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本发明公开了一种用于半导体生产线动态调度的性能预测方法，应用极限学习机（Extreme?Learning?Machine，ELM）进行预测建模。本发明将投料控制与调度规则统一考虑，基于系统实时状态预测设备利用率和移动步数等短期调度关键性指标...
该专利属于同济大学所有，仅供学习研究参考，未经过同济大学授权不得商用。

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