两种气体隔离式喷淋装置，主要解决现有技术存在的成本高、加工周期长及容易出现废品的问题。它包括进气法兰、分气部件、侧壁及喷淋盘面部件。上述喷淋装置内设有相互隔离的两个气体通道，两种气体的两个气体入口设置在分气部件的上端。两种通道均延伸至分气部件的边缘。较长的气体通道直接通向由分气部件与喷淋盘面部件形成的喷淋装置的空腔中，较短的气体通道与喷淋盘面部件中径向的成放射状不钻透的若干孔道相通。进气法兰和分气部件为第一个部分，侧壁与喷淋盘面部件为第二个部分，将焊接后的两个部分钎焊在一起，使分气部件的孔A与孔C一一相通，使所有孔B与喷淋盘面部件和侧壁形成的夹层相通。本发明专利技术采用常见的机加工形式，实现了工艺所要求的两种气体相互隔离喷淋功能，主要用于半导体镀膜设备中。
【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】两种气体隔离式喷淋装置，主要解决现有技术存在的成本高、加工周期长及容易出现废品的问题。它包括进气法兰、分气部件、侧壁及喷淋盘面部件。上述喷淋装置内设有相互隔离的两个气体通道，两种气体的两个气体入口设置在分气部件的上端。两种通道均延伸至分气部件的边缘。较长的气体通道直接通向由分气部件与喷淋盘面部件形成的喷淋装置的空腔中，较短的气体通道与喷淋盘面部件中径向的成放射状不钻透的若干孔道相通。进气法兰和分气部件为第一个部分，侧壁与喷淋盘面部件为第二个部分，将焊接后的两个部分钎焊在一起，使分气部件的孔A与孔C一一相通，使所有孔B与喷淋盘面部件和侧壁形成的夹层相通。本专利技术采用常见的机加工形式，实现了工艺所要求的两种气体相互隔离喷淋功能，主要用于半导体镀膜设备中。【专利说明】两种气体隔离式喷淋装置
本专利技术涉及一种半导体镀膜设备采用的喷淋装置。在此喷淋装置中，通过设置两种气体独立通道，来实现两种气体在流出喷淋装置前相互隔离流动，并同时流出喷淋装置进行镀膜工艺过程，本专利技术属于半导体薄膜沉积应用及制造
。
技术介绍
现有的半导体镀膜设备，因工艺过程中往往需要两种或多种气体同时通入腔体进行反应，但在所述两种或多种气体通入腔体前，即所述两种或多种气体在由不同管路进入的喷淋装置中时不能相遇，若相遇，会在喷淋装置内部发生化学反应，导致所述两种或多种气体在进入腔体前发生化学反应生成其他单种或多种化学物质而失去所述两种或多种气体作为工艺反应物的化学性质，并因所述两种或多种气体在喷淋装置内部提前反应形成的多为颗粒状的副产物，使晶圆或其他形式的薄膜载体表面带有颗粒而形成产品的缺陷，导致产品的良品率大大降低。为达到目前的原子层沉积工艺要求，人们提出了多种形式的后混合喷淋装置，但是，这些喷淋装置多采用多层结构来形成相互隔离的气体通道，并在各层板之间焊接密集的导气柱等零件，或者，在一个零件上进行线切割的方式形成夹层空间和导气柱。在焊接多层结构时，须进行多次的钎焊，多次钎焊所导致的多次回炉易使之前的钎焊熔化，影响喷淋装置的气密性也难保证各个相互隔离的气体通道完全隔离，而线切割的加工方式则需要花费大量的时间，并需要频繁地更换断掉的切割线丝。这就导致喷淋装置的加工成本，加工周期、报废率大大增加。
技术实现思路
本专利技术以解决上述问题为目的，主要解决现有技术存在的加工成本高、加工周期长及容易出现废品的问题。 为实现上述目的，本专利技术采用下述技术方案:两种气体隔离式喷淋装置，包括进气法兰、分气部件、侧壁及喷淋盘面部件四个部分。所述喷淋装置内部设有相互隔离的两个气体通道，两种气体的两个气体入口设置在分气部件的上端。所述的分气部件为圆形板状，在其内部设有交替相邻且长短不同的放射状若干气体通道，在所述交替相邻且长短不同的放射状的若干气体通道中，较长的气体通道由分气部件中心处开始延伸，较短的气体通道由稍远离分气部件中心处的位置开始延伸。所述的两种通道均延伸至分气部件的边缘。区别是:较长的气体通道直接通向由分气部件与喷淋盘面部件形成的喷淋装置的空腔中，较短的气体通道与喷淋盘面部件中径向的成放射状不钻透的若干孔道相通。在所述喷淋盘面部件上的所述不钻透的若干孔道下方，加工一列或不同阵列方式的半通孔。在所述喷淋盘面部件上的所述不钻透的若干孔道之间，加工若干通孔，所述通孔与喷淋装置的空腔相通。上述的通孔与半通孔均钻在喷淋盘面部件上，喷淋盘面部件中径向的成放射状不钻透的若干孔道的数量和位置，通孔与半通孔的排布及阵列形式，使喷淋盘面部件的通孔与半通孔尽量均匀分布。这样，第一种气体由喷淋装置的分气部件中心处的第一入口进入，在分气部件中沿着较长的气体通道向分气部件的边缘流动，到达分气部件的边缘后，进入分气部件和喷淋盘面部件形成的空腔中，再由分气盘面的若干不钻透的孔道之间加工的若干通孔流出。