【技术实现步骤摘要】
一种晶娃铸锭炉炉体
本技术涉及晶体硅生产领域，尤其涉及一种晶硅铸锭炉炉体。
技术介绍
目前，硅铸锭炉是一种硅重熔铸锭设备，而晶硅铸锭炉对晶体生长系统的优劣影响主要是由炉中的热场决定的，随着生产强度的不断提高，人们对铸锭炉的使用性能也提出了更高的要求，市面上所出售的多种型号的铸锭炉，其内部的设计也大都不同，现有的铸锭炉因其结构设计等元婴，往往会使坩埚内的晶粒不能垂直液面生长，这种会很严重影响到后续的加工和使用，而且因为铸锭炉内部环境温度很高，普通的材料本身抗腐蚀性能差，这样会导致保温层不能继续使用，给生产加工带来了很多不便。
技术实现思路
为克服上述不足，本技术目的是提供一种晶硅铸锭炉炉体。 本技术的方案如下:一种晶硅铸锭炉炉体，它包括坩埚、保温层、炉体和管道进气口，所述炉体上设有联通隔热层外空间的管道进气口 ；所述炉体内的保温层包括外保温层和内保温层；所述内保温层上设置有碳复合材料板；所述坩埚设置与炉体内部；所述坩埚上方设有挡板且在坩埚挡板两侧设置有可上下移动的导轨；所述坩埚下方设有热交换台；所述坩埚与热交换台之间设有隔热件；所述保温层上设置有测量孔；所述坩埚下方设置有两根石墨支柱固定于炉体底部内壁与热交换台之间；所述炉体顶部和炉体内部的保温层之间设有用于向所述炉体内充气的管道；所述炉体内隔热件的材料为石墨毡条；所述石墨毡条的厚度在1mm?50mm之间；所述碳复合材料上连接有螺杆，且所述螺杆以及与所述螺杆相适配的螺母与内外保温层连接固定。 本技术的有益效果:本技术铸锭炉炉体具有结构设计合理、操作方便和使用寿命长等优点，所述设置的...
【技术保护点】
一种晶硅铸锭炉炉体，它包括坩埚、保温层、炉体和管道进气口，其特征在于：所述炉体上设有联通隔热层外空间的管道进气口；所述炉体内的保温层包括外保温层和内保温层；所述内保温层上设置有碳复合材料板；所述坩埚设置与炉体内部；所述坩埚上方设有挡板且在坩埚挡板两侧设置有可上下移动的导轨；所述坩埚下方设有热交换台；所述坩埚与热交换台之间设有隔热件；所述保温层上设置有测量孔；所述坩埚下方设置有两根石墨支柱固定于炉体底部内壁与热交换台之间。
【技术特征摘要】
1.一种晶硅铸锭炉炉体，它包括坩埚、保温层、炉体和管道进气口，其特征在于:所述炉体上设有联通隔热层外空间的管道进气口 ；所述炉体内的保温层包括外保温层和内保温层；所述内保温层上设置有碳复合材料板；所述坩埚设置与炉体内部；所述坩埚上方设有挡板且在坩埚挡板两侧设置有可上下移动的导轨；所述坩埚下方设有热交换台；所述坩埚与热交换台之间设有隔热件；所述保温层上设置有测量孔；所述坩埚下方设置有两根石墨支柱固定于炉体底部内壁与热交换台之间。2.根据权利...
【专利技术属性】
技术研发人员：徐建，
申请(专利权)人：安徽旭特电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：安徽;34
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