【技术实现步骤摘要】
一种新型的石墨舟清洗工艺
本专利技术是一种新型的石墨舟清洗工艺，用于石墨舟清洗操作。该配方的主要目是 降低管式PECVD镀膜中在太阳能电池片制造中的返工率，以提升电池片成品率。
技术介绍
太阳能具有可再生和环保等方面的特点，这种优势让包括中国在内的许多国家将 太阳能作为重点发展的新能源产业。中国**光伏产品主要供应给欧美市场，国内市场份额 很小。近年来，由于欧美各国市场需求的增大，我国光伏产业取得了快速的发展，最近5年 的年均增长速度达到40%以上。在政策进一步加大扶持力度的背景下，未来光伏产业的增 长前景将更为广阔。 光伏发电产业链从上游到下游，主要包括的产业链条包括多晶硅、硅片、电池片以 及电池组件。在产业链中，多晶硅电池，生产的技术门槛越来越低，相应地，公司数量分布也 越来越多，利润越来越地。 而PECVD作为太阳能电池制造中的重要一环，其降低返工率提升成品率对成本的 节约有着至关重要的意义。
技术实现思路
本专利技术针对PECVD石墨舟清洗的一种方法。利用氮化硅与氢氟酸反应的原理，氮 气鼓泡引起配方液体流动来加速清除石墨舟表面的氮化硅。 本专利技术通过以下技术方案实现： 1. -种新型石墨舟清洗工艺，包括：液体配方、清洗方法与时间设置、所用气体及 其流量、盛放液体的槽体材质。 2.如权利要求1所述的该清洗工艺，其特征在于，其中所述的液体配方中的水为 去离子水。 3.如权利要求2所述的该清洗工艺，其特征在于，其中所述的所用气体为氮气，主 要用于鼓泡。 4.如权利要求3所述的该清洗工艺，...
【技术保护点】
一种新型石墨舟清洗工艺，包括：液体配方、清洗方法与时间设置、所用气体及其流量、盛放液体的槽体材质。
【技术特征摘要】
1. 一种新型石墨舟清洗工艺，包括：液体配方、清洗方法与时间设置、所用气体及其流 量、盛放液体的槽体材质。2. 如权利要求1所述的该清洗工艺，其特征在于，其中所述的液体配方中的酸液为HF、 水为去离子水。3. 如权利要求...
【专利技术属性】
技术研发人员：李楠，侯国峰，
申请(专利权)人：北京中科信电子装备有限公司，
类型：发明
国别省市：北京;11
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