下载电子能谱测量前期样品原位预处理的反应装置的技术资料

文档序号:10677890

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本实用新型属于物理测量设备技术领域,具体涉及一种电子能谱测量前期样品原位预处理的反应装置。主要包括气路管道装置、整体抽气真空装置、原位传样装置和样品过渡室;气路管道装置中包含高温管式炉,其用于样品原位预处理时存放样品,并通入用于样品氧化还原...
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