一种有源气室结构与光声光谱气体传感系统技术方案

本发明专利技术公开了一种有源气室结构与光声光谱气体传感系统，它包括集成光源、光声池、麦克风、光电探测模块、信号处理模块、光源控制模块和数据输出模块，集成光源直接与光声池的一端封装为一体，麦克风安装在光声池的侧壁上；光电探测模块的光敏面对准光声池的出光端口；光电探测模块及麦克风的输出端均连接至信号处理模块的输入端，信号处理模块的一个输出端与光源控制模块相连、另一个输出端与数据输出模块相连；光源控制模块与集成光源的控制端相连接。本发明专利技术采用将特殊设计的DFB半导体激光器直接与气室一端封装为一体的结构设计，省去与光纤耦合的中间环节，大大提高了注入光功率，同时简化了光束调整结构，实现了气室小型化和稳定性的提高。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及气体检测领域和光传感领域中的一种传感单元结构，具体涉及一种集 成光源式的有源气室结构与光声光谱气体传感系统。
技术介绍
近年来，伴随着光通信产业的成熟与壮大，大批高性能光器件的成本不断降低，尤 其是近红外通信波段(800~1700nm)的半导体DFB激光器，其输出功率和线宽特性都得到极 大提升。使得实现现代工业应用所急需的高精度和在线监测成为可能。光声光谱技术是一 种无背景信号的检测技术，具有不消耗气样、灵敏度高、检测时间短、便于现场检测等优点。 对于浓度很低的样品气体，仍然可以获得较高的灵敏度。例如，近红外窄线宽DFB半导体激 光器的成熟，可以方便地利用性能优异的近红外通信波段(800~1700nm)DFB激光器，结合 光声光谱技术实现优于lppm的实时测量。虽然目前某些气体，如乙烷，在近红外波段并无明 显吸收，但是中红外区域3400nm附近的量子级联DFB光源的量产也指日可待，为这些气体实 现高灵敏度的检测提供了又一助力。 现阶段，ppm级微量特征气体浓度的检测主要采用气相色谱法。气相色谱法的标准 操作流程包括:现场油样采集一一实验室油气分离一一过色谱柱实现气体组分分离(解决 电化学方法的交叉敏感问题)一一电化学法完成浓度检测。这种检测方式操作繁琐、周期 长、且色谱柱属于耗材需定期更换。其他检测方法，如半导体气敏传感器和傅里叶红外光谱 技术，均存在灵敏度或缺乏实时性等缺陷，因此无法广泛投入工业应用。 光声光谱气体检测技术具有灵敏度高(实验室单气体检测精度达ppt量级）、实时 性好等优点，在工业领域具有极大的发展潜力。在前期光声光谱技术研发过程中，我们发现 其核心部分一一光声气室的结构设计与优化对提升光声检测系统的灵敏度、稳定性和结构 小型化起着决定性作用。在保证系统灵敏度的前提下，光声气室的小型化是减少检测耗气 量、提高响应速度的主要考量。而小的共振腔(直径~2_)需要激光器输出光束直径和固定 工艺(光束与谐振腔轴线平行）的保证，以及满足谐振腔内壁加工精度的要求，而目前比较 通用的DFB激光器+光纤准直器输出的结构，对光束平行度及其准直工艺提出了较高的要 求，限制了气室的小型化。
技术实现思路
本专利技术要解决的技术问题是，针对现有气室/气体池存在的光源耦合与光束调整 工艺复杂、稳定性差的问题，提供一种集成光源式的有源气室结构与光声光谱气体传感系 统，大大提高注入光功率，同时简化光束调整结构，实现气室小型化和稳定性的提高。 本专利技术为解决上述技术问题所采用的技术方案是： -种有源气室结构与光声光谱气体传感系统，它包括集成光源、光声池、麦克风、 光电探测模块、信号处理模块、光源控制模块和数据输出模块，所述集成光源直接与光声池 的一端封装为一体构成整体光声气室，所述麦克风安装在光声池的外侧、用于检测光声池 中形成的声压信号的强度，并将其转化为电信号;所述光电探测模块的光敏面对准光声池 的出光端、用于将光信号转化为电信号;光电探测模块及麦克风的输出端均连接至信号处 理模块的输入端，信号处理模块的一个输出端与光源控制模块相连、另一个输出端与数据 输出模块相连;所述光源控制模块与集成光源的控制端相连接。 按上述方案，所述集成光源采用近红外DFB半导体激光器。 按上述方案，所述光声气室为单端口或者两端口气室(单端口下无出射光监控，双 端口下有出射光监控）。按上述方案，所述信号处理模块包括锁相放大器，信号处理模块通过锁相放大器 利用锁相法实现弱信号提取。本专利技术的工作原理:将改进的集成光源(DFB激光器)直接与光声池的一端封装到 一体，使光声池与集成光源成为一个整体气室结构;光源控制模块与集成光源控制端相连 接，利用半导体激光调频技术产生具有声学调制特征的激发光并将其直接注入到光声池 中；光声气室内特定气体分子吸收光能后受激发，跃迀到振动能级的高能态，进而通过无福 射跃迀将能量转化为动能，从而在光声池中形成压力波;利用麦克风检测光声池中形成的 压力波信号的强度，并将其转化为电信号;光电探测模块将光信号转化成电信号;信号处理 模块接收麦克风输出端的电信号以及光电探测模块输出端的电信号，并对接收到的电信号 进行滤波放大处理;信号处理模块的一个输出端与光源控制模块相连，利用输出信号对光 源控制模块进行负反馈，从而确保集成光源输出稳定;信号处理模块的另一个输出端通过 接口电路将信号传输至数据输出模块，进行数据处理与显示。根据声压信号幅度与入射光 强、气体分子吸收系数和含量的关系，从而确定光声气室内受激发气体的分子含量，最终得 到待测气体浓度。 与其他类型的光声光谱检测法相比，本专利技术具有下列优点和积极效果： 1、从光源封装结构入手，设计了一种集成光源式气室结构，将DFB半导体激光器直 接与光声气室一端封装集成为一体的设计结构，省去了光纤准直器，优化了气室的光注入 结构设计一一改善了注入光束的发散角，减小了光束发散、提高了注入气室的光功率和结 构稳定性，最终得以实现光声气室体积的进一步小型化； 2、半导体激光器调频技术是为实现光声气室的谐振工作状态，对光源频率进行调 制，使光源频率与光声气室的谐振频率匹配，从而获得最大的输出信号，及以该气室为核心 的气体传感系统，实现了优于0.5ppm的乙炔气体检测精度； 3、由于光声信号是与光源调制频率互相关的交流信号，因此数据处理过程中利用 锁相法抑制非相关噪声，从而提高系统的信噪比，同时也方便提取光声信号的相位和频率。【附图说明】 图1为本专利技术有源气室结构与光声光谱气体传感系统的结构原理图； 图中，1-近红外DFB半导体激光器，2-光声池，3-麦克风，4-光电探测模块，5-信号 处理模块，6-光源控制模块，7-数据输出模块。【具体实施方式】 为使本专利技术的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本 专利技术进行进一步的详细说明。 参照图1所示，本实施例中的有源气室结构与光声光当前第1页1 2 本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种有源气室结构与光声光谱气体传感系统，其特征在于：它包括集成光源、光声池、麦克风、光电探测模块、信号处理模块、光源控制模块和数据输出模块，所述集成光源直接与光声池的一端封装为一体构成有源光声气室，所述麦克风安装在光声池的侧壁上、用于检测光声池中形成的声压信号的强度，并将其转化为电信号；所述光电探测模块的光敏面对准光声池的出光端口、用于将光信号转化为电信号；光电探测模块及麦克风的输出端均连接至信号处理模块的输入端，信号处理模块的一个输出端与光源控制模块相连、另一个输出端与数据输出模块相连；所述光源控制模块与集成光源的控制端相连接。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：李玉林，黎敏，邓硕，
申请(专利权)人：武汉精昱光传感系统研究院有限公司，
类型：发明
国别省市：湖北;42