半导体批次产品的处理系统和方法技术方案

一种半导体批次产品的处理系统和方法，其中所述半导体批次产品的处理系统包括：若干批次产品；处理站点；关键批次产品到达时间预测单元；机台端口下一次可用时间预测单元；约束检查单元和分配单元。所述分配单元根据关键批次产品到达时间预测单元获得的关键批次产品到达处理站点的时间间隔和机台端口下一次可用时间预测单元获得的处理站点各机台端口的下一次可用时间间隔，计算约束检查单元获得的各可使用机台端口的总可处理批次产品数，按照所述总可处理批次产品数为各关键批次产品分配机台端口。本发明专利技术的半导体批次产品的处理系统和方法缩短了关键批次产品等待时间，合理安排了机台资源。

【技术实现步骤摘要】
半导体批次产品的处理系统和方法
本专利技术涉及半导体
，尤其涉及一种半导体批次产品的处理系统和方法。
技术介绍
在集成电路的生产制造过程中，存在成百甚至上千道工序，晶圆（Wafer）经过所有工序后才能形成最终产品。在正常情况下，晶圆按照预先设定好的工艺流程一步一步地执行每一道工序，也就是说，预先设定好了工艺流程中每一道工序的内容、具体的工艺参数，还预先设定好了每一道工序执行的时间顺序，根据预先设定好的工艺流程，控制晶圆依次执行每一道工序。但是在很多情况下，集成电路的制造过程中，存在关键批次产品（Bulletlot）的生产。所述的关键批次产品一方面可能是新量产（NTO：Newtypeout）的批次产品，即客户在晶圆代工厂（FAB）中大量投单之前，事先小量投产生产，再依据这批产品最终的质量和订单交付速度来决定是否需要跟进大量投单，因此NTOlot可以给晶圆代工厂带来大量的后续订单以及显著的产能和业绩提高；另外一方面，晶圆代工厂日常运行时会有某段制程出现异常的批次产品，工程师在发现并解决这一异常后，急需通过处理这个批次产品来验证解决方法的合理性，如果验证通过则可以将这一解决方案快速推广到全厂的生产当中，为晶圆代工厂的良率和产出做出重要贡献；又或者工程师研发了一项新技术，并且该技术可能会给晶圆代工厂带来制程水平的提升，从而使更多的客户来晶圆代工厂投订单，则这样的批次产品也希望尽快处理。由此可见，关键批次产品的处理对晶圆代工厂的良率提高、产能提升和工艺制程水平的提高具有重要影响，因此需要进行优先处理。但是，晶圆代工厂的资源是有限的，如何在保证正常生产不受影响的同时，更合理的将系统资源分配给关键批次产品是一个复杂的问题。图1示出了现有技术的关键批次产品的处理流程示意图，包括：步骤S101，线上操作员查看处理站点是否有可以处理的关键批次产品，若是则执行步骤S102，若否则执行步骤S103；步骤S102，处理关键批次产品；步骤S103，判断是否有将要到达处理站点的关键批次产品，若是则执行步骤S104，若否则执行步骤S105；步骤S104，空机台等待关键批次产品；步骤S105，处理其他批次产品。现有技术中，对关键批次产品管理和处理方法粗略，无法达到优化晶圆代工厂产能的目的。
技术实现思路
本专利技术解决的问题是现有技术对关键批次产品的处理方法粗略，无法达到优化晶圆代工厂产能的目的。为解决上述问题，本专利技术提供了一种半导体批次产品的处理系统，包括：若干批次产品，所述批次产品包括关键批次产品；处理站点，所述处理站点包括若干机台端口，所述机台端口适于处理所述批次产品；关键批次产品到达时间预测单元，适于收集所述批次产品的工艺流程信息，并根据所述工艺流程信息计算各关键批次产品到达处理站点的时间间隔；机台端口下一次可用时间预测单元，适于根据机台端口的运行信息计算各机台端口的下一次可用时间间隔；约束检查单元，适于根据所述工艺流程信息将所述关键批次产品和所述机台端口相匹配，获得各关键批次产品到达处理站点时的可使用机台端口；分配单元，适于根据所述关键批次产品到达处理站点的时间间隔和处理站点各机台端口的下一次可用时间间隔，计算各可使用机台端口的总可处理批次产品数，按照所述总可处理批次产品数为各关键批次产品分配机台端口。