【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本专利技术提供了一种半导体设备的故障排查方法及故障排查装置，以解决无法快速准确判断半导体设备的硬件电路是否正常工作，给故障排查造成困扰的问题。一种半导体设备的故障排查方法包括：在半导体设备的硬件电路末端添加指示所述硬件电路状态的标识；向所述硬件电路发送操作命令，所述硬件电路依据所述操作命令的执行情况设置所述硬件电路状态的标识；依据所述硬件电路状态的标识判断所述硬件电路是否发生故障；当所述硬件电路未发生故障时，排查除所述硬件电路之外的所述半导体设备的其他部件。本专利技术能够更快的锁定故障，减少了设备维护时间，提高了故障排查的效率。【专利说明】一种半导体设备的故障排查方法及故障排查装置
本专利技术涉及半导体
，特别是涉及一种半导体设备的故障排查方法及故障 排查装置。
技术介绍
在半导体行业，很多设备都是远程控制的，即操作者面对的只是一台充当人机界 面的电脑，真正的设备在另外的房间。如何在人机界面上及时准确显示设备的状态以便对 设备进行控制，显得尤为重要。现有的对半导体设备的控制方法如下，以真空系统为例进行 说明： ...
【技术保护点】
一种半导体设备的故障排查方法，其特征在于，包括：在半导体设备的硬件电路末端添加指示所述硬件电路状态的标识；向所述硬件电路发送操作命令，所述硬件电路依据所述操作命令的执行情况设置所述硬件电路状态的标识；依据所述硬件电路状态的标识判断所述硬件电路是否发生故障；当所述硬件电路未发生故障时，排查除所述硬件电路之外的所述半导体设备的其他部件。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：武小娟，
申请(专利权)人：北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司，
类型：发明
国别省市：北京;11
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