微机电系统及检测电路技术方案

本实用新型专利技术提供了一种微机电系统及检测电路，通过检测电路中的自测试电容阵列输出周期变化的电荷，由此当进行检测电路的自测试时，通过所述自测试电容阵列输出的周期变化的电荷即可进行，从而避免了需要检测电路驱动模块产生高压驱动信号使微机械传感器中的微机械自测试电容输出自测试需要的周期电荷信号，由此检测电路的自测试过程不再需要微机械传感器参与，简化了检测电路的自测试流程，并提高了自测试可靠性；同时，微机械传感器中也不再需要微机械自测试电容了，从而降低了微机械传感器设计复杂度以及检测电路驱动模块的设计难度。（*该技术在2023年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种微机电系统，其特征在于，包括：微机械传感器以及与所述微机械传感器连接的检测电路；其中， 所述微机械传感器包括微机械传感电容； 所述检测电路包括：输出周期变化的电荷的自测试电容阵列以及与所述自测试电容阵列连接的根据所述自测试电容阵列输出的周期变化的电荷输出一电压信号，所述电压信号用以判断所述检测电路是否正常工作，完成自测试功能的信号读取和处理模块；其中， 所述信号读取和处理模块包括：顺次连接的电荷放大器、解调器及低通滤波器。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：潘华兵，郑泉智，陈灿锋，
申请(专利权)人：杭州士兰微电子股份有限公司，
类型：新型
国别省市：浙江;33