【技术实现步骤摘要】
一种台式膜厚测量装置
本技术涉及膜厚测量领域，具体涉及一种台式膜厚测量装置。
技术介绍
涂布广泛应用于感光材料、电子、胶带，光学膜、包装等领域，涂膜厚度的检测是保证各类涂布产品质量的必备手段，对高新科技产业的发展有着极其重要的意义。
技术实现思路
本技术提出一种台式膜厚测量装置，用于离线膜厚测量，适用于生产线的采样测量控制及精密涂膜的实验室研究等，多参数可调，能适应不同样品的测量。一种台式膜厚测量装置，包括盒体、十字移动平台、硅片托盘、遮光罩、测头、微分调节器、光纤、悬臂、电源输入口、信号输出口；所述十字移动平台移动式地安装在盒体顶面，所述硅片托盘固定在十字移动平台上；所述测头通过悬臂安装并配有微分调节器，其位于硅片托盘上方，所述测头上安装遮光罩；所述悬臂底部固定连接于盒体的一侧，并设有电源输入口和信号输出口。进一步地，所述硅片托盘旋转式安装于十字移动平台上。进一步地，所述盒体内设有光学光源、稳压电源和光谱仪。进一步地，所述稳压电源与电源输入口相连，为整个测量装置进行供电。进一步地，所述光学光源和光谱仪通过光纤与测头连接，光谱仪对测头返回的数据分析得到膜厚数据，并由信号输出口输出至外部设备。进一步地，所述测头配置有测头透镜，光学光源通过光纤和测头透镜照射被测物体再由测头进行数据采集。进一步地，所述微分调节器进行测头的上下调节。本技术达到的有益效果为：本装置用于离线膜厚测量，适用于生产线的采样测量控制及精密涂膜的...
【技术保护点】
1.一种台式膜厚测量装置，其特征在于：/n所述装置包括盒体、十字移动平台、硅片托盘、遮光罩、测头、微分调节器、光纤、悬臂、电源输入口、信号输出口；/n所述十字移动平台移动式地安装在盒体顶面，所述硅片托盘固定在十字移动平台上；/n所述测头通过悬臂安装并配有微分调节器，其位于硅片托盘上方，所述测头上安装遮光罩；/n所述悬臂底部固定连接于盒体的一侧，并设有电源输入口和信号输出口。/n
【技术特征摘要】
1.一种台式膜厚测量装置，其特征在于：
所述装置包括盒体、十字移动平台、硅片托盘、遮光罩、测头、微分调节器、光纤、悬臂、电源输入口、信号输出口；
所述十字移动平台移动式地安装在盒体顶面，所述硅片托盘固定在十字移动平台上；
所述测头通过悬臂安装并配有微分调节器，其位于硅片托盘上方，所述测头上安装遮光罩；
所述悬臂底部固定连接于盒体的一侧，并设有电源输入口和信号输出口。
2.根据权利要求1所述的一种台式膜厚测量装置，其特征在于：所述硅片托盘旋转式安装于十字移动平台上。
3.根据权利要求1所述的一种台式膜厚测量装置，其特征在于：所述盒体内设有光学光源、稳压...
【专利技术属性】
技术研发人员：何完成，朱峥嵘，张庞庞，陈林生，朱华，
申请(专利权)人：昆山胜泽光电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32
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