本实用新型属于磁力真空密封技术领域，具体为一种用于超高真空系统的高精度磁传动馈通装置。其包括由外向内、依次嵌套的同心的空心圆柱体外壳、外磁套、隔离密封套、内磁套和内轴；外固定刻度环设置于外壳和外磁套的顶端，半边法兰设置于外固定刻度环顶部...

本实用新型属于臭氧注入技术领域，具体为一种用于分子束外延系统的臭氧注入器。包括线性驱动装置和水冷臭氧注入装置两部分；线性驱动装置包括带刻度底座支柱、导向柱、丝杆、传动轴套、直行机构中板、直行机构上板、直行机构下板、波纹管组件和手轮；水冷...

本实用新型属于臭氧提纯技术领域，具体为一种高纯度臭氧提取石英装置。其包括内层石英瓶、臭氧进气管、臭氧出气管、温度计安装槽、温度计、变色硅胶、中层石英瓶、热氮气进气管、热氮气出气口、外层石英瓶、抽气口、液氮杜瓦和液面传感器，其中，内层石英...

本实用新型属于真空腔体机械技术领域，具体为一种用于薄膜生长的超高真空腔体。其主体为一个由正方体切割去八个顶角而形成，其内部作球形掏空，构成用于薄膜生长的腔体内壁；正方体的六个方形面上分别设有大法兰接口，与腔体内壁贯穿连通；每一个截面上设...

本实用新型属于物理测量设备技术领域，具体涉及一种电子能谱测量前期样品原位预处理的反应装置。主要包括气路管道装置、整体抽气真空装置、原位传样装置和样品过渡室；气路管道装置中包含高温管式炉，其用于样品原位预处理时存放样品，并通入用于样品氧化...

本实用新型属于阀门技术领域，具体为一种双橡胶圈差分密封的超高真空阀门。主要包括双面法兰、第一密封橡胶圈、第二密封橡胶圈、差分抽气法兰和密封盲板；第一密封橡胶圈和第二密封橡胶圈之间设计有一差分抽气孔，并与双面法兰侧面的差分抽气法兰贯通连接...