所述定位块组包括沿定位基体中轴线对称设置的左定位块和右定位块,所述左定位块与右定位块之间的距离可调。
4.根据权利要求3所述的一种用于石英小舟部品尺寸定位的焊接装置,其特征在于,上、下相邻的定位块组之间滑动连接;上下相邻的定位块组之间可相对固定。
5.根据权利要求4所述的一种用于石英小舟部品尺寸定位的焊接装置,其特征在于,上、下相邻的定位块...
【专利技术属性】
技术研发人员:李凯,李本宏,傅杰,杨军,
申请(专利权)人:杭州大和热磁电子有限公司,
类型:发明
国别省市:
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