【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本技术属于物理测量设备
，具体涉及一种电子能谱测量前期样品原位预处理的反应装置。主要包括气路管道装置、整体抽气真空装置、原位传样装置和样品过渡室；气路管道装置中包含高温管式炉，其用于样品原位预处理时存放样品，并通入用于样品氧化还原反应的气体；整体抽气真空装置用于在氧化还原反应前后将装置内部进行抽真空处理；原位传样装置将氧化还原后的样品在不暴露大气的情况，传入电子能谱测量仪器进行后期样品本征电子结构的测量。本技术的优点在于整个样品化学反应、样品传递和测试分析过程，均在高真空环境中实现，不会改变或者破坏样品的表面结构，实现样品的原位反应及测量。【专利说明】电子能谱测量前期样品原位预处理的反应装置
本技术属于物理测量设备
，具体涉及一种电子能谱测量前期样品原位预处理的反应装置，进一步说，是在电子能谱测量仪器对样品分析前，对样品进行高温高压反应处理并进行高真空原位传送样品的装置。
技术介绍
由于电子能谱技术可以提供样品表面组成与结构(例如，表面原子或分子的元素组成、几何分布、电子结构、振动结构、转动结构等信息)、材料...
【技术保护点】
一种电子能谱测量前期样品原位预处理的反应装置，其特征在于主要包括气路管道装置（1）、整体抽气真空装置（2）、原位传样装置（3）和样品过渡室（4）；所述气路管道装置（1）主要包括第一气体进气阀（1.1）、第二气体进气阀（1.2）、第一气体流量计（1.3）、第二气体流量计（1.4）、氮气进气阀（1.5）、气体混合室（1.6）、混合气体出气阀（1.7）、气体混合室抽气阀（1.8）、混合气体管式炉进气阀（1.9）、高纯气体管式炉进气阀（1.10）、高温管式炉（1.12）、第一密封连接口（1.13）、第二密封连接口（1.14）、样品停放石英管（1.15）、传样五通（1.16）、反应气...
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：赵嘉峰，盛世善，欧宏炜，
申请(专利权)人：费密仪器科技上海有限公司，
类型：新型
国别省市：上海;31
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