剥离装置以及剥离方法制造方法及图纸

本发明专利技术涉及剥离装置以及剥离方法。沿着剥离进行方向即+Y方向配置多个吸附单元（51～54）。由最上游侧的第一吸附单元（51）吸附保持基板（SB）的端部来提起，并且通过使剥离辊（340）一边与基板（SB）抵接一边向剥离进行方向移动，来控制剥离的进行。在剥离辊（340）通过第二吸附单元（52）至第四吸附单元（54）的正下方位置时，使各吸附单元（52～54）下降来捕捉并提起剥离之后的基板，从而使发挥剥离主体的功能的吸附单元依次向下游侧转移。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及使相互紧贴的两张板状体剥离来分离的。
技术介绍
作为在玻璃基板或半导体基板等板状体上形成规定的图案或薄膜的技术，存在如下，即，将担载于其它板状体上的图案或薄膜(下面，称为“图案”等)转印至基板。在该技术中，在使两张板状体紧贴来将图案等从一方转印至另一方之后，需要在不损坏图案的情况下使两张板状体剥离。 作为能够利用于该目的的技术，例如在日本特开2003-072123号公报中公开了如下的技术，即，将液晶显示装置的彩色滤光片或电路布线等图案形成在记录介质上。在该技术中，使具有图像形成层的显像板与记录介质重合来进行描画之后，使显像板的支撑层与记录介质剥离，从而在记录介质上形成规定图案。在该技术中，一边使兼有挤压辊的功能的剥离辊与显像板抵接，一边通过吸盘吸附保持显像板的一端部来提起，通过使向由此产生的显像板和记录介质之间的间隙插入的剥离爪相对于记录介质移动，使显像板和记录介质剥离。 在上述现有技术中，一边维持剥离辊和剥离爪之间的位置关系，一边使它们相对于记录介质移动，从而得到规定的剥离力(使两个构件分离的力)，但是由于使剥离爪与要剥离的两个构件中的一个构件相抵接，因此致使该构件损坏。另一方面，若为了防止构件的损坏而不使剥离爪接触，则可能不能良好地进行剥离。这是因为，随着进行剥离，构件的弯曲程度增加，从而使与两个构件的分离动作有关的剥离的进行逐渐地变慢。这样的剥离的进行速度的变动成为因应力集中而使图案等损坏的原因。 另外，存在如下等问题，即，用于使两个构件分离的移动量变大，由此使操作空间变大，或者因弯曲而使构件弯曲或裂开，因保持力不足而使构件落下。尤其随着要剥离的构件变大而这些问题变得更显著。
技术实现思路
本专利技术是鉴于上述问题而提出的，其目的在于，在使相互紧贴的两张板状体剥离来分离的中，能够良好地进行剥离，尤其能够应对板状体变大的情况的技术。 在本专利技术的一个方式的用于使隔着薄膜或者图案相互紧贴的第一板状体和第二板状体剥离的剥离装置中，为了达到上述目的，其特征在于，具有:保持单元，具有平面尺寸大于第一板状体的形成有薄膜或者图案的有效区域的平面尺寸的保持面，使第一板状体的面中的与第二板状体紧贴的面相反的一侧的面与该保持面相抵接，来保持第一板状体，第一剥离单元，一边保持第二板状体的一端部，一边向与保持单元分离的方向移动，从而使第二板状体的一端部与第一板状体剥离，抵接单元，在将沿着第二板状体从第二板状体的上述一端部朝向该一端部的相反的一侧的另一端部的方向定义为剥离进行方向时，该抵接单元形成为将与剥离进行方向相垂直的方向作为长度方向以及轴向的辊状，一边与第二板状体抵接，一边向剥离进行方向移动，第二剥离单元，具有与第二板状体的与第一板状体紧贴的面相反的一侧的一侧面局部抵接来保持第二板状体的功能，以能够接近保持单元以及与保持单元分离的方式移动；在与一端部向剥离进行方向下游侧相邻的抵接开始位置，抵接单元开始与第二板状体抵接并向剥离进行方向移动；在抵接单元通过之后，第二剥离单元与第二板状体的一侧面相抵接，来一边保持第二板状体，一边向与保持单元分离的方向移动。 在这样构成的专利技术中，一边使抵接单元与第二板状体相抵接，一边使第一剥离单元向与保持单元分离的方向移动，从而使第二板状体与第一板状体剥离。