图案形成装置及图案形成方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供图案形成装置及图案形成方法。通过框缘状下载物台（61）吸附保持橡皮布，并且通过能够分别单独地升降的多个手部（625）支撑橡皮布的中央部的局部。使转印辊单元（64）沿着橡皮布的下表面移动来托起橡皮布的局部，从而使橡皮布抵接于橡皮布的上方所配置的版或者基板上。随着转印辊单元（64）移动，使手部（625）依次下降来向下方退避，从而避免该手部（625）与转印辊单元（64）发生干涉。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及通过版对担载于橡皮布上的图案形成材料进行图案成形，或者将所形成的图案转印至基板来形成图案的图案形成装置以及图案形成方法。
技术介绍
存在如下在玻璃基板、半导体基板等基板上形成图案的技术，S卩，使担载有图案的橡皮布紧贴于基板上来将图案转印至基板。另外，存在如下使图案担载于橡皮布上的技术，SP，使版(负片版(negative plate))压力接触由图案形成材料形成在橡皮布表面上的均勻的膜上，使该膜中的不需要的部分附着于版上来除去，从而仅将成为图案的部分留在橡皮布上来进行图案形成(图案成形)。作为这样的一个技术，例如将日本特开平07-125179号公报所记载的印刷技术应用于图案转印中。例如在日本特开2002-036499号公报所记载的技术中，将向一个方向赋予张力来架设在机架上的版以相对于基板倾斜的状态配置在基板的上方，通过冲压辊将版从一端部依次按压于基板上，然后剥离版，从而将版上的图案转印至基板。在上述现有技术中，版和基板的对位精度有改进的余地。即，在上述技术中，为了使辊抵接，需要以使版的上表面开放的状态保持版，为了防止版因自重而弯曲从而与基板发生接触的情况，必须使版和基板之间的初始空隙大到某种程度。因此，在从该状态下使两者接近来按压的过程中容易产生位置偏移。另外，在基板和版接近的一端侧能够进行对位，但是在另一端侧不能进行对位，另外，从一端依次按压的过程中，可能使位置偏移逐渐变大。
技术实现思路
本专利技术是鉴于上述问题而提出的，其目的在于提供如下技术，即，在使版或者基板与橡皮布抵接来进行图案形成的图案形成装置以及图案形成方法中，能够使版或者基板与橡皮布以高的位置精度抵接。本专利技术的图案形成装置，为了达到上述目的，具有:第一保持单元，具有多个分别与橡皮布的下表面的局部抵接的局部支撑部，多个所述局部支撑部以一面上担载有图案形成材料的所述橡皮布的所述图案形成材料的担载面朝上的方式在下表面侧与所述橡皮布相抵接，从而将所述橡皮布支撑为水平姿势；第二保持单元，将用于对所述图案形成材料进行图案成形的版或者要被转印图案的基板作为处理对象物，以使该处理对象物与被所述第一保持单元保持的所述橡皮布的上表面接近且相向的方式，保持该处理对象物；托起构件，从所述橡皮布的下表面侧局部地托起所述橡皮布中央部的有效区域，来使所述有效区域与被所述第二保持单元保持的所述处理对象物相抵接，而且沿着所述橡皮布的下表面移动来使所述橡皮布的托起位置发生变化；升降单元，能够使多个所述局部支撑部分别单独地升降。在这样构成的专利技术中，从以相向的方式配置在处理对象物(版或者基板)的下方的橡皮布的下表面侧局部托起橡皮布，从而使橡皮布抵接于处理对象物。在这样的结构中，在保持上侧所配置的处理对象物时，不受到特别的限制，因此能够在抑制弯曲的状态下保持。另一方面，配置于下侧的橡皮布在中央部开放的状态下，可能因自重而向下方弯曲。因此，在本专利技术中，使局部支撑部从橡皮布的下表面抵接于橡皮布的中央部的局部。由此，能够防止橡皮布弯曲并维持水平姿势。因此，与现有技术相比，能够使处理对象物和橡皮布更加接近，将两者之间的间隙设定为极其小的值。另外，能够使处理对象物和橡皮布以彼此平行的方式配置。因此，能够在这样使两者接近的状态下进行对位，并且在接近的状态下托起橡皮布来使其抵接于处理对象物的相对移动量小，因此还能够将它们之间的位置偏移抑制得小。多个局部支撑部能够分别单独地升降，因此能够彼此独立地与橡皮布分离或抵接。因此，能够使随着托起构件移动而可能成为该托起构件移动的障碍的局部支撑部与橡皮布分离并退避，不会使局部支撑部干涉托起构件的移动。从这一点来说，根据本专利技术，能够使作为处理对象物的版或者基板与橡皮布以高的位置精度相抵接。此外，这里所说的处理对象物和橡皮布之间的抵接是指如下概念，即，包含隔着担载于橡皮布的担载面的图案材料使两者相抵接的情况。例如能够在局部支撑部分别与橡皮布的下表面抵接的状态下，随着托起构件移动而使局部支撑部分别依次下降。更具体地说，例如多个局部支撑部能够沿着托起构件的移动方向排列，升降单元以沿着托起构件的移动方向的顺序使局部支撑部下降。这样能够在托起构件未到达的位置上通过局部支撑部支撑橡皮布，另一方面，随着托起构件接近，使局部支撑部下降，从而能够避免托起构件和局部支撑部发生干涉。另外，例如也可以使托起构件将橡皮布的下表面的在一个轴方向上比有效区域的长度长的区域一同托起；使局部支撑部分别在将轴方向作为长度方向延伸设置的抵接面与橡皮布相抵接。通过将比有效区域的长度长的区域一同托起，能够在轴方向上以均匀的按压力将橡皮布按压于处理对象物上。此时，在将与托起构件的轴方向一致的方向作为长度方向的抵接面，局部支撑部与橡皮布相抵接，有效地防止在沿着轴方向的方向上橡皮布弯曲的情况，从而能够抑制橡皮布弯曲。在该情况下，例如还可以具有:支撑构件，具有支撑部和脚部，所述支撑部在轴方向上沿着托起构件延伸设置，该支撑部用两端部支撑托起构件且托起构件能够自由旋转，脚部从支撑部的轴方向上的中央部向下方延伸，移动机构，使支撑构件沿着与轴方向相垂直的方向移动；一对局部支撑部以沿着轴方向排列且彼此分离的方式配置，并且成对的所述局部支撑部沿着与轴方向相垂直的方向排列配置有多对；支撑构件的脚部在成对的局部支撑部之间的空隙经过。在这样的结构中，能够一边通过支撑构件支撑托起构件并托起构件能够自由旋转，一边使上述脚部在不与下降的局部支撑部发生干涉的情况下移动。另外，例如也可以使第一保持单元具有保持框，该保持框以使橡皮布的有效区域的下方开放的状态，保持橡皮布的有效区域的外侧的周缘部；在橡皮布的被保持框保持的周缘部的内侧，多个所述局部支撑部抵接于橡皮布的下表面。通过保持橡皮布周缘部，能够使橡皮布更接近水平姿势。另外，通过保持框保持周缘部，从而即使在局部支撑部分离时也能够抑制橡皮布在水平方向上的变位。另外，本专利技术的图案形成方法，为了达到上述目的，包括:第一工序，以使一面上担载有图案形成材料的橡皮布的所述图案形成材料的担载面朝上的方式，使能够彼此独立地升降的多个局部支撑部分别与所述橡皮布的下表面的局部相抵接，从而将所述橡皮布支撑为水平姿势，第二工序，将用于对所述图案形成材料进行图案成形的版或者要被转印图案的基板作为处理对象物，以使该处理对象物的下表面和所述橡皮布的所述担载面隔开规定的间隙接近的方式，相向配置所述处理对象物和所述橡皮布，第三工序，使托起构件与所述橡皮布的下表面抵接，通过该托起构件托起所述橡皮布的局部，从而使该橡皮布与所述处理对象物相抵接，使所述托起构件沿着所述橡皮布的下表面移动；在所述第三工序中，随着所述托起构件移动，使所述局部支撑部依次下降来与所述橡皮布分离。在这样构成的专利技术中，与上述图案形成装置同样地，在使橡皮布和处理对象物平行且隔开微小间隙相向的状态下，使橡皮布和处理对象物进行少量相对移动就能够使它们相抵接，因此能够使橡皮布和处理对象物以高的位置精度相抵接。