本发明专利技术公开了一种测量AR减反膜厚度和折射率的装置，包括至少两个光源和一个计算装置，以及对应每个光源的光学系统、光线接收器和光谱分析装置，所述每个光源的光线通过对应的光学系统以大于0度且小于90度的倾斜角照射至AR减反膜膜面同一侧的同一点，且反射后的光线被对应的光线接收器接收，所述每个光线接收器通过光路或光纤连接对应的光谱分析装置，且每个光谱分析装置均通过数据线连接计算装置，本发明专利技术的AR减反膜测量装置具有结构简单，测量速度快，测量准确的特点。与椭偏仪相比，本装置无活动部件，所以运行的可靠性很高，同时信号采集速度也很高，所以可以用于在线测量。
【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本专利技术公开了一种测量AR减反膜厚度和折射率的装置，包括至少两个光源和一个计算装置，以及对应每个光源的光学系统、光线接收器和光谱分析装置，所述每个光源的光线通过对应的光学系统以大于0度且小于90度的倾斜角照射至AR减反膜膜面同一侧的同一点，且反射后的光线被对应的光线接收器接收，所述每个光线接收器通过光路或光纤连接对应的光谱分析装置，且每个光谱分析装置均通过数据线连接计算装置，本专利技术的AR减反膜测量装置具有结构简单，测量速度快，测量准确的特点。与椭偏仪相比，本装置无活动部件，所以运行的可靠性很高，同时信号采集速度也很高，所以可以用于在线测量。【专利说明】测量AR减反膜厚度和折射率的装置
本专利技术涉及一种光学测量装置，特别涉及一种测量AR减反膜厚度和折射率的装 置。
技术介绍
AR减反膜通常镀在超白压延玻璃的光面，可以有效的提高光伏玻璃的透过率。目 前测量AR减反膜的主要方法是使用椭偏仪。椭偏仪精度较高，但是结构复杂，价格较昂贵， 而且测量速度慢，不能用于在线测量。
技术实现思路
为了克服上述缺陷，本专利技术提供了一种结构简单，测量速度快，测量准确测量AR 减反膜厚度和折射率的装置。 本专利技术为了解决其技术问题所采用的技术方案是：一种测量AR减反膜厚度和折 射率的装置，包括至少两个光源和一个计算装置，以及对应每个光源的光学系统、光线接收 器和光谱分析装置，所述每个光源的光线通过对应的光学系统以大于〇度且小于90度的倾 斜角照射至AR减反膜膜面同一侧的同一点，且反射后的光线被对应的光线接收器接收，所 述每个光线接收器通过光纤或光路连接对应的光谱分析装置，且每个光谱分析装置均通过 数据线连接计算装置。 作为本专利技术的进一步改进，所述每个光学系统与对应的每个光线接收器位于同一 平面，并且它们与AR减反膜垂直方向所成的倾斜角度相同且不重合。 作为本专利技术的进一步改进，所述光源为宽光谱的光源，且光源通过光学系统后的 光线为偏振光或者非偏振光。 作为本专利技术的进一步改进，所述光学系统为一种或多种光学元件组成的透射式光 学系统、反射式光学系统或光纤。 本专利技术的有益效果是：本专利技术的AR减反膜测量装置具有结构简单，测量速度快， 测量准确的特点，与椭偏仪相比，本装置无活动部件，所以运行的可靠性很高，同时信号采 集速度也很高，所以可以用于在线测量。 【专利附图】【附图说明】 图1为本专利技术结构示意图； 图中标示：1_光源；2-计算装置；3-光学系统；4-光线接收器；5-光谱分析装置；6-AR 减反膜。 【具体实施方式】 为了加深对本专利技术的理解，下面将结合实施例和附图对本专利技术作进一步详述，该 实施例仅用于解释本专利技术，并不构成对本专利技术保护范围的限定。 