【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种可用于半导体生产线动态调度的性能预测方法,包括:(1)采集半导体生产线历史数据,建立训练样本集与测试样本集;(2)将对输入的投料方式及调度规则文字符号进行编码,使网络可以接受;为使输入数据有相同的量纲,对输入量进行归一化处理;(3)采用极限学习机方法构建预测模型;对于ELM仅需要确定的神经网络的隐层节点个数,不需要调整网络的输入权值和隐元的偏置及其他参数,采用试凑法选取适合的隐节点个数;(4)运用测试样本测试预测模型的网络性能,将预测结果反归一化处理后得到输出值与测试样本输出值对比,判断是否能够满足精度要求;(5)如果测试结果的预测精度能够满足要求,建立预测模型过程结束,得到所需的预测模型;如不满足,则转到步骤(3),重新选择的神经网络的隐层节点个数再次训练模型。
【技术特征摘要】
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