在本专利技术中，例如也可以在第一工序中，多个局部支撑部沿着托起构件的移动方向排列，在第三工序中，以沿着托起构件的移动方向的顺序使局部支撑部下降。另外，例如也可以在第一工序中，以沿着与托起构件的移动方向相垂直的方向排列的方式配置一本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种图案形成装置，其特征在于，具有：第一保持单元，具有多个分别与橡皮布的下表面的局部抵接的局部支撑部，多个所述局部支撑部以一面上担载有图案形成材料的所述橡皮布的所述图案形成材料的担载面朝上的方式在下表面侧与所述橡皮布相抵接，从而将所述橡皮布支撑为水平姿势；第二保持单元，将用于对所述图案形成材料进行图案成形的版或者要被转印图案的基板作为处理对象物，以使该处理对象物与被所述第一保持单元保持的所述橡皮布的上表面接近且相向的方式，保持该处理对象物；托起构件，从所述橡皮布的下表面侧局部地托起所述橡皮布中央部的有效区域，来使所述有效区域与被所述第二保持单元保持的所述处理对象物相抵接，而且沿着所述橡皮布的下表面移动来使所述橡皮布的托起位置发生变化；升降单元，能够使多个所述局部支撑部分别单独地升降。

【技术特征摘要】
2013.02.22 JP 2013-033624;2013.12.24 JP 2013-265201.一种图案形成装置，其特征在于， 具有: 第一保持单元，具有多个分别与橡皮布的下表面的局部抵接的局部支撑部，多个所述局部支撑部以一面上担载有图案形成材料的所述橡皮布的所述图案形成材料的担载面朝上的方式在下表面侧与所述橡皮布相抵接，从而将所述橡皮布支撑为水平姿势； 第二保持单元，将用于对所述图案形成材料进行图案成形的版或者要被转印图案的基板作为处理对象物，以使该处理对象物与被所述第一保持单元保持的所述橡皮布的上表面接近且相向的方式，保持该处理对象物； 托起构件，从所述橡皮布的下表面侧局部地托起所述橡皮布中央部的有效区域，来使所述有效区域与被所述第二保持单元保持的所述处理对象物相抵接，而且沿着所述橡皮布的下表面移动来使所述橡皮布的托起位置发生变化； 升降单元，能够使多个所述局部支撑部分别单独地升降。2.根据权利要求1所述的图案形成装置，其特征在于， 在多个所述局部支撑部分别与所述橡皮布的下表面抵接的状态下，随着所述托起构件的移动，所述升降单元使多个所述局部支撑部依次下降。3.根据权利要求2所述的图案形成装置，其特征在于， 多个所述局部支撑部沿着所述托起构件的移动方向排列，所述升降单元以沿着所述托起构件的移动方向的顺序使所述局部支撑部下降。4.根据权利要求1至3中任一项所述的图案形成装置，其特征在于， 所述托起构件将所述橡皮布的下表面的在一个轴方向上比所述有效区域的长度长的区域一同托起， 所述局部支撑部分别在将所述轴方向作为长度方向延伸设置的抵接面与所述橡皮布相抵接。5.根据权利要求4所述的图案形成装置，其特征在于， 还具有: 支撑构件，具有支撑部和脚部，所述支撑部在所述轴方向上沿着所述托起构件延伸设置，该支撑部用两端部支撑所述托起构件且所述托起构件能够自由旋转，所述脚部从所述支撑部的所述轴方向上的中央部向下方延伸， 移动机构，使所述支撑构件沿着与所述轴方向相垂直的方向移动； 一对所述局部支撑部以沿着所述轴方向排列且彼此分离的方式配置，并且成对的所述局部支撑部沿着与所述轴方向相垂直的方向排列配置有多对， 所述支撑构件的所述脚部在成对的所述局部...

【专利技术属性】
技术研发人员：正司和大，川越理史，上野博之，芝藤弥生，增市干雄，上野美佳，
申请(专利权)人：大日本网屏制造株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP