导电图案的形成方法以及导电图案基板技术

本发明专利技术的导电图案的形成方法具备下述工序：层压工序，在该工序中准备依次具备支撑膜、含有导电性纤维的导电层和含有感光性树脂的感光性树脂层的感光性导电膜，将导电层和感光性树脂层层压到基材上以使得导电层密合在基材上；和图案形成工序，在该工序中通过将上述基材上的感光性树脂层进行曝光和显影来形成导电图案。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】【专利摘要】本专利技术的导电图案的形成方法具备下述工序：层压工序，在该工序中准备依次具备支撑膜、含有导电性纤维的导电层和含有感光性树脂的感光性树脂层的感光性导电膜，将导电层和感光性树脂层层压到基材上以使得导电层密合在基材上；和图案形成工序，在该工序中通过将上述基材上的感光性树脂层进行曝光和显影来形成导电图案。【专利说明】导电图案的形成方法以及导电图案基板
本专利技术涉及导电图案的形成方法以及导电图案基板，特别是作为液晶显示元件等的平板显示器、触摸面板(触摸屏)、太阳能电池、照明等装置的电极配线使用的导电图案的形成方法以及导电图案基板。
技术介绍
在个人电脑、电视等大型电子设备、汽车导航系统、手机、电子辞典等小型电子设备、0A、FA设备等显示设备等中，使用了液晶显示元件、触摸面板等的设备正在普及。这些液晶显示元件、触摸面板中，要求为透明的配线、像素电极或端子的一部分使用了透明导电膜。另外，在太阳能电池、照明等器件等中也使用了透明导电膜。 以往，从对可见光显示高透过率方面考虑，在透明导电膜用材料中使用氧化铟锡(Indium-Tin-Oxide:ΙΤ0)、氧化铟以及氧化锡等。设置在液晶显示元件用基板等上的电极以对由上述材料构成的透明导电膜进行布图而成的电极为主流。 作为透明导电膜的图案形成(布图)方法，通常为如下方法:在基板等基材上形成透明导电膜后，通过光刻法形成抗蚀剂图案，通过湿式蚀刻除去导电膜的规定部分而形成导电图案。在ITO膜和氧化铟膜的情况下，蚀刻液通常使用由盐酸和氯化铁这2种液体形成的混合液。 ITO膜、氧化锡膜等通常通过溅射法形成，但根据溅射方式的差异、溅射功率、气压、基板温度、气氛气体的种类等的不同，透明导电膜的性质容易发生变化。由溅射条件的变动产生的透明导电膜的膜质的差异成为对透明导电膜进行湿式蚀刻时蚀刻速度出现偏差的原因，容易由图案形成不良导致制品的成品率降低。另外，上述导电图案的形成方法具有溅射工序、抗蚀剂形成工序以及蚀刻工序，工序长，在成本方面成为很大负担。 最近，为了消除上述问题，进行了使用代替ΙΤ0、氧化铟以及氧化锡等的材料来形成透明的导电图案的尝试。例如，下述专利文献I中公开了如下导电图案的形成方法:在基板上形成含有银纤维等导电性纤维的导电层后，在导电层上形成感光性树脂层，从其上方隔着图案掩模进行曝光、显影。 专利文献2中公开了如下方法:使用至少包含支撑体上的可剥离导电层和导电层上的粘接剂层的转印用导电性膜，利用该粘接剂层将导电层粘贴在基板上，还公开了转印后的导电层可以被形成图案(布图)。 专利文献3中公开了如下导电图案的形成方法:通过采用使用具备设置在支撑膜上的导电层和设置在该导电层上的感光性树脂层的感光性导电膜以感光性树脂层密合(紧密贴合)在基板上的方式进行层压的方法，可以形成导电图案。 现有技术文献 技术文献 专利文献1:美国专利申请公开第2007/0074316号说明书 专利文献2:日本特开2007-257963号公报 专利文献3:国际公开第2010/021224号
技术实现思路
专利技术要解决的问题 但是，专利文献I和2记载的方法存在形成导电图案的工序繁杂的问题。 另一方面，专利文献3中记载的方法是能够更简便地形成导电图案的方法，但在基板与导电层之间夹着感光性树脂层，因此无法将设置在基板表面上的连接端子等与导电图案简便地连接。专利文献2所述的方法也存在上述问题。 本专利技术的目的在于，提供能够在基材上以充分的分辨率简便地形成表面电阻率足够小的导电图案的导电图案的形成方法以及导电图案基板。 