转印装置以及转印方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种能够连续且高效地进行从担载体向转印介质转印被转印物以及使转印之后的担载体和转印介质剥离的转印装置以及转印方法。通过能够彼此独立升降的多个手对支撑用于担载图案的橡皮布。要被转印图案的基板吸附保持在上载物台的下表面上。一边通过转印辊推起橡皮布来使其与基板抵接，一边使转印辊在Y方向移动。在转印辊的前方侧（移动方向上的下游侧），随着转印辊的接近，手对依次下降，从而避免与转印辊发生干涉。在转印辊的后方侧（移动方向上的上游侧），手对在再次抵接于橡皮布之后，一边吸附保持橡皮布一边下降，从而使橡皮布与基板剥离。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及将担载在担载体上的被转印物转印至转印介质的。
技术介绍
存在如下的在玻璃基板、半导体基板等基板上形成薄膜或图案(pattern)(下面，称为“图案等”)的技术，即，使用于担载图案等的担载体紧贴在转印介质上来转印图案等(例如，参照日本特开2002-036499号公报)。另外，为了完成图案等的转印，需要使上述那样紧贴的担载体和转印介质剥离来再次分离。例如在日本特开2008-287949号公报中记载了以这样的剥离为目的的技术。 如上述现有技术那样，目前彼此独立地研究了使担载体和转印介质紧贴来转印图案等的工艺技术和使转印之后的担载体和转印介质剥离的工艺技术。 在实际的图案形成工艺中，必须需要转印工序和剥离工序这两者。但是，在如上述那样在不同的处理装置中分别进行转印工艺和剥离工艺的情况下，需要在处理装置之间搬运处理对象物，而且在一个处理装置中进行处理的过程中，另一个处于等待状态，目前还没有达到高效地进行从转印到剥离的一系列工艺。另外，需要设置两个处理装置，因此存在使装置成本以及设置空间变大的问题。
技术实现思路
本专利技术是鉴于上述问题而提出的，其目的在于提供一种，能够连续且高效地进行从担载体向转印介质转印被转印物以及使转印之后的担载体和转印介质剥离的技术。 为了达到上述目的，本专利技术的转印装置，具有: 担载体保持单元，其具有多个保持部，多个所述保持部分别抵接于平板状的担载体的与担载面相反的另一面上，来保持所述担载体，在所述担载体的所述担载面上担载被转印物， 保持部驱动机构，其使多个所述保持部分别独立地向与所述另一面接近的方向以及从所述另一面离开的方向移动， 转印介质保持单元，其保持具有要被转印所述被转印物的转印面的转印介质，并且使所述转印面与所述担载面接近并相向， 辊构件，其呈棍状并将与所述担载面平行的第一方向作为轴向，通过与所述另一面相抵接来使所述担载体局部地向所述转印介质侧发生变位，从而一边使所述被转印物抵接于所述转印面，一边在与所述担载面平行且与所述第一方向相垂直的第二方向移动； 多个所述保持部沿着所述第二方向排列，在多个所述保持部上分别设置有用于吸附所述另一面的吸附部， 随着所述辊构件的移动，各所述保持部依次从所述担载体离开并移动至不与所述辊构件发生干涉的退避位置，在所述辊构件通过所述保持部之后，所述保持部再次抵接于所述担载体的所述另一面，一边通过所述吸附部吸附所述担载体，一边向从所述担载体离开的方向移动。 另外，为了达到上述目的，本专利技术的转印方法，包括: 第一工序，使多个保持部分别抵接于平板状的担载体的与担载面相反的另一面上，来保持所述担载体，在所述担载体的所述担载面上担载有被转印物； 第二工序，保持具有要被转印所述被转印物的转印面的转印介质，并且使所述转印面与所述担载面接近并相向； 第三工序，使辊构件与所述另一面相抵接，来使所述担载体局部地向所述转印介质侧发生变位，从而使所述被转印物抵接于所述转印面，所述辊构件形成为辊状并将与所述担载面平行的第一方向作为轴向； 第四工序，使所述辊构件一边与所述另一面相抵接一边在与所述担载面平行且与所述第一方向相垂直的第二方向上移动，并且，随着所述辊构件的移动，使多个所述保持部依次从所述担载体离开而移动至不与所述辊构件干涉的退避位置，在所述辊构件通过所述保持体之后，使该保持部再次抵接于所述担载体的所述另一面； 第五工序，一边通过抵接于所述另一面的所述保持部保持所述担载体，一边使所述保持部向从所述担载体离开的方向移动。 