第二种气体由喷淋装置的分气部件中心处的第二入口进入，在分气部件中沿着较短的气体通道向分气部件的边缘流动，到达分气部件的边缘后，进入分气喷淋盘面部件中径向的成放射状不钻透的若干孔道中，再从径向的成放射状不钻透的若干孔道下方所钻的一列或不用阵列方式的半通孔流出。 本专利技术的有益效果及特点: 本专利技术采用几种简单部件焊接的形式，并且，每种部件均采用行业内常见的车削、铣、钻等去除材料的加工方式，实现了工艺所要求的两种气体相互隔离喷淋功能，缩短了喷淋装置的加工周期，缩减了加工成本及报废率，使喷淋装置的可靠性得以保证。 【专利附图】【附图说明】 图1是本专利技术的分气部件主视图。 图2是图1的左视图。 图3是图2中B-B的剖视图。 图4是图1中A-A的旋转剖视图。 图5是本专利技术的喷淋盘面部件部件的主视图。 图6是图5中C-C的旋转剖视图。 图7是本专利技术的结构示意图。 图8是图7中D-D的旋转剖视图。 【具体实施方式】 参照图1-图4,喷淋装置的分气部件I为圆形板状,圆板中心有圆形台阶,在圆形台阶上加工圆孔4，圆孔4不钻透。在圆孔4外侧加工一圆环形沟槽2，在圆环形沟槽2的槽底开圆周阵列的若干腰形孔3，腰形孔3不钻透。在分气部件I的边缘向中心方向，即径向，钻若干长孔A 6，长孔A 6钻至腰形孔3中，上述长孔A 6与腰形孔3的数量匹配。在分气部件I的边缘向中心方向，即径向，钻若干长孔B 7，长孔B 7钻至圆孔4中。上述长孔A6与长孔B 7交替相邻、径向、均布在分气部件I中。上述长孔A 6、长孔B 7的孔径一致，并在分气部件I的边缘处设有与之相匹配的堵头5，堵头5封堵长孔A 6、长孔B 7。在分气部件I的轴线方向上，钻均布的若干孔A 8，孔A 8所在位置为长孔A 6下端并接近分气部件I边缘，孔A 8与长孔A 6 相通。 在分气部件I的轴线方向上，钻均布的若干孔B 9，孔B 9所在位置为长孔B 7下端并接近分气部件I的边缘，孔B 9与长孔B 7 一一相通。 参照图5-图6，喷淋装置的喷淋盘面部件10为圆形板状，圆板边缘处有环形凸台11，环形凸台11的外侧有边沿12。喷淋盘面部件10上径向分布若干筋板15，筋板15与环形凸台11的根部相接。从环形凸台11的外侧壁沿筋板15钻均布的径向长盲孔16，在环形凸台11的端面上钻若干孔C 14，孔C 14与长盲孔16相通。在所有筋板15中的长盲孔16的下方并垂直于长盲孔16轴线的方向上,钻一列喷淋小孔A17。上述长盲孔16在环形凸台11外侧壁的一端设有与之相匹配的堵头A 19，堵头A 19堵住长盲孔16。在环形凸台11外侧壁上并避开环形凸台11的端面上所钻有的若干孔C 14，即在每两个孔C 14之间，径向于喷淋盘面部件10钻一竖列孔18。避开所有筋板15，即在喷淋盘面部件10上的各个筋板15之间，均匀钻若干喷淋小孔13。 参照图7-图8，两种气体隔离式喷淋装置，主要由进气法兰20、分气部件1、侧壁25、喷淋盘面部件10四个部分组成。在分气部件I的上端焊接进气法兰20，进气法兰20将环形沟槽2封闭。进气法兰20上设置进气口 A 21与进气口 B 22，进气口 A 21与分气部件I的圆孔4相通，进气口 B 22与环形沟槽2相通，上述进气法兰20和分气部件I就成为第一个部分。侧壁25的外径与喷淋盘本文档来自技高网...
【技术保护点】
两种气体隔离式喷淋装置，包括进气法兰、分气部件、侧壁及喷淋盘面部件，其特征在于：所述喷淋装置内部设有相互隔离的两个气体通道，两种气体的两个气体入口设置在分气部件的上端，所述的分气部件为圆形板状，在其内部设有交替相邻且长短不同的放射状若干气体通道，在所述交替相邻且长短不同的放射状的若干气体通道中，较长的气体通道由分气部件中心处开始延伸，较短的气体通道由稍远离分气部件中心处的位置开始延伸，所述的两种通道均延伸至分气部件的边缘，较长的气体通道直接通向由分气部件与喷淋盘面部件形成的喷淋装置的空腔中，较短的气体通道与喷淋盘面部件中径向的成放射状不钻透的若干孔道相通，在所述喷淋盘面部件上的不钻透的若干孔道下方，加工一列或不同阵列方式的半通孔，在所述喷淋盘面部件上的所述不钻透的若干孔道之间，加工若干通孔，所述通孔与喷淋装置的空腔相通，上述的通孔与半通孔均钻在喷淋盘面部件上，调整喷淋盘面部件中径向的成放射状不钻透的若干孔道的数量和位置，通孔与半通孔的排布及阵列形式，使喷淋盘面部件的通孔与半通孔均匀分布。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：吴凤丽，苏欣，
申请(专利权)人：沈阳拓荆科技有限公司，
类型：发明
国别省市：辽宁;21
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