加热模块和包含所述加热模块的衬底处理设备制造技术

本发明专利技术提供一种加热模块与衬底处理设备。用于对衬底进行预热的加热模块安装在用于执行主处理的主处理模块的前端处。当将用激光照射衬底以使衬底结晶的激光结晶模块用作主处理模块时，加热模块对衬底进行预热，并且接着，激光结晶模块用激光照射衬底。即，在激光结晶处理之前使用加热模块对衬底进行预热。因此，主处理模块中在激光照射前后的温差小，并且加热和冷却速度低。因而，与现有技术中的多晶膜相比，根据所述实施例的多晶膜具有较大晶体粒径和较小晶格缺陷数目。

【技术实现步骤摘要】
加热模块和包含所述加热模块的衬底处理设备
本专利技术涉及一种加热模块(heatingmodule)以及包含所述加热模块的衬底处理设备(substratetreatingapparatus)，并且更明确地说，涉及一种用于在主处理之前对衬底进行预热的加热模块以及包含所述加热模块的衬底处理设备。
技术介绍
用作用于液晶面板的切换装置的低温多晶硅(lowtemperaturepolysilicon，LTP)薄膜晶体管是通过沉积非晶硅层并使其结晶而形成。此类非晶硅层可经由依序侧向凝固(sequentiallateralsolidification，SLS)或准分子激光退火(excimerlaserannealing，ELA)而结晶。SLS是一种诱发侧向生长以获得接近于单晶并且具有大场效应移动性(fieldeffectmobility)的晶体的方法。然而，因为所发出的激光束具有高度的能量相依性，因此工艺范围(processmargin)不大。此外，因为于其上放置衬底的平台的准确度对于处理具有大的影响，因此难以使整个衬底具有均一结果。ELA为一种诱发垂直生长的方法，其在结晶特性方面不如SLS，但对于整个衬底提供均一性并且因而广泛地使用。典型ELA设备包含：腔室；衬底转移部分，其安装在所述腔室中以支撑衬底并且使所述衬底在处理方向上水平移动；透明窗口，其安装在所述腔室的上部部分上；激光产生器部分，其安置于所述腔室之外以发出激光；以及反射器，其安置于所述腔室之外并且面向所述透明窗口的上侧以将从所述激光产生器部分发出的所述激光引导到所述透明窗口。现将描述使用此类ELA设备的结晶方法。首先，当激光产生器部分发出激光时，所述激光由反射器反射并且接着通过透明窗口，接着入射到衬底的外表面。举例来说，衬底可在其上表面上具有非晶硅层。当所述非晶硅层用激光照射时，所述非晶硅层液化并且再次固化以经历结晶，由此形成多晶硅层。在用激光照射非晶硅层的同时，使衬底水平移动以连续结晶多个衬底。因而，非晶硅层的加热和冷却速度过高。因此，结晶时间显著地短，从而引起大量晶格缺陷并且粒径减小。<引用文献>[专利文献1]韩国专利公开案第10-2006-0041687号[专利文献2]韩国专利注册号第10-0935850号
技术实现思路
本专利技术提供一种用于在结晶处理之前对衬底进行预热的加热模块以及包含所述加热模块的衬底处理设备。本专利技术还提供一种用于形成具有大晶体粒径和少量晶格缺陷的加热模块以及包含所述加热模块的衬底处理设备。根据示范性实施例，一种加热模块包含：多个灯式加热器(lampheater)；下部外壳(lowerhousing)，其经配置以容纳所述灯式加热器；窗口部分(windowpart)，其经配置以覆盖容纳在所述下部外壳中的所述灯式加热器并且传递从所述灯式加热器发出的热；以及固定框架，其经配置以将所述窗口部分固定到所述下部外壳并且将将冲洗气体喷射到所述窗口部分的上侧。所述固定框架可包含：主体(body)，其具有框架形状；冲洗通路(purgepassage)，其安置在所述主体中以接收所述冲洗气体；以及冲洗喷嘴(purgenozzle)，其经配置以与所述冲洗通路连通以喷射所述冲洗气体。