用于解决问题的手段 为了解决上述问题，本专利技术提供一种导电图案的形成方法，其具备下述工序:层压工序，在该工序中准备依次具备支撑膜、含有导电性纤维的导电层和含有感光性树脂的感光性树脂层的感光性导电膜，将导电层和感光性树脂层层压到基材上以使得导电层密合在基材上；和图案形成工序，在该工序中通过将上述基材上的感光性树脂层进行曝光和显影来形成导电图案。 根据本专利技术的导电图案的形成方法，能够在基材上以充分的分辨率简便地形成表面电阻率足够小的导电图案。另外，能够将设置在基板表面上的连接端子等与导电图案简便地连接。 本专利技术实现上述效果的详细理由未必清楚，但本【专利技术者】们推测通过将含有导电性纤维的导电层与感光性树脂层层叠，在从导电层一侧层压在基材上时感光性树脂层会适度浸渗到导电层中，由此在导电层的与感光性树脂层相反一侧的面上得到粘贴性，在之后的曝光、显影中，能够以充分的分辨率形成图案。 上述感光性树脂层优选含有粘合剂聚合物、具有烯键式不饱和键的光聚合性化合物以及光聚合弓I发剂。感光性树脂层通过含有这样的成分，能够进一步提高贴合性、基材与导电图案的粘接性、以及导电图案的图案形成性。 上述粘合剂聚合物优选具有羧基。通过含有具有羧基的粘合剂聚合物，能够使上述感光性树脂层的显影性提高。 本专利技术的导电图案的形成方法中，上述导电层与上述感光性树脂层的层叠体可以将在450?650nm的波长范围内的最小透光率设定为80%以上。在导电层以及感光性树脂层满足这样的条件的情况下，显示面板等的高亮度化变得容易。 上述导电性纤维也可以为银纤维。通过为银纤维，所形成的导电图案的导电性的调节变得更容易。 本专利技术还提供一种导电图案基板，其具备:基板；和通过本专利技术的导电图案的形成方法形成在基板上的导电图案。 该导电图案基板是通过本专利技术的导电图案的形成方法而形成有导电图案，因此可以具备表面电阻率足够小并且以充分的分辨率形成的导电图案。另外，所形成的导电图案可以获得与设置在基板表面上的连接端子等的导通。 上述导电图案基板中，导电图案的表面电阻率优选为2000Ω/ □以下。通过将导电图案的表面电阻率设定在这样的范围内，可以作为配线或电极更有效地发挥作用。 专利技术效果 根据本专利技术，可以提供能够在基材上以充分的分辨率简便地形成表面电阻率足够小的导电图案的导电图案的形成方法以及导电图案基板。另外，根据本专利技术，可以将设置在基材表面上的连接端子等与导电图案简便地连接。另外，根据本专利技术的导电图案的形成方法，可以使基材与导电层的粘接性充分，也可以使与所得到的导电图案的基板的粘接性充分。 另外，根据本专利技术，可以在对象物上直接形成导电图案，因此能够简便地形成立体的导通配线。例如，在设置了已经制作的导电图案的基材上，在导电图案的规定部分上用绝缘树脂等形成绝缘膜后，层压感光性导电膜，形成导电图案，由此可以实现没有用绝缘膜被覆的已经制作的导电图案与新形成的导电图案的导通，并且在绝缘膜部分中设置导电图案的交叉部(桥接部)。该情况下，已经制作的导电图案可以使用ITO等氧化物导电体、Cu等金属等，可以与这些导电图案容易地进行导通。 【专利附图】【附图说明】 图1是表不感光性导电膜的一个例子的不意截面图。 图2是表示感光性导电膜的制造方法的一个例子的示意截面图。 图3是用于说明本专利技术的导电图案的形成方法的一个实施方式的示意截面图，(a)是表示层压工序的示意截面图，(b)是表示将感光性膜转印而成的层叠体的示意截面图，(C)是表示曝光工序的示意截面图，(d)是表示显影工序的示意截面图。 本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种导电图案的形成方法，其具备下述工序：层压工序，在该工序中准备依次具备支撑膜、含有导电性纤维的导电层和含有感光性树脂的感光性树脂层的感光性导电膜，将所述导电层和所述感光性树脂层层压到基材上以使得所述导电层密合在所述基材上；和图案形成工序，在该工序中通过将所述基材上的所述感光性树脂层进行曝光和显影来形成导电图案。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：田仲裕之，山崎宏，五十岚由三，伊藤豊树，太田绘美子，
申请(专利权)人：日立化成株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP