用于对准基板的装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了用于对准基板(200)的装置(100)。所述装置包括：两个或两个以上传送单元(120)，每一传送单元(120)包含两个或两个以上支持元件(130,140,150,160,170,180,190,195,199)，所述支持元件被配置以围绕第一旋转轴(400)旋转以传送基板(200)，其中每一支持元件(130,140,150,160,170,180,190,195,199)包括锥形元件，所述锥形元件具有被配置以支持基板(200)的侧表面(151;161,162;171;181;191;196)。

【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本专利技术公开了用于对准基板(200)的装置(100)。所述装置包括：两个或两个以上传送单元(120)，每一传送单元(120)包含两个或两个以上支持元件(130,140,150,160,170,180,190,195,199)，所述支持元件被配置以围绕第一旋转轴(400)旋转以传送基板(200)，其中每一支持元件(130,140,150,160,170,180,190,195,199)包括锥形元件，所述锥形元件具有被配置以支持基板(200)的侧表面(151;161,162;171;181;191;196)。【专利说明】用于对准基板的装置
本案的实施方式涉及用于对准基板的装置、太阳能电池生产装置、用于利用对准基板的所述装置装备太阳能电池生产装置的方法、用于利用对准基板的所述装置改装太阳能电池生产装置的方法，和用于制造太阳能电池生产装置的方法。本案的实施方式尤其涉及用于对准用以形成光伏(photovoltaic;PV)电池的基板的装置。
技术介绍
太阳能电池是将太阳光直接转换成为电力的PV装置。在制造商业上可行的太阳能电池的一个主要构成在于通过提高装置产量和增加基板生产量来降低形成太阳能电池所需的制造成本。 在光伏电池的生产领域中的一些挑战与精确对准用以形成光伏(PV)电池的基板有关。具体而言，基板可在干燥炉中经历干燥处理且，在离开所述干燥炉之后，所述基板可在进行例如丝网印刷工艺之前通过对准装置定中心或对准。 如图1中所示的当前使用的对准装置10可位于干燥炉的端部，且所述对准装置10可包括用于夹持基板20的伯努利系统11、位于对准装置10的顶部以检测基板20的位置的照相机12，和平移和/或旋转基板20的移动装置13。为了对准，对准装置10可通过伯努利夹持器11夹持离开烘箱的基板20，使用照相机12检测基板20的位置，且对准装置10可随后使用移动装置13根据参考位置调整基板20的位置。 然而，所述当前使用的对准装置包括复杂且昂贵的硬件。具体而言，所述对准装置需要真空系统、伯努利夹持器、直线电动机、具有照相机的检查系统等的存在。因此，存在对于用于对准基板的容易的、较不复杂的和成本有效的装置的需要。 鉴于上文，本专利技术的目的是提供一种克服本技术中的至少一些问题的用于对准基板的装置，具体而言用于对准用以形成光伏(PV)电池的基板的装置。
技术实现思路
鉴于上文，本专利技术提供了用于对准基板的装置、太阳能电池生产装置、用于利用对准基板的所述装置装备太阳能电池生产装置的方法、用于利用对准基板的所述装置改装太阳能电池生产装置的方法，和用于制造太阳能电池生产装置的方法。本专利技术的进一步方面、优点和特征从附属权利要求、描述和附图中显而易见。 根据一个实施方式，用于对准基板的装置包括两个或两个以上传送单元，每一传送单元具有两个或两个以上支持元件，所述支持元件被配置以围绕第一旋转轴旋转以传送基板。每一支持元件包括一个或多个锥形元件，所述锥形元件具有被配置以支持基板的侧表面。 根据一个实施方式，太阳能电池生产装置包括一个或多个印刷站，和如上所述的用于对准基板的一个或多个装置。 根据一个实施方式，本专利技术提供了用于利用对准基板的装置装备太阳能电池生产装置的方法。所述方法包括提供一个或多个印刷站，和提供如上所述的用于对准基板的一个或多个装置。 根据另一实施方式，本专利技术提供了用于改装太阳能电池生产装置的方法，所述太阳能电池生产装置包括具有用于夹持基板的伯努利系统的对准装置和被配置以捕获基板位置的照相机。所述方法包括以如上所述的用于对准基板的装置至少替代伯努利系统和照相机。 根据另一实施方式，本专利技术提供了用于制造太阳能电池生产装置的方法。所述方法包括提供一个或多个印刷站，和提供如上所述的用于对准基板的一个或多个装置。 【专利附图】【附图说明】 因此，以可详细地理解本案的上述特征的方式，可参考实施方式获得上文简要概述的本案的更特定描述。附图涉及本专利技术的实施方式且附图描述在下文中: 图1示出用于对准基板的现有技术对准装置； 图2示出根据本文所述的第一实施方式的用于对准基板的装置； 图3示出根据本文所述的第二实施方式的用于对准基板的装置； 图4示出根据本文所述的实施方式的用于对准基板的装置的支持元件的实例的剖面图； 图5示出图4的支持元件的透视图； 图6示出根据本文所述的实施方式的用于对准基板的装置的支持元件的另一实例； 图7示出根据本文所述的实施方式的用于对准基板的装置的支持元件的又一实例； 图8示出根据本文所述的实施方式的用于对准基板的装置的支持元件的又一个实例； 图9示出根据本文所述的实施方式的用于对准基板的装置的支持元件的进一步实例； 图10示出根据本文所述的实施方式的用于对准基板的装置的支持元件的另一实例； 图11示出根据本文所述的实施方式的用于对准基板的装置的视图； 图12示出根据本文所述的实施方式的用于对准基板的另一装置的视图； 图13示出根据本文所述的实施方式的具有用于对准基板的装置的太阳能电池生产装置；和 图14示出根据本文所述的实施方式的用于利用对准基板的装置装备太阳能电池生产装置的方法的流程图。 【具体实施方式】 现将对本专利技术的各种实施方式进行详细参考，所述实施方式的一个或多个实例示出于诸图中。在附图的以下描述中，相同元件符号代表相同元件。通常，仅描述对于各实施方式的差异。各实例是作为对本专利技术的说明而提供，且各实例并不意指作为对本专利技术的限制。此外，示出或描述为一个实施方式的一部分的特征可用于其他实施方式或结合其他实施方式一起使用，以产生更进一步实施方式。本描述意图包括所述修改和变化。 图2示出根据可与本文所述的其他实施方式结合的第一实施方式的用于对准基板200的装置100。 根据一些实施方式，用于对准基板200的装置100包括两个或两个以上传送单元120。每一传送单元120具有两个或两个以上支持元件130,所述支持元件130被配置以围绕所述支持元件130的第一旋转轴400旋转以传送基板200。每一支持元件130包括一个或多个锥形元件。每一锥形元件具备侧表面，所述侧表面被配置以支持基板200。侧表面也可被称为圆周表面。 通过以锥形元件的侧表面支持基板200，在传送期间施加于基板的应力或力被最小化。具体而言，通过支持基板或基板边缘/周边的锥形元件的倾斜侧表面，降低了垂直于基板表面作用的分力。因此，减少或甚至避免了基板，尤其是薄和/或大的基板的断裂。从而，可增加将处理的基板产量。 根据可与本文所述的其他实施方式结合的一些实施方式，每一支持元件130包括一个锥形元件。根据可与本文所述的其他实施方式结合的一些其它的实施方式，每一支持元件130包括两个锥形元件。根据一些实施方式,每一锥形元件具有锥轴153,所述锥轴大体上平行于支持元件130的第一旋转轴400。 如图2中所示,每一传送单元120的支持元件130是沿着所述支持元件130的第一旋转轴400彼此以距离dl布置。距离dl对于装置100的所有传送单元120可大体上相同，或距离dl对于装置100的至少一些传送单元120可不同。根据一些实施方式，距离dl可改变以便适于不同晶片本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于对准基板(200)的装置(100)，包含：两个或两个以上传送单元(120)，每一传送单元(120)包含两个支持元件(130,140,150,160,170,180,190,195,199)，所述支持元件(130,140,150,160,170,180,190,195,199)被配置以围绕第一旋转轴(400)旋转以传送所述基板(200)，其中每一支持元件(130,140,150,160,170,180,190,195,199)包含一个或多个锥形元件，所述锥形元件具有被配置以支持所述基板(200)的侧表面(151;161,162;171;181;191;196)。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：G·帕斯夸林，
申请(专利权)人：应用材料意大利有限公司，
类型：发明
国别省市：意大利;IT