一种真空镀膜生产线用旋转门阀制造技术

本发明专利技术公开了一种真空镀膜生产线用旋转门阀，包括：一门阀组件和一驱动组件，驱动组件与门阀组件一端连接，门阀组件包括一门阀、一旋转轴和至少一个门阀连接件，门阀连接件连接门阀和旋转轴；驱动组件包括一气缸和一驱动器，驱动器连接气缸和旋转轴，驱动器进一步包括一第一驱动轴、一第二驱动轴和一驱动轴套，第一驱动轴与气缸连接，第二驱动轴与旋转轴连接，第一驱动轴和第二驱动轴安装在驱动轴套内。与现有技术相比，该旋转门阀安装在镀膜流水线的进口和出口，通过气缸驱动，节约人力物力，动作灵敏，使门阀旋转0～95度，确保基片快速进出镀膜流水线的进口和出口，提高整个真空镀膜生产线的工作效率，因此其应用前景十分广阔。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及真空镀膜生产线领域，具体说，是涉及一种真空镀膜生产线用旋转门阀。
技术介绍
真空镀膜技术初现于20世纪30年代，四五十年代开始出现工业应用，工业化大规模生产开始于20世纪80年代，在电子、宇航、包装、装潢、烫金印刷等工业中取得广泛的应用。真空镀膜技术是一种新颖的材料合成与加工的新技术，是表面工程
的重要组成部分。真空镀膜技术是利用物理、化学手段将固体表面涂覆一层特殊性能的镀膜，从而使固体表面具有耐磨损、耐高温、耐腐蚀、抗氧化、防辐射、导电、导磁、绝缘和装饰灯许多优于固体材料本身的优越性能，达到提高产品质量、延长产品寿命、节约能源和获得显著技术经济效益的作用。需要镀膜的被称为基片，镀的材料被称为靶材。在真空镀膜生产线中，需要真空环境镀膜，这样一般情况时，会保持生产线的进出口处完全封闭，通常采用分别设置有门阀，在基片进出生产线时，该门阀会相应的打开。在现有技术中，通常采用人工操作此门阀的开关，即通过其他设备接收到基片进出的信号(或计算基片在基片传送流水线和镀膜流水线运行的时间)后，人工打开生产线进口或出口的门阀。然而，因为不能很准确接收基片进出的信号，且人为控制的动作有一定的延迟性，通常不能很及时的打开进口和出口的门阀，这样使生产效率降低。此外，真空镀膜生产线对真空的环境要求非常高，这样真空腔室的门体的厚度会增加，相应地，生产线进口和出口的门阀的厚度增加，人工操作控制的难度增加。
技术实现思路
针对现有技术存在的上述问题，本专利技术的目的是提供一种真空镀膜生产线用旋转门阀，该旋转门阀安装在镀膜流水线的进口和出口，采用气动机构驱动门阀旋转，当基片进出镀膜流水线时，控制进口和出口的开关。为实现上述专利技术目的，本专利技术采用的技术方案如下:一种真空镀膜生产线用旋转门阀，包括:—门阀组件，门阀组件包括一门阀、一旋转轴和至少一个门阀连接件，门阀连接件连接门阀和旋转轴；和一驱动组件，驱动组件与门阀组件一端连接，驱动组件包括一气缸和一驱动器，驱动器连接气缸和旋转轴，驱动器进一步包括一第一驱动轴、一第二驱动轴和一驱动轴套，第一驱动轴与气缸连接，第二驱动轴与旋转轴连接，第一驱动轴和第二驱动轴安装在驱动轴套内。优选地，该旋转门阀进一步包括一驱动组件，两组驱动组件分别与门阀组件的两端连接，两组驱动组件同步驱动门阀组件中的门阀旋转，这样使门阀的旋转更平稳。优选地，气缸中包括一齿条和一齿轮，齿条带动齿轮旋转，齿轮与第一驱动轴连接。更优选地，气缸中齿条带动齿轮旋转的角度为O?180度，齿轮带动第一驱动轴的角度为O?180度。更优选地，气缸中齿条带动齿轮旋转的角度为O?180度，齿轮带动第一驱动轴的角度为O?95度。优选地，第一驱动轴和第二驱动轴与驱动轴套活动连接。更优选地，第一驱动轴和第二驱动轴与驱动轴套通过键连接，第一驱动轴通过驱动轴套带动第二驱动轴旋转。更优选地，驱动轴套进一步包括一驱动轴套内孔、两驱动轴套键槽和两驱动轴套键，驱动轴套内孔与两驱动轴套键槽连通，两驱动轴套键槽设置在驱动轴套的两端部，驱动轴套键槽的宽度与驱动轴套键一致，驱动轴套键设置在驱动轴套内。优选地，第一驱动轴进一步包括一第一驱动轴第一端部、一第一驱动轴第二端部和第一驱动轴体，第一驱动轴体连接第一驱动轴第一端部和第一驱动轴第二端部，第一驱动轴第一端部与气缸连接，第一驱动轴第二端部套入驱动轴套内。更优选地，第一驱动轴第二端部设有第一驱动轴键槽，第一驱动轴键槽的宽度与驱动轴套键一致。