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一种台式膜厚测量装置，包括盒体、十字移动平台、硅片托盘、遮光罩、测头、微分调节器、光纤、悬臂、电源输入口、信号输出口；十字移动平台移动式地安装在盒体顶面，硅片托盘固定在十字移动平台上；测头通过悬臂安装并配有微分调节器，其位于硅片托盘上方，测...
该专利属于昆山胜泽光电科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过昆山胜泽光电科技有限公司授权不得商用。

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