一种半导体Fab生产线工艺监控系统技术方案

本实用新型专利技术属于Fab设备实时监控技术领域，特别涉及一种半导体Fab生产线工艺监控系统。该半导体Fab生产线工艺监控系统包括：数据库服务器、以太网交换机、N个Fab监控子系统；所述以太网交换机分别电连接N个Fab监控子系统，以太网交换机的输出端电连接数据库服务器；每个Fab设备监控子系统包括视频采集服务器、POE交换机、多个网络摄像机；每个网络摄像机用于采集晶圆/芯片图像，所述POE交换机用于向每个网络摄像机进行供电，所述POE交换机的信号输入端电连接每个网络摄像机的信号输出端，所述POE交换机与视频采集服务器形成双向通讯连接，所述视频采集服务器的信号输出端电连接所述以太网交换机。

【技术实现步骤摘要】
一种半导体Fab生产线工艺监控系统
本技术属于Fab设备实时监控
，特别涉及一种半导体Fab生产线工艺监控系统。
技术介绍
目如，在进彳丁芯片制造时，为了提尚最终生广的芯片的良品率，就需要提尚每个芯片制造工艺的良品率。如果在芯片制造的过程中，任何一个芯片制备工艺产生问题，就会导致最终生广的芯片的良品率大大降低，从而使芯片制备成本提尚。
技术实现思路
本技术的目的在于针对上述缺陷，提出一种半导体Fab生产线工艺监控系统。 为实现上述技术目的，本技术采用如下技术方案予以实现。 一种半导体Fab生产线工艺监控系统包括:数据库服务器、以太网交换机、以及第 I个Fab设备监控子系统至第N个Fab监控子系统，N为大于I的自然数；所述以太网交换机的输入端分别电连接第I个Fab设备监控子系统至第N个Fab监控子系统，所述以太网交换机的输出端电连接数据库服务器； 所述每个Fab设备监控子系统包括视频采集服务器、POE交换机、以及多个网络摄像机；每个网络摄像机设置在Fab设备上，每个网络摄像机用于采集晶圆/芯片图像，所述POE交换机用于向每个网络摄像机进行供电，所述POE交换机的信号输入端电连接每个网络摄像机的信号输出端，所述POE交换机与视频采集服务器形成双向通讯连接，所述视频采集服务器的信号输出端电连接所述以太网交换机。 本技术的特点和进一步改进在于: 所述每个Fab设备监控子系统还包括VGA分屏器、用于将VGA信号转换为数字视频信号的VGA/数字视频信号转换器、以及用于将数字视频信号转换为网线传输信号的数字视频信号/RJ45信号转换器；所述VGA分屏器具有一个信号输入端和两个信号输出端，所述VGA分屏器的信号输入端电连接Fab设备的VGA输出端口，所述VGA分屏器的任一个信号输出端电连接VGA/数字视频信号转换器的信号输入端，所述VGA/数字视频信号转换器的信号输出端电连接所述数字视频信号/RJ45信号转换器的信号输入端，所述数字视频信号/RJ45信号转换器的信号输出端电连接所述POE交换机的信号输入端。 所述每个Fab设备监控子系统还包括用于接收Fab设备报警信号的信号塔，所述信号塔设置在对应的Fab设备上；所述信号塔的信号输出端电连接对应的POE交换机的信号输入端。 所述一种半导体Fab生产线工艺监控系统，其特征在于，还包括上位机，所述上位机与数据库服务器形成双向通讯连接。 本技术的有益效果为: I)能够全高清和灵活地显示芯片制备的相关视频，满足半导体生产的专业化工艺需求。 2)可以实时显示芯片工艺生成中实际芯片的走动及预警等状态信息，并记录在数据库服务器中，从而便于查询。 【附图说明】 图1为本技术的一种半导体Fab生产线工艺监控系统的总体结构示意图； 图2为本技术的Fab设备监控子系统的结构示意图。 【具体实施方式】 下面结合附图对本技术作进一步说明: 参照图1，为本技术的一种半导体Fab生产线工艺监控系统的总体结构示意图，参照图2，为本技术的Fab设备监控子系统的结构示意图。本技术实施例中，一种半导体Fab生产线工艺监控系统包括第I个Fab设备监控子系统至第N个Fab监控子系统，N为大于I的自然数，每个Fab设备监控子系统用于对一个Fab设备进行视频监控，Fab设备可以为晶圆生产过程中实用的工艺设备，例如，Fab设备为蚀刻工艺设备、CVD(化学气相淀积)设备等。本技术实施例中，每个Fab设备上设置有用于接收报警信号的信号塔，当信号塔接收到报警信号时，说明晶圆生产工艺出现问题，需要停止该Fab设备的运行，此时，信号塔会向外发出报警信号(声光报警信号)，从而便于工作人员及时查明Fab设备的故障原因。 本技术实施例中，还设置有以太网交换机和数据库(DB)服务器，以太网交换机的输入端分别电连接第I个Fab设备监控子系统至第N个Fab监控子系统(以太网交换机通过RJ45接口和网线电连接每个Fab设备监控子系统)，以太网交换机的输出端电连接数据库服务器(以太网交换机通过RJ45接口和网线电连接数据库服务器)。这样，每个Fab设备监控子系统得到的视频监控图像会通过以太网交换机发送至数据库服务器(视频监控图像为能够通过网线传输的格式)，再将数据库服务器与上位机连接，此时，就可以通过上位机实时读取数据服务器中的视频图像，从而对Fab设备中晶圆的运行状态进行查看。 