优选地，第二驱动轴进一步包括一第二驱动轴第一端部、一第二驱动轴第二端部和第二驱动轴体，第二驱动轴体连接第二驱动轴第一端部和第二驱动轴第二端部，第二驱动轴第一端部套入驱动轴套内，第二驱动轴第二端部与旋转轴连接。更优选地，第二驱动轴第一端部设有第二驱动轴键槽，第二驱动轴键槽的宽度与驱动轴套键一致。优选地,第二驱动轴与旋转轴活动连接,第二驱动轴带动旋转轴旋转。更优选地，旋转轴进一步在两端部分别设有一旋转轴连接端，第二驱动轴第二端部进一步设有第二驱动轴连接端，旋转轴通过两端的旋转轴连接端分别与两组驱动组件中第二驱动轴的第二驱动轴连接端连接。更优选地，旋转轴连接端为凹端部，第二驱动轴连接端为凸端部，第二驱动轴与旋转轴通过第二驱动轴连接端与旋转轴连接端配合连接，旋转轴连接端与第二驱动轴连接端直径一致。优选地，驱动器进一步包括一保护轴套，第二驱动轴和旋转轴套入保护轴套内，保护轴套的内径与旋转轴连接端和第二驱动轴连接端直径一致。优选地，门阀连接件进一步包括一连接轴套和一门阀连接座，门阀连接座自连接轴套的一侧外壁延伸形成，旋转轴套入连接轴套内。优选地，旋转轴套入连接轴套内通过键槽连接。更优选地，门阀连接件进一步包括一连接键，连接键设置在旋转轴和连接轴套之间。更优选地，连接轴套进一步包括一连接轴套内孔和一连接轴套键槽，连接轴套内孔的孔径与旋转轴的直径一致，连接轴套键槽与连接轴套内孔连通，连接轴套键槽与连接键的宽度一致。更优选地，旋转轴上设有至少一个旋转轴键槽，旋转轴键槽的宽度与连接键的宽度一致。优选地，门阀进一步包括至少一个安装槽，安装槽自门阀上去除材料形成，门阀连接件的门阀连接座安装在安装槽内。更优选地，安装槽的数量与门阀连接件的数量对应。更优选地，安装槽的大小与门阀连接座的大小一致。更优选地，门阀连接座可拆卸安装在安装槽内。优选地，驱动组件进一步包括一固定法兰和一固定座，固定法兰与气缸连接，将气缸固定在镀膜流水线的进口腔/出口腔的腔壁上，同时减少气缸的漏气情况，驱动轴套设置在固定法兰内，固定座与固定法兰连接，进一步支撑气缸，同时保持第一驱动轴、第二驱动轴和旋转轴保持竖直同轴心。与现有技术相比，本专利技术提供了一种真空镀膜生产线用旋转门阀，该旋转门阀安装在镀膜流水线的进口和/出口，通过气缸驱动，节约人力物力，动作灵敏，使门阀旋转O?95度，确保基片快速进出镀膜流水线的进口和出口，提高整个真空镀膜生产线的工作效率，因此其应用前景十分广阔。【附图说明】图1为本专利技术提供的真空镀膜生产线用旋转门阀的一种优选实施方式的示意图；图2为本专利技术提供的真空镀膜生产线用旋转门阀中门阀一种优选实施方式的示意图；图3为本专利技术提供的真空镀膜生产线用旋转门阀中门阀一种优选实施方式的剖视图A-A ；图4为本专利技术提供的真空镀膜生产线用旋转门阀的驱动器一种优选实施方式的立体图；图5为本专利技术提供的真空镀膜生产线用旋转门阀中第一驱动轴一种优选实施方式的立体图；图6为本专利技术提供的真空镀膜生产线用旋转门阀中第二驱动轴一种优选实施方式的立体图；图7为本专利技术提供的真空镀膜生产线用旋转门阀中驱动轴套一种优选实施方式的立体图；图8为本专利技术提供的真空镀膜生产线用旋转门阀的动作示意图。【具体实施方式】下面结合实施方式及对附图对本专利技术作进一步详细、完整地说明。图1至图8，为本专利技术提供的真空镀膜生产线用旋转门阀一种优选实施方式的示意图。该旋转门阀安装在在镀膜流水线的进口和出口上，控制基片进出镀膜流水线。如图1至图8所示，该旋转门阀包括一门阀组件10和两驱动组件20，两驱动组件20分别与门当前第1页1 2 3 本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种真空镀膜生产线用旋转门阀，其特征在于，包括：一门阀组件，所述门阀组件包括一门阀、一旋转轴和至少一个门阀连接件，所述门阀连接件连接门阀和旋转轴；和一驱动组件，驱动组件与门阀组件一端连接，所述驱动组件包括一气缸和一驱动器，所述驱动器进一步包括一第一驱动轴、一第二驱动轴和一驱动轴套，所述第一驱动轴与气缸连接，所述第二驱动轴与旋转轴连接，所述第一驱动轴和第二驱动轴安装在驱动轴套内。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：黄国兴，孙桂红，祝海生，黄乐，梁红，吴永光，
申请(专利权)人：湘潭宏大真空技术股份有限公司，
类型：发明
国别省市：湖南;43