根据另一示范性实施例，一种加热模块包含：多个灯式加热器；下部外壳，其经配置以容纳所述灯式加热器；窗口部分，其经配置以覆盖容纳在所述下部外壳中的所述灯式加热器并且传递从所述灯式加热器发出的热；固定框架，其经配置以将所述窗口部分固定到所述下部外壳；以及冲洗气体喷射部分，其安置在所述固定框架上方以将冲洗气体喷射到所述窗口部分。所述冲洗气体喷射部分可包含：喷射主体，其具有框架形状；喷射通路，其安置在所述喷射主体中；以及多个喷射喷嘴，其安置在所述喷射主体的内壁表面中并且与所述喷射通路连通。所述灯式加热器可包含：灯体(lampbody)；灯丝(filament)，其安置在所述灯体中并且卷绕成螺旋形状；以及第一电极部分和第二电极部分，其安置在所述灯体的两侧以密封所述灯体并且将电力供应到所述灯丝；其中所述灯体的边缘区段中每区域的灯丝的卷绕数目大于所述灯体的中心区段中每区域的灯丝的卷绕数目。所述灯式加热器可包含：灯支撑部分(lampsupportpart)，其安置在所述外壳中以支撑所述第一电极部分和所述第二电极部分；以及灯插座，其安置于所述下部外壳之外以经由所述灯支撑部分将所述电力供应到所述第一电极部分和所述第二电极部分。当所述灯体具有全长100时，所述中心区段可具有范围在全长的约20％到60％的长度，并且安置在所述中心区段的两侧的所述边缘区段可具有范围在全长的约40％到80％的长度，并且所述中心区段可由所述灯体的中心平分。当所述中心区段中每区域的灯丝的卷绕数目为100时，所述灯体的边缘区段中每区域的灯丝的卷绕数目可为所述中心区段中每区域的灯丝的卷绕数目的约120％到250％。每区域的灯丝的卷绕数目可从所述灯体的中心区到其边缘区逐渐增大。所述灯体的所述中心区段中每区域的灯丝的卷绕数目可最小，并且所述灯体的所述边缘区段中每区域的灯丝的卷绕数目可最大，并且所述中心区段和所述边缘区段的每区域的灯丝的卷绕数目可在不同区段中持续变化。所述灯式加热器可包含固定轴杆，所述固定轴杆具有所述灯丝围绕其卷绕的外圆周表面。根据又一示范性实施例，一种衬底处理设备包含：主处理模块，其经配置以对衬底执行主处理；以及加热模块，其安装在所述主处理模块的前端处以对所述衬底进行预热，其中所述加热模块包含：加热腔室，其具有内部空间并且连接到所述主处理模块；多个灯式加热器，其安置在所述加热腔室中；下部外壳，其经配置以容纳所述灯式加热器；窗口部分，其经配置以覆盖容纳于所述下部外壳中的所述灯式加热器并且传递从所述灯式加热器发出的热；以及固定框架，其经配置以将所述窗口部分固定到所述下部外壳并且将冲洗气体喷射到所述窗口部分的上侧。所述固定框架可包含：主体，其具有框架形状；冲洗通路，其安置在所述主体中以接收所述冲洗气体；以及冲洗喷嘴，其经配置以与所述冲洗通路连通以喷射所述冲洗气体。根据又另一示范性实施例，一种衬底处理设备包含：主处理模块，其经配置以对衬底执行主处理；以及加热模块，其安装在所述主处理模块的前端处以对所述衬底进行预热，其中所述加热模块包含：加热腔室，其具有内部空间并且连接到所述主处理模块；多个灯式加热器，其安置在所述加热腔室中；下部外壳，其经配置以容纳所述灯式加热器；窗口部分，其经配置以覆盖容纳于所述下部外壳中的所述灯式加热器并且传递从所述灯式加热器发出的热；固定框架，其经配置以将所述窗口部分固定到所述下部外壳；以及冲洗气体喷射部分，其安置在所述固定框架上方并且将冲洗气体喷射到所述窗口部分。所述冲洗气体喷射部分可包含：喷射主体，其具有框架形状；喷射通路，其安置在所述喷射主体中；以及多个喷射喷嘴，其安置在所述喷射主体的内壁表面中并且与所述喷射通路连通。所述衬底处理设备可包含衬底支撑部分，所述衬底支撑部分安置在所述加热腔室中并且面向所述灯式加热器以支撑所述衬底并且使所述衬底在一方向上水平移动。所述灯式加热器可包含：灯体；灯丝，其安置在所述灯体中并且卷绕成螺旋形状；以及第一电极部分和第二电极部分，其安置本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种加热模块，其特征在于包括：多个灯式加热器；下部外壳，其经配置以容纳所述灯式加热器；窗口部分，其经配置以覆盖容纳在所述下部外壳中的所述灯式加热器并且传递从所述灯式加热器发出的热；以及固定框架，其经配置以将所述窗口部分固定到所述下部外壳并且将冲洗气体喷射到所述窗口部分的上侧。

