一种高效散热的旋转平面靶制造技术

本实用新型专利技术公开了一种高效散热的旋转平面靶,包括：冷却池，置于冷却池内的磁钢旋转装置，固定于冷却池上的靶，用于固定连接冷却池与靶的固定装置，设于上述冷却池底部的阴极电极。本实用新型专利技术为了进一步提高磁场均匀性和增强磁场强度，以及进一步提高靶的冷却效果，提供一种高效散热的旋转平面靶；一方面扩大了靶的均匀溅射面积，从而进一步提高了靶材利用率和溅射速率；另一方面提高了靶表面磁场强度和靶的冷却效果，从而实现更快速的镀膜，并实现大面积均匀快速沉积薄膜，具有良好的应用前景。（*该技术在2024年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】
一种高效散热的旋转平面靶
一种平面靶，特别是一种高效散热的旋转平面靶。
技术介绍
磁控溅射装置作为一种镀膜装置已被广泛应用于各种电子、装饰等镀膜领域，其具有镀膜速率快、低温沉积、无污染等优点。 随着磁控溅射镀膜技术的发展，研究人员主要朝这两个方向努力，一是通过提高靶表面磁场的均匀分布提高靶材利用率，二是通过密排磁体增强磁场强度和提升冷却设计以提高靶的溅射速率；现有磁控溅射装置的圆形平面阴极靶磁场弱，分布均匀性和冷却效果有待提高，溅射速率和靶材利用率低；现有技术还未解决这些问题。
技术实现思路
为解决现有技术的不足，本技术的目的在于为了进一步提高磁场均匀性和增强磁场强度，以及进一步提高靶的冷却效果，提供一种高效散热的旋转平面靶；一方面扩大了靶的均匀溅射面积，从而进一步提高了靶材利用率；另一方面提高了靶表面磁场强度和靶的冷却效果，从而实现更快速的镀膜，具有良好的应用前景。 为了实现上述目标，本技术采用如下的技术方案: 一种高效散热的旋转平面靶，包括:冷却池，置于冷却池内的磁钢旋转装置，固定于冷却池上的靶，用于固定连接冷却池与靶的固定装置，设于上述冷却池底部的本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种高效散热的旋转平面靶,其特征在于，包括：冷却池，置于上述冷却池内的磁钢旋转装置，固定于上述冷却池上的靶，用于固定连接上述冷却池与靶的固定装置，设于上述冷却池底部的阴极电极。

【技术特征摘要】
1.一种高效散热的旋转平面靶，其特征在于，包括:冷却池，置于上述冷却池内的磁钢旋转装置，固定于上述冷却池上的靶，用于固定连接上述冷却池与靶的固定装置，设于上述冷却池底部的阴极电极。2.根据权利要求1所述的一种高效散热的旋转平面靶，其特征在于，上述冷却池包括:包裹上述磁钢旋转装置的冷却池本体，贯穿上述磁钢旋转装置的冷却水管，固定于上述冷却池本体上并置于上述磁钢旋转装置底部的冷却水出水管。3.根据权利要求1所述的一种高效散热的旋转平面靶，其特征在于，上述冷却池与冷却水管接触处套接有轴封环。4.根据权利要求1所述的一种高效散热的旋转平面靶，其特征在于，上述固定装置包括:套接于上述冷却池外周围的绝缘安装法兰，延伸于上述冷却池并固定连接于上述绝缘安装法兰的安装凸台；用于固定靶在冷却池上并覆盖在上述靶上的导电金属压环。5.根据权利要求4所述的一种高效散热的旋转平面靶，其特征在于，上述固定装置还包括:设于上述靶...

【专利技术属性】
技术研发人员：冯斌，金浩，王德苗，李东滨，
申请(专利权)人：苏州求是真空电子有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32