【技术实现步骤摘要】
本技术为一种拖盘结构，特别为一种具有静电膜的免抓夹静电拖盘结构。
技术介绍
拖盘结构在半导体制造过程的应用上，是必须的装置，而且使用量非常的大，不管晶圆大小或其应用范畴，所有的半导体晶圆制作时，都要用到拖盘结构以固定及容置晶圆进行多样的半导体制造过程。然而，综观现行使用的拖盘结构，皆是以凸点或抓夹施加压力的方式将晶圆固定于拖盘结构。其缺点不但使整个晶圆的可反映面积减少，更因凸点或抓夹与晶圆表面的直接接触，容易对晶圆产生磨损，影响晶圆的制造合格率。有鉴于此，发展及创造出一种成本便宜，又可以不必直接与晶圆产生接触，即能够将晶圆固定于拖盘结构进行半导体制造过程的免抓夹静电拖盘结构，便成现今半导体产业与电子应用产品设计上一个众所期盼的重要课题。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种免抓夹静电拖盘结构，其包括:托盘；至少一个静电膜；以及上盖。免抓夹静电拖盘结构是以静电吸附的方式使上盖盖覆托盘，并使晶圆固定于载盘与相对应的上盖的开口之间不会移动。借由本技术的实施，由于上盖不须使用凸点即可固定晶圆，可有效提升半导体晶圆利用率；且以静电方式固定晶圆，可免除可能的晶圆磨...
【技术保护点】
一种免抓夹静电拖盘结构，其特征在于其包括：托盘，其形成有至少一个载盘用以承载晶圆；至少一个静电膜，固设于该载盘，其中每一该静电膜是固设于该载盘上，且当该载盘承载该晶圆时该静电膜是位于该载盘与该晶圆之间；以及上盖，其对应于每一该载盘处皆设有开口，且该上盖是分离地盖覆于该托盘上。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：陈宜杰，罗世欣，林士青，
申请(专利权)人：聚昌科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：中国台湾;71
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