可选的，所述分配单元计算各可使用机台端口的总可处理批次产品数包括：将所有关键批次产品到达处理站点的时间间隔与某一可使用机台端口的下一次可用时间间隔进行比较；当某一关键批次产品到达处理站点的时间间隔小于或等于该可使用机台端口的下一次可用时间间隔时，则该可使用机台端口的总可处理批次产品数加1，当某一关键批次产品到达处理站点的时间间隔大于该可使用机台端口的下一次可用时间间隔时，则该可使用机台端口的总可处理批次产品数加0。可选的，所述分配单元按照所述总可处理批次产品数，为各关键批次产品分配机台端口包括以下步骤：步骤S301，获取各可使用机台端口的总可处理批次产品数；步骤S302，将按时间顺序最早到达处理站点的关键批次产品分配给总可处理批次产品数最小的可使用机台端口，去除已分配的关键批次产品和可使用机台端口；步骤S303，判断是否所有可使用机台端口已经分配完毕，若是则执行步骤S304，若否则执行步骤S302；步骤S304，判断是否所述关键批次产品已分配到机台端口，若是则结束，若否则执行步骤S305；步骤S305，提示线上操作员为未分配机台端口的关键批次产品预留机台端口。可选的，还包括设定和维护单元，适于在所述关键批次产品到达时间预测单元收集各关键批次产品到达处理站点的时间间隔之前，设定和维护所述关键批次产品的信息。可选的，所述机台端口下一次可用时间预测单元获得各机台端口的下一次可用时间间隔包括：根据机台端口实时处理信息，获得当前正在处理的批次产品信息；根据该批次产品信息和该批次产品的工艺流程信息，获得该机台端口下一次可用时间间隔。可选的，还包括排序和显示单元，适于在所述分配单元按照总可处理批次产品数为各关键批次产品分配机台端口后，对各关键批次产品进行排序和显示。对应的，本专利技术还提供了一种半导体批次产品的处理方法，包括：提供若干批次产品，所述批次产品包括关键批次产品；提供处理站点，所述处理站点包括若干机台端口，所述机台端口适于处理所述批次产品；收集所述批次产品的工艺流程信息，并根据所述工艺流程信息计算各关键批次产品到达处理站点的时间间隔；根据机台端口的运行信息计算各机台端口的下一次可用时间间隔；根据所述工艺流程信息将所述关键批次产品和所述机台端口相匹配，获得各关键批次产品到达处理站点时的可使用机台端口；根据所述关键批次产品到达处理站点的时间间隔和处理站点各机台端口的下一次可用时间间隔，计算各可使用机台端口的总可处理批次产品数，按照所述总可处理批次产品数为各关键批次产品分配机台端口。可选的，所述计算各可使用机台端口的总可处理批次产品数包括：将所有关键批次产品到达处理站点的时间间隔与某一可使用机台端口的下一次可用时间间隔进行比较；当某一关键批次产品到达处理站点的时间间隔小于或等于该可使用机台端口的下一次可用时间间隔时，则该可使用机台端口的总可处理批次产品数加1，当某一关键批次产品到达处理站点的时间间隔大于该可使用机台端口的下一次可用时间间隔时，则该可使用机台端口的总可处理批次产品数加0。可选的，所述按照总可处理批次产品数，为各关键批次产品分配机台端口包括以下步骤：步骤S301，获取各可使用机台端口的总可处理批次产品数；步骤S302，将按时间顺序最早到达处理站点的关键批次产品分配给总可处理批次产品数最小的可使用机台端口，去除已分配的关键批次产品和可使用机台端口；步骤S303，判断是否所有可使用机台端口已经分配完毕，若是则执行步骤S304，若否则执行步骤S302；步骤S304，判断是否所述关键批次产品已分配到机台端口，若是则结束，若否则执行步骤S305；步骤S305，提示线上操作员为未分配机台端口的关键批次产品预留机台端口。可选的，还包括，在收集各关键批次产品到达处理站点的时间间隔之前，设定和维护所述关键批次产品的信息。