在上述专利技术中，用于担载被转印物的担载体和要被转印被转印物的转印介质接近并相向，通过辊构件使担载体局部地向转印介质侧发生变位来使被转印物抵接于转印介质，并且在该状态下使辊构件沿着担载体移动。由此，能够使担载在担载体上的所有被转印物紧贴在转印介质上。 担载体被多个保持部保持，并且随着辊构件的移动而使保持部按顺序移动至退避位置，从而避免与担载体的另一面相抵接的保持部、和一边与担载体的另一面抵接一边向第二方向移动的辊构件发生干涉。 另一方面，在辊构件的移动方向上且在辊构件的上游侧、即因辊构件通过而使担载体和转印介质隔着被转印物紧贴的一侧，再次抵接的保持部一边保持担载体一边向离开方向移动。因此，担载体向从转印介质离开的方向移动，从而使两者剥离。一边使辊构件与担载体抵接一边使担载体与转印介质分离，从而能够控制剥离的进行。 这样，本专利技术的保持部，具有在使被转印物抵接于转印介质之前维持担载体的姿势的功能，并且具有在抵接之后使担载体从转印介质离开的功能。另一方面，辊构件兼备使被转印物抵接于转印介质的功能和控制剥离的进行的功能。根据具有这样的结构的本专利技术，能够利用一体的装置连续且高效地进行从担载体向转印介质转印被转印物的动作以及使转印之后的担载体和转印介质剥离的动作。 在上述专利技术中，例如也可以具有如下结构，即，在第二方向上且在辊构件的下游侧与另一面抵接的保持部中的最上游侧的保持部，从担载体离开并移动至退避位置，在辊构件通过该保持部之后，使该保持部再次抵接于另一面，另一方面，在第二方向上且在辊构件的上游侧抵接于另一面的保持部，从上游侧依次一边维持对另一面的吸附，一边向从担载体离开的方向移动。 为了使辊构件通过，使辊构件的移动方向(第二方向)上的下游侧的保持部移动至退避位置，但是此时仅使位于辊构件的下游侧的保持部中的最上游侧的保持部离开。由此，能够在辊构件抵接之前维持担载体的姿势，因此能够防止在被转印物抵接于转印介质之前担载体和转印介质之间产生位置偏移的情况。 另外，例如也可以具有如下结构，S卩，辊构件在抵接开始位置抵接于担载体并移动至抵接结束为止，该抵接开始位置是指，在第二方向上比另一面的上游侧端部靠下游的位置，该抵接结束为止是指，在第二方向上比另一面的下游侧端部靠上游且比抵接开始位置靠下游的位置；在抵接开始位置和抵接结束位置之间设置有多个保持部，而且，在第二方向上并在抵接开始位置的上游侧以及抵接结束位置的下游侧分别设置有至少一个保持部。 为了一边维持在隔着被转印物与转印介质抵接之前的担载体的姿势、一边使抵接之后的担载体从转印介质离开，在辊构件的移动范围、即在抵接开始位置和抵接结束位置之间需要多个保持部。另一方面，为了在辊构件的移动范围外也保持担载体的姿势并可靠地从转印介质进行剥离，优选在辊构件的移动范围的上游侧以及下游侧分别配置至少一个保持部。 另外，例如也可以具有如下结构，S卩，各保持部在从担载体离开之前解除吸附，在再次抵接之后再次进行吸附。在解除吸附之后使保持部离开，从而避免随着保持部移动而随带担载体的情况。在该情况下，例如也可以在再次抵接之后以比解除之前更强的吸附力吸附担载体。对于在要隔着被转印物与转印介质抵接之前的担载体，只要能够维持担载体的姿势即可。另一方面，为了使转印介质从担载体离开，需要强的吸附保持力，因此优选使再次抵接之后的吸附力比解除吸附之前的吸附力更大。 