一种套筒靶材石墨绑定技术制造技术

本发明专利技术公开了一种套筒靶材石墨绑定技术。步骤为：将不锈钢管衬管外径，套筒靶材内径，分别车圆至一定直径进行绑定；将靶材套筒上包裹加热包加热；把熔化好的金属涂在靶材套筒内壁；将3块厚度为1.5mm石墨纸放在专用平台上，加热石墨纸；将熔化好的金属涂在石墨纸上；将铜丝网放到石墨纸上；再将铜丝网的另外一面放到涂了金属的靶材套筒上；加热包降温至金属固化，固定好；最后把绑定好石墨纸的靶材旋入不锈钢管内，石墨纸与不锈钢管3段间隙使用高温导电胶填充。本发明专利技术方法增加了靶材导电、导热性；所得产品靶材与绑定衬管紧密贴合90%；同时具有一定延展性；导电导热性好，成本低。

【技术实现步骤摘要】
一种套筒靶材石墨绑定技术
本专利技术涉及半导体制造领域，尤其涉及一种套筒靶材石墨绑定技术。
技术介绍
在半导体工业中，靶材组件是由符合溅射性能的靶材和与所述靶材结合、具有一定强度的背板构成。传统的铟绑定技术，使得靶材的价格偏高，从而使平面显示器、存储器和光学镀膜等靶材应用的产业的生产成本相应提高。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种效果更好，导电导热性能更好并具有一定延展性的新型的石墨绑定技术。为实现上述目的，本专利技术提供一种套筒靶材石墨绑定技术，其特征在于，包括如下步骤， 1)不锈钢管绑定:选用不锈钢管作为衬管，外径车圆至一定直径进行绑定； 2)套筒靶材绑定:将套筒靶材内径车圆至一定直径进行绑定； 3)在步骤2)所得靶材 套筒上包裹加热包，将靶材套筒加热到300度左右；用超声波焊接机把熔化好的金属涂在靶材套筒内壁； 4)将3块厚度为1.5mm石墨纸放在专用平台上，加热石墨纸到300度左右；将熔化好的金属涂在石墨纸上；将铜丝网放到石墨纸上；再将铜丝网的另外一面放到涂了金属的靶材套筒上；加热包降温至金属固化，固定好即可； 5)最后把绑定好石墨纸的靶材旋入步骤本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种套筒靶材石墨绑定技术，其特征在于，包括如下步骤，1）不锈钢管绑定：选用不锈钢管作为衬管，外径车圆至一定直径进行绑定； 2）套筒靶材绑定：将套筒靶材内径车圆至一定直径进行绑定； 3）在步骤2）所得靶材套筒上包裹加热包，将靶材套筒加热到300度左右；用超声波焊接机把熔化好的金属涂在靶材套筒内壁；4）将3块厚度为1.5mm石墨纸放在专用平台上，加热石墨纸到300度左右；将熔化好的金属涂在石墨纸上；将铜丝网放到石墨纸上；再将铜丝网的另外一面放到涂了金属的靶材套筒上；加热包降温至金属固化，固定好即可；5）最后把绑定好石墨纸的靶材旋入步骤1）所得不锈钢管内，石墨纸与不锈钢管3段间隙使用高温导电胶填充。

【技术特征摘要】
1.一种套筒靶材石墨绑定技术，其特征在于，包括如下步骤， 1)不锈钢管绑定:选用不锈钢管作为衬管，外径车圆至一定直径进行绑定； 2)套筒靶材绑定:将套筒靶材内径车圆至一定直径进行绑定； 3)在步骤2)所得靶材套筒上包裹加热包，将靶材套筒加热到300度左右；用超声波焊接机把熔化好的金属涂在靶材套筒内壁； 4)将3块厚度为1.5_石墨纸放在专用平台上，加热石墨纸到300度左右；将熔化好的金属涂在石墨纸上；将铜丝网放到石墨纸上；再将铜丝网的另外一面放到涂了金属的靶材套筒上；加热包降温至金属固化，固定好即可； 5)最后把绑定好石墨纸的靶材旋入步骤I)所得不锈钢管内，石墨纸与不锈钢管3段间隙使用高温导电胶填充。2.权利要求1所述石墨绑定技术，其特征在于，所述绑定...

【专利技术属性】
技术研发人员：罗文富，石煜，
申请(专利权)人：厦门映日新材料科技有限公司，
类型：发明
国别省市：福建;35