【技术特征摘要】
2013.10.21 KR 10-2013-01252801.一种加热模块，其特征在于包括：多个灯式加热器，以垂直于衬底的移动方向线的方式排列以形成板形状的热源；下部外壳，其经配置以容纳所述灯式加热器；窗口部分，其经配置以覆盖容纳在所述下部外壳中的所述灯式加热器并且传递从所述灯式加热器发出的热；以及固定框架，其经配置以将所述窗口部分固定到所述下部外壳并且将冲洗气体喷射到所述窗口部分的上侧，其中每一所述灯式加热器包括灯体以及在所述灯体中卷绕的灯丝，且对于所述多个灯式加热器中除了在两个边缘处的两个所述灯式加热器之外的所有所述灯式加热器，每区域的所述灯丝的卷绕数目在所述灯体的延伸方向上经调整以控制所述板形状的热源的加热温度分布。2.根据权利要求1所述的加热模块，其中所述固定框架包括：主体，其具有框架形状；冲洗通路，其安置在所述主体中以接收所述冲洗气体；以及冲洗喷嘴，其经配置以与所述冲洗通路连通以喷射所述冲洗气体。3.根据权利要求1所述的加热模块，其中所述灯式加热器包括：第一电极部分和第二电极部分，其安置在所述灯体的两侧处以密封所述灯体并且将电力供应到所述灯丝；其中所述灯体的边缘区段中每区域的所述灯丝的卷绕数目大于所述灯体的中心区段中每区域的所述灯丝的卷绕数目。4.根据权利要求3所述的加热模块，其中所述灯式加热器包括：灯支撑部分，其安置在所述下部外壳中以支撑所述第一电极部分和所述第二电极部分；以及灯插座，其安置于所述下部外壳之外以经由所述灯支撑部分将所述电力供应到所述第一电极部分和所述第二电极部分。5.根据权利要求3或4所述的加热模块，其中当所述灯体具有全长时，所述中心区段具有范围在所述全长的20％到60％的长度，并且安置在所述中心区段的两侧处的所述边缘区段具有范围在所述全长的40％到80％的长度，并且所述中心区段由所述灯体的中心平分。6.根据权利要求3所述的加热模块，其中当所述中心区段中每区域的所述灯丝的卷绕数目为100时，所述灯体的所述边缘区段中每区域的所述灯丝的卷绕数目为所述中心区段中每区域的所述灯丝的卷绕数目的120％到250％。7.根据权利要求3所述的加热模块，其中每区域的所述灯丝的卷绕数目从所述灯体的中心区到其边缘区逐渐增大。8.根据权利要求3所述的加热模块，其中所述灯体的所述中心区段中每区域的所述灯丝的卷绕数目最小，并且所述灯体的所述边缘区段中每区域的所述灯丝的卷绕数目最大，并且所述中心区段和所述边缘区段的每区域的所述灯丝的卷绕数目在不同区段中持续变化。9.根据权利要求3所述的加热模块，其中所述灯式加热器包括固定轴杆，所述固定轴杆具有所述灯丝围绕其卷绕的外圆周表面。10.一种加热模块，其特征在于包括：多个灯式加热器，以垂直于衬底的移动方向线的方式排列以形成板形状的热源；下部外壳，其经配置以容纳所述灯式加热器；窗口部分，其经配置以覆盖容纳在所述下部外壳中的所述灯式加热器并且传递从所述灯式加热器发出的热；固定框架，其经配置以将所述窗口部分固定到所述下部外壳；以及冲洗气体喷射部分，其安置在所述固定框架上方以将冲洗气体喷射到所述窗口部分，其中每一所述灯式加热器包括灯体以及在所述灯体中卷绕的灯丝，且对于所述多个灯式加热器中除了在两个边缘处的两个所述灯式加热器之外的所有所述灯式加热器，每区域的所述灯丝的卷绕数目在所述灯体的延伸方...

【专利技术属性】
技术研发人员：梁相熙，沈亨基，李基雄，
申请(专利权)人：AP系统股份有限公司，
类型：发明
国别省市：韩国;KR