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本实用新型为一种免抓夹静电拖盘结构，其包括：托盘，其形成有至少一个载盘用以承载晶圆；至少一个静电膜，每一个静电膜是固设于载盘上；以及上盖。免抓夹静电拖盘结构是以静电吸附的方式使上盖盖覆于托盘上，并使晶圆固定于载盘与相对应的上盖的开口之间不会...
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