一种金属成膜掩膜板的清洗方法技术

技术编号:11442695 阅读:73 留言:0更新日期:2015-05-13 13:11
本发明专利技术公开一种金属成膜掩膜板的清洗方法,包括以下3个步骤:S1:在掩膜板的表面蒸镀一层有机层;S2:将步骤S1得到的蒸镀有有机层的掩膜板放入金属成膜腔体进行金属蒸镀;S3:将步骤S2得到的掩膜板放入有机溶液中清洗。本发明专利技术可以将金属成膜掩膜板的清洗运用在有机溶剂的清洗机中清洗,有效防止运输过程中引起的不便,同时可以节约外送清洗掩膜板的成本。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种金属成膜掩膜板的清洗方法,其特征在于,所述清洗方法包括如下步骤:S1:在掩膜板的表面蒸镀一层有机层;S2:将步骤S1得到具有有机层的掩膜板放入金属成膜腔体进行金属蒸镀;S3:将步骤S2得到的掩膜板放入有机溶液中清洗。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:周扬川柯贤军吴俊雄冉应刚苏君海黄亚清李建华
申请(专利权)人:信利惠州智能显示有限公司
类型:发明
国别省市:广东;44

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