【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种基于MEMS的超高灵敏气体吸收光谱测量系统，其特征在于：该系统包括泵浦激光器、光束调制装置、光程池、反射聚焦装置、MEMS微悬臂梁、探测激光器、位置敏感探测器、锁相放大器和中央处理器，所述光程池用于容纳被测气体样品，所述MEMS微悬臂梁由基座以及固定在基座上的双层结构组成，所述双层结构包括黑硅材料层以及形成于黑硅材料层上的金属材料层；所述泵浦激光器的输出端通过光束调制装置与光程池的入光口光路连接，所述光程池的出光口通过反射聚焦装置与MEMS微悬臂梁的黑硅材料层光路连接，所述探测激光器的输出端与MEMS微悬臂梁的金属材料层光路连接，所述位置敏感探测器设置在金属材料层的反射光路上，所述光束调制装置和位置敏感探测器的输出端与锁相放大器的输入端连接，所述锁相放大器的输出端与中央处理器的输入端连接。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：董敬涛，陈坚，吴周令，
申请(专利权)人：合肥知常光电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：安徽;34
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。