可选的，所述获得各机台端口的下一次可用时间间隔包括：根据机台端口实时处理信息，获得当前正在处理的批次产品信息；根据该批次本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种半导体批次产品的处理系统，其特征在于，包括：若干批次产品，所述批次产品包括关键批次产品；处理站点，所述处理站点包括若干机台端口，所述机台端口适于处理所述批次产品；关键批次产品到达时间预测单元，适于收集所述批次产品的工艺流程信息，并根据所述工艺流程信息计算各关键批次产品到达处理站点的时间间隔；机台端口下一次可用时间预测单元，适于根据机台端口的运行信息计算各机台端口的下一次可用时间间隔；约束检查单元，适于根据所述工艺流程信息将所述关键批次产品和所述机台端口相匹配，获得各关键批次产品到达处理站点时的可使用机台端口；分配单元，适于根据所述关键批次产品到达处理站点的时间间隔和处理站点各机台端口的下一次可用时间间隔，计算各可使用机台端口的总可处理批次产品数，按照所述总可处理批次产品数为各关键批次产品分配机台端口。

【技术特征摘要】
1.一种半导体批次产品的处理系统，用于处理若干批次产品，所述批次产品包括关键批次产品，其特征在于，所述半导体批次产品的处理系统包括：处理站点，所述处理站点具有若干机台，所述处理站点包括若干机台端口，所述机台端口适于处理所述批次产品；关键批次产品到达时间预测单元，适于收集所述批次产品的工艺流程信息，并根据所述工艺流程信息计算各关键批次产品到达处理站点的时间间隔；机台端口下一次可用时间预测单元，适于根据机台端口的运行信息计算各机台端口的下一次可用时间间隔；约束检查单元，适于根据所述工艺流程信息将所述关键批次产品和所述机台端口相匹配，获得各关键批次产品到达处理站点时的可使用机台端口；分配单元，适于根据所述关键批次产品到达处理站点的时间间隔和处理站点各机台端口的下一次可用时间间隔，计算各可使用机台端口的总可处理批次产品数，按照所述总可处理批次产品数为各关键批次产品分配机台端口。2.如权利要求1所述的半导体批次产品的处理系统，其特征在于，所述分配单元计算各可使用机台端口的总可处理批次产品数包括：将所有关键批次产品到达处理站点的时间间隔与某一可使用机台端口的下一次可用时间间隔进行比较；当某一关键批次产品到达处理站点的时间间隔小于或等于该可使用机台端口的下一次可用时间间隔时，则该可使用机台端口的总可处理批次产品数加1，当某一关键批次产品到达处理站点的时间间隔大于该可使用机台端口的下一次可用时间间隔时，则该可使用机台端口的总可处理批次产品数加0。3.如权利要求1所述的半导体批次产品的处理系统，其特征在于，所述分配单元按照所述总可处理批次产品数，为各关键批次产品分配机台端口包括以下步骤：步骤S301，获取各可使用机台端口的总可处理批次产品数；步骤S302，将按时间顺序最早到达处理站点的关键批次产品分配给总可处理批次产品数最小的可使用机台端口，去除已分配的关键批次产品和可使用机台端口；步骤S303，判断是否所有可使用机台端口已经分配完毕，若是则执行步骤S304，若否则执行步骤S302；步骤S304，判断是否所述关键批次产品已分配到机台端口，若是则结束，若否则执行步骤S305；步骤S305，提示线上操作员为未分配机台端口的关键批次产品预留机台端口。4.如权利要求1所述的半导体批次产品的处理系统，其特征在于，还包括设定和维护单元，适于在所述关键批次产品到达时间预测单元收集各关键批次产品到达处理站点的时间间隔之前，设定和维护所述关键批次产品的信息。5.如权利要求1所述的半导体批次产品的处理系统，其特征在于，所述机台端口下一次可用时间预测单元获得各机台端口的下一次可用时间间隔包括：根据机台端口实时处理信息，获得当前正在处理的批次产品信息；根据该批次产品信息和该批次产品的工艺流程信息，获得该机台端口下一次可用时间间隔。6.如权利要求1所述的半导体批次产品的处理系统...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵晨，吴勇，于婷婷，谭小兵，
申请(专利权)人：中芯国际集成电路制造上海有限公司，
类型：发明
国别省市：上海;31