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图案形成装置及图案形成方法制造方法及图纸
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文档序号:10370763
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本发明提供图案形成装置及图案形成方法。通过框缘状下载物台(61)吸附保持橡皮布,并且通过能够分别单独地升降的多个手部(625)支撑橡皮布的中央部的局部。使转印辊单元(64)沿着橡皮布的下表面移动来托起橡皮布的局部,从而使橡皮布抵接于橡皮布的...
该专利属于大日本网屏制造株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过大日本网屏制造株式会社授权不得商用。
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