下载测量AR减反膜厚度和折射率的装置的技术资料

文档序号:10789617

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本发明公开了一种测量AR减反膜厚度和折射率的装置,包括至少两个光源和一个计算装置,以及对应每个光源的光学系统、光线接收器和光谱分析装置,所述每个光源的光线通过对应的光学系统以大于0度且小于90度的倾斜角照射至AR减反膜膜面同一侧的同一点,且...
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