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本发明提供一种基于MEMS的超高灵敏气体吸收光谱测量系统，包括泵浦激光器、光束调制装置、光程池、反射聚焦装置、MEMS微悬臂梁、探测激光器、位置敏感探测器、锁相放大器和中央处理器，所述光程池用于容纳被测气体样品，所述MEMS微悬臂梁由基座以...
该专利属于合肥知常光电科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过合肥知常光电科技有限公司授权不得商用。

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