此时，随着抵接单元远离第二板状体的一端部，第一剥离单元的移动难以反映在剥离的进行中，但是在本专利技术中，能够通过设置在剥离进行方向上的更下游侧的第二剥离单元继续进行剥离。另外，仅通过第一剥离单元保持一端部是不能抑制第二板状体弯曲的，但是在一端部和另一端部之间由第二剥离单元来保持第二板状体，从而能够控制第二板状体的姿势。这样，根据本专利技术，能够良好地使相互紧贴的第一板状体和第二板状体进行剥离，能够灵活地应对它们的大型化，从而能够发挥良好的剥离性能。 此外，在使用于保持的构件与隔着薄膜或者图案(下面，称为“图案等”)紧贴的第一板状体以及第二板状体的面中的有效地形成有图案等的有效区域或者相当于其背面的区域相抵接的情况下，可能在该部位的图案等上集中应力而损坏图案等。在本专利技术中，对抵接单元通过之后的即与第一板状体剥离之后的第二板状体的一侧面(形成有图案等的面的相反的一侧的面)进行保持，因此不会产生这样的图案等损坏的问题。 在本专利技术中，多个第二剥离单元例如也可以沿着剥离进行方向排列，该多个第二剥离单元相互独立地以接近保持单元以及与保持单元分离的方式移动。在这样的结构中，能够随着抵接单元沿着剥离进行方向移动，来依次切换用于发挥使第二板状体与第一板状体分离的作用的第二剥离单元，从而能够一边向第一板状体和第二板状体之间施加稳定的剥离力，一边进行剥离。尤其，在第一板状体以及第二板状体变大的情况下，能够根据其尺寸来设置多个第二剥离单元。 另外，第一剥离单元例如也可以在第二板状体中的形成有薄膜或者图案的有效区域的外侧保持第二板状体。在这样的结构中，由于在有效区域外保持第二板状体，因此能够防止因由第一剥离单元保持而损坏图案等的情况。 另外，第一剥离单元以及第二剥离单元例如也可以与第二板状体的一侧面相抵接来吸附保持第二板状体。在这样的结构中，能够在不接触图案等的情况下保持第二板状体，从而能够防止图案等损坏。另外，不存在例如由机械爪把持第二板状体或者将机械手插入于第二板状体和第一板状体之间的结构，因此还能够防止第一板状体以及第二板状体损坏。 在该情况下，第二剥离单元中的与第二板状体相抵接的抵接部位，例如也可以由能够在接近第二板状体或与第二板状体分离的方向上伸缩的弹性构件形成。在本专利技术中，在第二板状体与第一板状体剥离之后，需要使第二剥离单元保持第二板状体。此时，第二板状体的背面不被支撑，因此第二板状体与第二剥离单元之间的距离有偏差，另外，第二板状体可能由于与第二剥离单元相抵接而被推向相反的一侧。通过使能够进行伸缩的弹性构件构成第二剥离单元的抵接部位，即使在上述那样的情况下，也能够可靠地保持第二板状体。 另外，第一剥离单元以及第二剥离单元例如也可以分别具有多个吸附垫，上述多个吸附垫排列在与剥离进行方向相垂直的方向上，且与第二板状体相抵接。在这样的结构中，在与剥离进行方向相垂直的方向上的多个部位吸附保持第二板状体。由此，能够用更强的力保持第二板状体，并且能够有效地防止第二板状体在与剥离进行方向相垂直的方向上弯曲。 另外，在保持单元的保持面上例如也可以设置有吸附孔或者吸附槽，上述吸附孔或者吸附槽被施加负压来吸附第一板状体。在这样的结构中，能够一边将第一板状体的有效区域维持为平面状态一边可靠地保持第一板状体。 另外，本专利技术的其它方式的用于使隔着薄膜或者图案相互紧贴的第一板状体和第二板状体剥离的剥离方法，为了达到上述目的，其特征在于，包括以下工序:使第一板状体的表面中的与第二板状体紧贴的面相反的一侧的面保持面相抵接，来保持上述第一板状体，上述保持面的与平面尺寸大于第一板状体的形成有上述薄膜或者图案的有效区域的平面尺寸；在从第二板状体的一端部朝向该一端部的相反的一侧的另一端部的剥离进行方向上的与一端部的下游侧相邻的抵接开始位置，使沿着与剥离进行方向相垂直的方向延伸设置的辊状的抵接单元与第二板状体的与第一板状体本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种剥离装置，用于使隔着薄膜或者