【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本专利技术公开了一种等离子体刻蚀硅片夹具，包括上夹板、下夹板、螺丝螺杆以及位于上夹板与下夹板之间的垫片，所述上夹板、下夹板上设有与螺丝螺杆相配合的通孔，上夹板、下夹板通过通孔套设在可调节两块夹板间距的螺丝螺杆上，螺丝螺杆上端穿过上夹板并向外延伸，延伸部分与上夹板之间设有螺母；下端固定在下夹板的通孔内；在上夹板与下夹板上各设有一组对称的矩形长条，所述的上夹板上的矩形长条与下夹板上的矩形长条相互对立。本专利技术可以用更小的力使硅片叠加的更紧密减小内部的刻蚀，同时压片在硅片其他位置不施加力，不会使硅片产生隐裂，既改善了刻蚀效果同时避免了整体压力过大造成硅片损伤。【专利说明】一种等离子体刻蚀硅片夹具
本专利技术属于夹具领域，具体涉及一种等离子体刻蚀硅片夹具。
技术介绍
太阳能电池生产中有一道工序叫做等离子体刻蚀工序，该工序的目的是利用等离 子体激发四氟化碳和氧气对硅片四边进行刻蚀。由于等离子体对硅片的刻蚀没有选择性， 渗透性强，所以硅片常被放在夹具中，并在表面加一层盖板施加一定的压力，防止过刻。目 前行业中使用的夹具一般都由两块平板...
【技术保护点】
一种等离子体刻蚀硅片夹具，包括上夹板（1）、下夹板（2）、螺丝螺杆（3）以及位于上夹板（1）与下夹板（2）之间的垫片（4），所述上夹板（1）、下夹板（2）上设有与螺丝螺杆（3）相配合的通孔，上夹板（1）、下夹板（2）通过通孔套设在可调节两块夹板间距的螺丝螺杆（3）上，螺丝螺杆（3）上端穿过上夹板（1）并向外延伸，延伸部分与上夹板（1）之间设有螺母（5）；下端固定在下夹板（2）的通孔内；其特征在于，在上夹板（1）与下夹板（2）上各设有一组对称的矩形长条（6），所述的上夹板（1）上的矩形长条（6）与下夹板（2）上的矩形长条（6）相互对立。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：蒋建宝，
申请(专利权)人：无锡赛晶太阳能有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏;32
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