图1示出了本专利技术一种测量AR减反膜厚度和折射率的装置的一种实施方式，以两 个光源和一个计算装置为例，以及对应的两个光学系统3、两个光线接收器4和两个光谱分 析装置5,光谱分析装置5可以是光谱仪，但不限于光谱仪，可以是其它种类的光谱分析仪 器，所述每个光源1的光线通过对应的光学系统2以大于0度且小于90度的倾斜角照射至 AR减反膜6膜面的同一点，且反射后的光线被对应的光线接收器4接收，所述每个光线接收 器4通过光纤或光路连接对应的光谱分析装置5,且每个光谱分析装置5均通过数据线最 终连接计算装置2,数据线可以为各种数据线，端口也可以为各种端口；所述每个光学系统 3与对应的每个光线接收器4位于同一平面，并且它们与AR减反膜6垂直方向所成的倾斜 角度相同且不重合，所述光源1为宽光谱的光源，且光源1通过光学系统后的光线为非偏振 光，所述光学系统3为多种光学元件组成的透射式光学系统。 如图1所示，两个光源(或两个以上光源）1所打出的宽光谱斜入射光打到AR减反 膜6膜面的同一点，光线接收器4得到反射光并通过光纤或其他光学系统导入光谱分析装 置5中，光谱分析装置5把各波段的光谱信号通过数据线传到计算装置2里面，计算装置2 可以由光谱信号计算出A R减反膜6的膜面在两个(或两个以上，不包括零度）角度的相对 于波长的反射率曲线。 计算装置2再通过预先储存的程序，对两个反射率曲线进行分析，计算出在膜厚 为a，折射率为某个波长的函数或某个常数时，膜面的反射率曲线和测量的反射率曲线最 接近，从而膜的厚度和折射率被同时测得，在对测量数据进行分析时，不限定优化算法。 该装置主要用于A R减反膜的膜厚以及折射率测定，也可用于测量其他的膜的厚 度或折射率。【权利要求】1. 一种测量AR减反膜厚度和折射率的装置，其特征在于：包括至少两个光源（1)和一 个计算装置（2)，以及对应每个光源（1)的光学系统（3)、光线接收器（4)和光谱分析装置 (5)，所述每个光源（1)的光线通过对应的光学系统（2)以大于0度且小于90度的倾斜角 照射至AR减反膜（6)膜面同一侧的同一点，且反射后的光线被对应的光线接收器（4)接 收，所述每个光线接收器（4)通过光纤或光路连接对应的光谱分析装置（5)，且每个光谱分 析装置（5)均通过数据线最终连接计算装置（2)。2. 根据权利要求1所述的测量AR减反膜厚度和折射率的装置，其特征在于：所述每个 光学系统（3)与对应的每个光线接收器（4)位于膜面同一侧的同一平面，并且它们与AR减 反膜（6)垂直方向所成的倾斜角度相同且不重合。3. 根据权利要求1所述的测量AR减反膜厚度和折射率的装置，其特征在于：所述光源 (1)为宽光谱的光源，且光源（1)通过光学系统后的光线为偏振光或者非偏振光。4. 根据权利要求1所述的测量AR减反膜厚度和折射率的装置，其特征在于：所述光学 系统（3)为一种或多种光学元件组成的透射式光学系统、反射式光学系统或光纤。【文档编号】G01B11/06GK104215187SQ201310210421【公开日】2014年12月17日 申请日期:2013年5月31日 优先权日:2013年5月31日 【专利技术者】朱峥嵘, 埃德加·吉尼奥, 赵连芳 申请人:昆山胜泽光电科技有限公司本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种测量AR减反膜厚度和折射率的装置，其特征在于：包括至少两个光源(1)和一个计算装置(2)，以及对应每个光源(1)的光学系统(3)、光线接收器(4)和光谱分析装置(5)，所述每个光源(1)的光线通过对应的光学系统(2)以大于0度且小于90度的倾斜角照射至AR减反膜(6)膜面同一侧的同一点，且反射后的光线被对应的光线接收器(4)接收，所述每个光线接收器(4)通过光纤或光路连接对应的光谱分析装置(5)，且每个光谱分析装置(5)均通过数据线最终连接计算装置(2)。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：朱峥嵘，埃德加·吉尼奥，赵连芳，
申请(专利权)人：昆山胜泽光电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏;32
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