为了能够实现上述吸附力，例如也可以具有如下结构，即，保持部具有沿着第一方向延伸且与另一面相抵接的抵接面，并且在该抵接面上设置有用于配设作为吸附部的吸附垫的凹部，吸附垫能够后退位置和吸附位置之间进退，所本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种转印装置，其特征在于，具有：担载体保持单元，其具有多个保持部，多个所述保持部分别抵接于平板状的担载体的与担载面相反的另一面上，来保持所述担载体，在所述担载体的所述担载面上担载有被转印物，保持部驱动机构，其使多个所述保持部分别独立地向与所述另一面接近的方向以及从所述另一面离开的方向移动，转印介质保持单元，其保持具有要被转印所述被转印物的转印面的转印介质，并且使所述转印面与所述担载面接近并相向，辊构件，其呈辊状并将与所述担载面平行的第一方向作为轴向，通过与所述另一面相抵接来使所述担载体局部地向所述转印介质侧发生变位，从而一边使所述被转印物抵接于所述转印面，一边在与所述担载面平行且与所述第一方向相垂直的第二方向移动；多个所述保持部沿着所述第二方向排列，在多个所述保持部上分别设置有用于吸附所述另一面的吸附部，随着所述辊构件的移动，各所述保持部依次从所述担载体离开并移动至不与所述辊构件发生干涉的退避位置，在所述辊构件通过所述保持部之后，所述保持部再次抵接于所述担载体的所述另一面，一边通过所述吸附部吸附所述担载体，一边向从所述担载体离开的方向移动。

【技术特征摘要】
2013.03.28 JP 2013-0678991.一种转印装置，其特征在于， 具有: 担载体保持单元，其具有多个保持部，多个所述保持部分别抵接于平板状的担载体的与担载面相反的另一面上，来保持所述担载体，在所述担载体的所述担载面上担载有被转印物， 保持部驱动机构，其使多个所述保持部分别独立地向与所述另一面接近的方向以及从所述另一面离开的方向移动， 转印介质保持单元，其保持具有要被转印所述被转印物的转印面的转印介质，并且使所述转印面与所述担载面接近并相向， 辊构件，其呈辊状并将与所述担载面平行的第一方向作为轴向，通过与所述另一面相抵接来使所述担载体局部地向所述转印介质侧发生变位，从而一边使所述被转印物抵接于所述转印面，一边在与所述担载面平行且与所述第一方向相垂直的第二方向移动； 多个所述保持部沿着所述第二方向排列，在多个所述保持部上分别设置有用于吸附所述另一面的吸附部， 随着所述辊构件的移动，各所述保持部依次从所述担载体离开并移动至不与所述棍构件发生干涉的退避位置，在所述辊构件通过所述保持部之后，所述保持部再次抵接于所述担载体的所述另一面， 一边通过所述吸附部吸附所述担载体，一边向从所述担载体离开的方向移动。2.根据权利要求1所述的转印装置，其特征在于， 所述保持部驱动机构使在所述第二方向上且在所述辊构件的下游侧与所述另一面抵接的所述保持部中的最上游侧的所述保持部，从所述担载体离开并移动至所述退避位置，在所述辊构件通过所述保持部之后，使该保持部再次抵接于所述另一面，另一方面，所述保持部驱动机构使在所述第二方向上且在所述辊构件的上游侧与所述另一面抵接的所述保持部，从上游侧依次一边维持所述吸附部对所述另一面的吸附，一边向从所述担载体离开的方向移动。3.根据权利要求1或2所述的转印装置，其特征在于， 所述辊构件在抵接开始位置抵接于所述担载体，并移动至抵接结束位置，其中，该抵接开始位置是指，在所述第二方向上比所述另一面的上游侧端部靠下游的位置，该抵接结束位置是指，在所述第二方向上比所述另一面的下游侧端部靠上游且比所述抵接开始位置靠下游的位置， 在所述抵接开始位置和所述抵接结束位置之间设置有多个所述保持部，而且，在所述第二方向上并在所述抵接开始位置的上游侧以及所述抵接结束位置的下游侧分别设置有至少一个所述保持部。4.根据权利要求1或2所述的转印装置，其特征在于， 在各所述保持部中，在通过所述保持部驱动机构使所述保持部移动而从所述担载体离开之前，所述吸附部解除吸附，在所述保持部再次抵接所述担载体之后，所述吸附部再次进行吸附。5.根据权利要求4所述的转印装置，其特征在于， 所述吸附部在再次抵接之后，以比解除之前更强的吸附力吸附所述另一面。6.根据权利要求5所述的转印...

【专利技术属性】
技术研发人员：芝藤弥生，川越理史，增市干雄，上野博之，正司和大，上野美佳，
申请(专利权)人：大日本网屏制造株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP