一种衬底固定夹具制造技术

本实用新型专利技术公开了一种衬底固定夹具，所述衬底固定夹具包括：固定板、L型压板、螺钉；其中：在所述固定板中至少设置两个螺孔；所述L型压板长边所在的面设置供螺钉穿过的开孔；所述L型压板短边与所述固定板接触；将所述L型压板固定在所述固定板背面上。本实用新型专利技术有效地解决了现有技术衬底固定夹具操作复杂、不易于安装和摘取的问题。本实用新型专利技术引入固定板和L型压板来固定衬底，在材料外延生长过程中操作简单，方便安装和摘取。

【技术实现步骤摘要】
一种衬底固定夹具
本技术涉及半导体
，特别是涉及一种衬底固定夹具。
技术介绍
目前，红外焦平面技术正向着大阵列、双多色等三代焦平面技术方向发展。在众多 焦平面探测器中，基于碲镉汞材料的焦平面探测器由于其具有较高的量子效率、波段在全 谱段可调等诸多优点而被广泛应用。 焦平面探测器涉及外延生长技术，采用与碲镉汞材料晶格匹配的碲锌镉作为衬底 是最优选择。在外延生长工艺中，分子束外延技术可以实现双多色材料外延，且材料均匀性 较好。但是，在分子束外延技术中，衬底的固定（或粘结）方式是其中一项关键技术。因为， 在材料生长过程中，包括进样室预处理、缓冲室预处理、腔室预处理、二次缓冲层生长等多 个步骤，过程中又伴随着多次高温处理，同时在碲镉汞材料生长过程中对温度的均匀性要 求极高。这就要求固定衬底的夹具必须操作简单，便于安装和摘取，然而，现有的衬底固定 夹具不具有操作简单，便于安装和摘取的特点，造成材料生长过程受热不均等现象的发生。
技术实现思路
基于上述问题，本技术提供了一种衬底固定夹具，用以解决现有技术的衬底 固定夹具操作复杂、不易于安装和摘取的问题。 为解决上述技术问题，本技术是通过以下技术方案来解决的。 本技术提供一种衬底固定夹具，所述衬底固定夹具包括：固定板、L型压板、 螺钉；其中：在所述固定板中至少设置两个螺孔；所述L型压板长边所在的面设置供螺钉穿 过的开孔；所述L型压板短边与所述固定板接触；将所述L型压板固定在所述固定板背面 上。 其中，在所述固定板上设置直角形凸起；所述直角形凸起的两条边与衬底相接触， 所述衬底位于所述固定板的中心位置。 其中，所述直角形凸起的高度小于或等于所述衬底高度的一半。 其中，所述L型压板短边的长度等于衬底的高度。 其中，所述L型压板上的开孔的形状是矩形与半圆形所组成的组合形状。 其中，所述固定板为圆形，所述固定板的边缘包含环状台阶。 其中，在所述固定板正面圆心处设置半圆形凹槽。 其中，所述固定板、L型压板和螺钉的材料为石墨。 本技术有益效果如下： 本技术引入固定板和L型压板来固定衬底，在材料外延生长过程中操作简 单，方便安装和摘取。 【附图说明】 图1是根据本技术一实施例的衬底固定夹具的结构图； 图2是根据本技术一实施例的衬底固定夹具螺钉的示意图； 图3是根据本技术一实施例的衬底固定夹具L型压板的示意图； 图4是根据本技术另一实施例的衬底固定夹具的结构图。 【具体实施方式】 为了解决现有技术衬底固定夹具操作复杂、不易于安装和摘取的问题，本实用新 型提供了一种衬底固定夹具，以下结合附图以及实施例，对本技术进行进一步详细说 明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本技术，并不限定本技术。 如图1所示，图1是根据本技术一实施例的衬底固定夹具的结构图。 衬底固定夹具包括固定板、L型压板、螺钉。 在固定板中至少设置两个螺孔。L型压板长边所在的面设置供螺钉穿过的开孔。L 型压板短边与固定板接触。将L型压板固定在固定板上。 具体而言，将衬底置于固定板背面上，通过L型压板将衬底固定在固定板上。在固 定板中，螺孔设置的位置应当保证衬底能够以对称的方式被固定在固定板上。L型压板短边 立于固定板上，长边搭在衬底边缘。利用螺钉将L型压板和衬底固定在所述固定板背面上。 具体而言，使螺钉穿过L型压板开孔并安装在螺孔中，将L型短边立在固定板上，长边压板 搭在衬底上，使衬底定位并固定在固定板表面。图2是根据本技术一实施例的衬底固 定夹具螺钉的示意图。 图3是根据本技术一实施例的衬底固定夹具L型压板的示意图，L型压板中 的开孔的形状是矩形与半圆形所组成的组合形状，例如：在矩形两端附加半圆形所形成的 组合形状。该组合形状可以使螺钉在开孔内移动，使L型压板可以在活动范围内适应不同 尺寸的衬底。L型压板短边的长度等于衬底的高度，以此保证在固定衬底的同时不引入额外 的应力。 固定板为圆形平板，并且固定板的边缘包含环状台阶。进一步地，固定板背面包含 凹形环状台阶。环状台阶的宽度与与钥托的宽度近似相等，使固定板背面的环状台阶能够 放置在钥托上。钥托的形状为圆环形，用于托起固定板。进一步地，为了使钥托和固定板能 够更好的贴合，本技术对固定板进行倒角处理。 为了适应不同设备的热偶结构，在固定板正面圆心处设置半圆形凹槽。当固定板 被钥托托起时，热偶处于半圆形凹槽正上方，避免了热偶与固定板的接触而造成热偶损伤 或温度测量波动的情况发生。 在一个实施例中，为了更好的定位衬底在固定板中的位置，可以在固定板中设置 定位标记。如图4所示，图4是根据本技术另一实施例的衬底固定夹具的结构图。 在预先知道衬底尺寸的前提下，在固定板上设置直角形凸起作为定位标记。该直 角形凸起的两条边与衬底相接触。衬底的位于固定板中心位置，从而使衬底定位在固定板 的中心位置。这样可以确保衬底始终位于固定板的中心位置，使衬底表面的受热温度均匀。 设定直角形凸起的高度小于或等于衬底高度的一半，从而使用反射式高能电子衍 射（Reflection High-Energy Electron Diffraction，RHEED)对材料生长过程做实时监控 时，使RHEED在实时监控过程中获得完整衍射图像。 在本技术中，固定板、L型压板和螺钉的材料均采用石墨。采用高纯石墨作为 加工材料，固定板、L型压板和螺钉在具有较高物理及化学稳定性的同时，还具有较好的机 械强度和导热性。 为便于理解，以下结合本技术的衬底固定夹具的使用实例，对本技术的 衬底固定夹具进行说明。 在本实施例中，以碲锌镉材料作为衬底，固定板、L型压板和螺钉采用石墨作为加 工材料。 将通过标准清洗后的固定板、L型压板、螺钉以及衬底浸泡在M0S-II级无水乙醇 中，使用时从无水乙醇中取出，在超净环境下晾干或使用氮气枪吹干。 使用专用螺丝刀将石墨螺钉穿过L型压板开孔并安装在固定板螺孔中，移开L型 压板，在固定板的中心区域留出足够大的空间放置衬底。 使用聚四氟乙烯材料加工成的方头镊子将已经清洗过的衬底从M0S-II级无水乙 醇中取出，在超净环境下晾干或使用氮气枪吹干后放置在固定板的中心部分。进一步地，如 果使用带有定位标记的固定板，则将衬底一角靠紧定位标记。 将L型压板的长边轻轻搭在衬底边缘，轻轻旋紧石墨螺钉使其固定L型压板，进而 固定住衬底。摇动固定板或使用聚四氟乙烯材料的方头镊子轻推衬底侧面确认衬底是否固 定牢固。 衬底是被固定在固定板背面的，在需要进行材料外延生长时，将固定板背面向下 放置到钥托上，以在预定条件下进行材料外延生长。 本技术固定衬底的夹具具有以下特点：操作简单，便于安装和摘取，不易引入 杂质，提高衬底安装的重复性和可靠性，使其在使用过程中不会发生位置的移动甚至掉落、 滑落；所用材料石墨具有极高化学稳定性，耐高温并且不与汞等原材料发生反应；良热导 体，保证热偶与衬底表面产生尽可能小的温度梯度及温度传递延迟，本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种衬底固定夹具，其特征在于，所述衬底固定夹具包括：固定板、L型压板、螺钉；其中：在所述固定板中至少设置两个螺孔；所述L型压板长边所在的面设置供螺钉穿过的开孔；所述L型压板短边与所述固定板接触；将所述L型压板固定在所述固定板背面上。

【技术特征摘要】
1. 一种衬底固定夹具，其特征在于，所述衬底固定夹具包括：固定板、L型压板、螺钉； 其中： 在所述固定板中至少设置两个螺孔； 所述L型压板长边所在的面设置供螺钉穿过的开孔； 所述L型压板短边与所述固定板接触； 将所述L型压板固定在所述固定板背面上。2. 如权利要求1所述的衬底固定夹具，其特征在于： 在所述固定板上设置直角形凸起； 所述直角形凸起的两条边与衬底相接触，所述衬底位于所述固定板的中心位置。3. 如权利要求2所述的衬底固定夹具，其特征在于，所述直角形凸起的高度小于或等 于所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：巩锋，王春生，王经纬，赵会崧，
申请(专利权)人：中国电子科技集团公司第十一研究所，
类型：新型
国别省市：北京;11