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本实用新型提供了一种微机电系统及检测电路，通过检测电路中的自测试电容阵列输出周期变化的电荷，由此当进行检测电路的自测试时，通过所述自测试电容阵列输出的周期变化的电荷即可进行，从而避免了需要检测电路驱动模块产生高压驱动信号使微机械传感器中的微...
该专利属于杭州士兰微电子股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过杭州士兰微电子股份有限公司授权不得商用。

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