本技术实施例中，每个Fab设备监控子系统包括多个网络摄像机(例如每个Fab设备监控子系统包括第I网络摄像机至第M网络摄像机，M为大于I的自然数)。每个网络摄像机用于采集晶圆/芯片图像，在一个Fab设备监控子系统中，各个网络摄像机被设置在Fab设备的不同区域，用于采集各自区域内的图像。随着芯片制备过程的警醒，晶圆/芯片会出现在每个网络摄像机的拍摄区域内，此时对应的网络摄像机就可以捕捉到晶圆/芯片的视频图像。 本技术实施例中，每个Fab设备监控子系统包括POE交换机和视频采集服务器，POE交换机向每个网络摄像机供电，使对应的网络摄像机能够正常工作。POE交换机的输入端电连接每个网络摄像机的信号输出端，例如，每个网络摄像机通过网线和RJ45接口电连接POE交换机。POE交换机与视频采集服务器形成双向通讯连接(Ρ0Ε交换机通过网线和RJ45接口电连接视频采集服务器)，视频采集服务器的信号输出端电连接所述以太网交换机(视频采集服务器通过网线和RJ45接口电连接以太网交换机)。此时，每个网络摄像机拍摄的图像都可以通过POE交换机和视频采集服务器传输至以太网交换机。 本技术实施例中，还可以控制网络摄像机的通断，其具体过程为:在每个Fab设备监控子系统内，信号塔的信号输出端POE交换机的信号输入端。这样，当信号塔收到报警信号时，信号塔将报警信号通过POE交换机发送至视频采集服务器。视频采集服务器接收到报警信号后，不再接收来自POE交换机的视频图像数据，因为此时，Fab设备处于故障状态，需要进行人工修复/查看，网络摄像机当前所拍摄图像的意义不大。 本技术实施例中，每个Fab设备监控子系统还包括VGA分屏器，VGA分屏器具有一个信号输入端和两个信号输出端，所述VGA分屏器的信号输入端电连接Fab设备的VGA输出端口。VGA分屏器的作用是进行VGA信号的2分屏。每个Fab设备监控子系统还包括VGA/数字视频信号转换器，用于将VGA信号转换为数字视频信号，VGA分屏器的任一个信号输出端电连接VGA/数字视频信号转换器的信号输入端。VGA/数字视频信号转换器输出的数字视频信号可以多种视频格式，例如，VGA/数字视频信号转换器输出以下一种视频格式的数字视频信号.Μ视频格式、DVI视频格式或HDMI视频格式。 本技术实施例中，每个Fab设备监控子系统还包括用于将数字视频信号转换为网线传输信号的数字视频信号/RJ45信号转换器，VGA/数字视频信号转换器的信号输出端电连接所述数字视频信号/RJ45信号转换器的信号输入端，数字视频信号/RJ45信号转换器的信号输出端电连接所述POE交换机的信号输入端。数字视频信号/RJ45信号本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种半导体Fab生产线工艺监控系统，其特征在于，包括：数据库服务器、以太网交换机、以及第1个Fab设备监控子系统至第N个Fab监控子系统，N为大于1的自然数；所述以太网交换机的输入端分别电连接第1个Fab设备监控子系统至第N个Fab监控子系统，所述以太网交换机的输出端电连接数据库服务器；所述每个Fab设备监控子系统包括视频采集服务器、POE交换机、以及多个网络摄像机；每个网络摄像机设置在Fab设备上，每个网络摄像机用于采集晶圆/芯片图像，所述POE交换机用于向每个网络摄像机进行供电，所述POE交换机的信号输入端电连接每个网络摄像机的信号输出端，所述POE交换机与视频采集服务器形成双向通讯连接，所述视频采集服务器的信号输出端电连接所述以太网交换机。

【技术特征摘要】
1.一种半导体？处生产线工艺监控系统，其特征在于，包括:数据库服务器、以太网交换机、以及第1个设备监控子系统至第~个监控子系统4为大于1的自然数；所述以太网交换机的输入端分别电连接第1个设备监控子系统至第~个监控子系统，所述以太网交换机的输出端电连接数据库服务器； 所述每个设备监控子系统包括视频采集服务器、？02交换机、以及多个网络摄像机；每个网络摄像机设置在设备上，每个网络摄像机用于采集晶圆/芯片图像，所述？02交换机用于向每个网络摄像机进行供电，所述？02交换机的信号输入端电连接每个网络摄像机的信号输出端，所述？02交换机与视频采集服务器形成双向通讯连接，所述视频采集服务器的信号输出端电连接所述以太网交换机。2.如权利要求1所述的一种半导体生产线工艺监控系统，其特征在于，所述每个 设备监控子系统还包括似分屏器、用于将似信号转换为数字视频信号的賴数字视...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵叶，吕沛微，杜鼎立，
申请(专利权)人：西安寰微电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：陕西;61