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本发明提供了一种半导体设备的故障排查方法及故障排查装置，以解决无法快速准确判断半导体设备的硬件电路是否正常工作，给故障排查造成困扰的问题。一种半导体设备的故障排查方法包括：在半导体设备的硬件电路末端添加指示所述硬件电路状态的标识；向所述硬件...该专利属于北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司授权不得商用。