图案相互紧贴的第一板状体和第二板状体剥离，其特征在于，具有：保持单元，其具有平面尺寸大于所述第一板状体的形成有所述薄膜或者图案的有效区域的平面尺寸的保持面，使所述第一板状体的面中的与所述第二板状体紧贴的面相反的一侧的面与所述保持面相抵接，来保持所述第一板状体，第一剥离单元，其一边保持所述第二板状体的一端部，一边向与所述保持单元分离的方向移动，从而使所述第二板状体的所述一端部与所述第一板状体剥离，抵接单元，在将沿着所述第二板状体从所述第二板状体的所述一端部朝向该一端部的相反的一侧的另一端部的方向定义为剥离进行方向时，该抵接单元形成为将与所述剥离进行方向相垂直的方向作为长度方向以及轴向的辊状，一边与所述第二板状体抵接，一边向所述剥离进行方向移动，第二剥离单元，具有与所述第二板状体的与所述第一板状体紧贴的面相反的一侧的一侧面局部抵接来保持所述第二板状体的功能，以能够接近所述保持单元以及与所述保持单元分离的方式移动；在与所述一端部向所述剥离进行方向下游侧相邻的抵接开始位置，所述抵接单元开始与所述第二板状体抵接并向所述剥离进行方向移动，在所述抵接单元通过之后，所述第二剥离单元与所述第二板状体的所述一侧面相抵接，来一边保持所述第二板状体，一边向与所述保持单元分离的方向移动。...

【技术特征摘要】
2013.03.26 JP 2013-0638621.一种剥离装置，用于使隔着薄膜或者图案相互紧贴的第一板状体和第二板状体剥离，其特征在于， 具有: 保持单元，其具有平面尺寸大于所述第一板状体的形成有所述薄膜或者图案的有效区域的平面尺寸的保持面，使所述第一板状体的面中的与所述第二板状体紧贴的面相反的一侧的面与所述保持面相抵接，来保持所述第一板状体， 第一剥离单元，其一边保持所述第二板状体的一端部，一边向与所述保持单元分离的方向移动，从而使所述第二板状体的所述一端部与所述第一板状体剥离， 抵接单元，在将沿着所述第二板状体从所述第二板状体的所述一端部朝向该一端部的相反的一侧的另一端部的方向定义为剥离进行方向时，该抵接单元形成为将与所述剥离进行方向相垂直的方向作为长度方向以及轴向的辊状，一边与所述第二板状体抵接，一边向所述剥离进行方向移动， 第二剥离单元，具有与所述第二板状体的与所述第一板状体紧贴的面相反的一侧的一侧面局部抵接来保持所述第二板状体的功能，以能够接近所述保持单元以及与所述保持单元分离的方式移动； 在与所述一端部向所述剥离进行方向下游侧相邻的抵接开始位置，所述抵接单元开始与所述第二板状体抵接并向所述剥离进行方向移动， 在所述抵接单 元通过之后，所述第二剥离单元与所述第二板状体的所述一侧面相抵接,来一边保持所述第二板状体，一边向与所述保持单元分离的方向移动。2.根据权利要求1所述的剥离装置，其特征在于，多个所述第二剥离单元沿着所述剥离进行方向排列，多个所述第二剥离单元相互独立地以接近所述保持单元以及与所述保持单元分离的方式移动。3.根据权利要求1或2所述的剥离装置，其特征在于，所述第一剥离单元在所述第二板状体中的形成有所述薄膜或者图案的有效区域的外侧保持所述第二板状体。4.根据权利要求1或2所述的剥离装置，其特征在于，所述第一剥离单元以及所述第二剥离单元与所述第二板状体的所述一侧面相抵接来吸附保持所述第二板状体。5.根据权利要求4所述的剥离装置，其特征在于，所述第二剥离单元中的与所述第二板状体相抵接的抵接部位由能够在接近所述第二板状体或与所述第二板状体分离的方向上伸缩的弹性构件形成。6.根据权利要求4所述的剥离装置，其特征在于，所述第一剥离单元以及所述第二剥离单元分别具有多个吸附垫，所述多个吸附垫排列在与所述剥离进行方向相垂直的方向上，且与所述第二板状体相抵接。7.根据权利要...

【专利技术属性】
技术研发人员：上野美佳，川越理史，增市干雄，上野博之，
申请(专利权)人：大日本网屏制造株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP