显示器件转印定位装置及其方法制造方法及图纸

一种显示器件转印定位装置及其方法，所述显示器件转印定位装置，用于将芯片转印定位到基板上，包括转印头，位于所述基板上方，用于将芯片转印到所述基板的表面上；电容组件，所述电容组件包括第一电极阵列和与所述第一电极阵列对应的感应单元，所述第一电极阵列设置在所述基板上，所述感应单元设置在所述转印头的与所述基板相对应的转印表面上。上述显示器件转印定位装置及其方法，能更加精确、简单地进行定位，并可以根据转印头和基板之间的互感信息，确定芯片抓取是否缺失。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及显示器件
，特别是涉及一种显示器件转印定位装置和一种显示器件转印定位方法。
技术介绍
转印指的是将中间载体薄膜上的图文采用相应的压力转移到承接物上的一种印刷方法，目前，转印技术已广泛应用到显示装置的制造中。在使用转印技术制造显示装置的技术中，转印时，需要转印头将预制好的芯片转印到基板(例如：玻璃基板)表面，因此，要对转印头进行定位，从而精确地将芯片转印到基板的对应位置。一般地，转印头定位的方法主要是采用光学定位，对于抓取个别芯片进行转印时，采用该方法，难以将个别芯片的对位标志标记在动态显示区的内部，即不能准确地定位个别芯片。此外，在对所有芯片进行转印后，需进行光学检测来确定是否有转印缺失，该方法不能实时监控转印率。
技术实现思路
基于此，为了解决个别芯片难以准确定位和实时监控转转印率的问题，提供一种显示器件转印定位装置及其方法。一种显示器件转印定位装置，用于将芯片转印定位到基板上，所述装置包括：转印头，位于所述基板上方，用于将芯片转印到所述基板的表面上；电容组件，所述电容组件包括第一电极阵列和与所述第一电极阵列对应的感应单元，所述第一电极阵列设置在所述基板上，所述感应单元设置在所述转印头的与所述基板相对应的转印表面上。在其中一个实施例中，所述第一电极阵列包括至少一个第一电极单元，所述第一电极单元在所述第一电极阵列的一个方向上相互连接，且相邻两个所述<br>第一电极单元之间形成互感电容。在其中一个实施例中，所述第一电极单元的形状为多边形。在其中一个实施例中，所述感应单元为电容传感器，用于感应所述第一电极阵列的互感电容。在其中一个实施例中，所述感应单元为第二电极阵列，用于和所述第一电极阵列之间形成互感电容。在其中一个实施例中，所述第二电极阵列包括至少一个第二电极单元。还有必要提供一种显示器件转印定位方法。一种显示器件转印定位方法，所述方法包括：制作电容组件，其中，所述电容组件包括第一电极阵列，以及与所述第一电极阵列对应的感应单元，在基板上制作第一电极阵列，并在转印头上制作与所述第一电极阵列对应的感应单元，并将所述第一电极阵列和所述感应单元接入到控制电路中；在所述基板垂直的方向上，移动所述转印头，并测量所述第一电极阵列和所述感应单元之间的互感信号值，根据预先设定的互感信号值，确定所述转印头距离所述基板的垂直高度；测量所述感应单元和所述第一电极阵列上的各个位置之间的互感信号值，并根据所述互感信号值，定位所述转印头的水平位置。在其中一个实施例中，所述第一电极阵列包括至少一个第一电极单元，且所述第一电极单元在所述第一电极阵列在一个方向上相互连接。在其中一个实施例中，所述方法还包括根据所述转印头和所述基板之间的互感信号，确定转印到所述基板上的芯片的状态。上述显示器件转印定位装置及其方法，通过制作电容组件，该电容组件包括在基板的表面上制作的电极阵列，和在转印头上制作的与电极阵列相对应的感应单元，在转印定位过程中，通过电路将电极阵列和感应单元接入到控制电路中，从而可以转印头和基板之间的互感信号，据转印头和基板之间的距离以及位置关系，定位转印头的位置，能更加精确、简单地进行定位，并可以根据转印头和基板之间的互感信息，确定芯片抓取是否缺失。附图说明图1为本专利技术第一实施例的显示器件转印定位装置的结构示意图；图2为图1中第一电极阵列的结构示意图；图3为本专利技术第二实施例的显示器件转印定位装置的结构示意图；图4为本专利技术实施例的显示器件转印定位方法的流程图。具体实施方式为使本专利技术的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本专利技术的具体实施方式做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本专利技术。但是本专利技术能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本专利技术内涵的情况下做类似改进，因此本发明不受下面公开的具体实施的限制。本专利技术的显示器件转印定位装置，用于将芯片转印定位到基板上，包括转印头，位于所述基板上方，用于将芯片转印到所述基板的表面上；电容组件，所述电容组件包括第一电极阵列和与所述第一电极阵列对应的感应单元，所述第一电极阵列设置在所述基板上，所述感应单元设置在所述转印头的与所述基板相对应的转印表面上。在本专利技术的第一实施例中，如图1所示，需转印的芯片30为一个时，所述装置包括转印头20和电容组件，其中，电容组件包括第一电极阵列12和与第一电极阵列12对应的感应单元。在本实施例中，基板10为玻璃基板，转印头20要将芯片30转印到玻璃基板的目标位置13上。具体地，如图1和图2所示，基板10的表面上覆盖有膜11，膜11上刻蚀有第一电极阵列12。从图中可知，第一电极阵列12包括多个第一电极单元121，第一电极单元121在第一电极阵列12在一个方向上相互连接，即第一电极单元121构成第一电极阵列12，在一个方向上，各个第一电极单元121依次连接在一起，而在另一个方向上，各个第一电极单元121是相互独立的，因此，每个第一电极单元121和其相邻的第一电极单元121之间均能形成电容，产生互感信号。此外，第一电极单元121的形状为多边形，也可以是其他闭合的图形。在本实施例中，在膜11上刻蚀的第一电极阵列12为由至少一个电容组成的阵列，即第一电极单元121为电容，且电容的形状为菱形，电容和电容之间相当于两个电极，因此，所有的电容组成的阵列，构成第一电极阵列12。为了精确地将转印头移到正确的位置，在转印头20的转印表面上设置与第一电极阵列12对应的感应单元，感应单元可以感应转印头20与基板10之间的互感信号，从而确定转印头20的位置。其中，感应单元可以为电容传感器，该电容传感器直接安装在转印头20，用于感应第一电极阵列12的互感电容，其中，互感电容由第一电极阵列12中的电容之间产生的。感应单元也可以为第二电极阵列，该第二电极阵列和第一电极阵列12相当于电容的两个电极，从而和第一电极阵列12之间形成互感电容。需要说明的是，第二电极阵列也包括至少一个第二电极单元，第二电极单元构成第二电极阵列，第二电极阵列的结构等参考上述第一电极阵列12。在本专利技术的第二实施例中，如图3所示，需转印的芯片30为多个时，该装置包括转印头20和电容组件，其中，电容组件包括第一电极阵列12和与第一电极阵列12对应的感应单元。在本实施例中，基板10为玻璃基板，转印头2本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种显示器件转印定位装置，用于将芯片转印定位到基板上，其特征在于，所述显示器件转印定位装置包括：转印头，位于所述基板上方，用于将芯片转印到所述基板的表面上；电容组件，所述电容组件包括第一电极阵列和与所述第一电极阵列对应的感应单元，所述第一电极阵列设置在所述基板上，所述感应单元设置在所述转印头的与所述基板相对应的转印表面上。

【技术特征摘要】
1.一种显示器件转印定位装置，用于将芯片转印定位到基板上，其特征在
于，所述显示器件转印定位装置包括：
转印头，位于所述基板上方，用于将芯片转印到所述基板的表面上；
电容组件，所述电容组件包括第一电极阵列和与所述第一电极阵列对应的
感应单元，所述第一电极阵列设置在所述基板上，所述感应单元设置在所述转
印头的与所述基板相对应的转印表面上。
2.根据权利要求1所述的显示器件转印定位装置，其特征在于，所述第一
电极阵列包括至少一个第一电极单元，所述第一电极单元在所述第一电极阵列
的一个方向上相互连接，且相邻两个所述第一电极单元之间形成互感电容。
3.根据权利要求2所述的显示器件转印定位装置，其特征在于，所述第一
电极单元的形状为多边形。
4.根据权利要求1所述的显示器件转印定位装置，其特征在于，所述感应
单元为电容传感器，用于感应所述第一电极阵列的互感电容。
5.根据权利要求1所述的显示器件转印定位装置，其特征在于，所述感应
单元为第二电极阵列，用于和所述第一电极阵列之间形成互感电容。
6.根据权利要求5所述的显示器件转印定位装置，其特征...

【专利技术属性】
技术研发人员：朱涛，葛泳，刘玉成，刘雪洲，
申请(专利权)人：昆山工研院新型平板显示技术中心有限公司，昆山国显光电有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏;32